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等离子清洗模块 (XJD2026070800009) 采购公告
招标详情
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***********公司企业信息
等离子清洗模块 (****) 采购公告
发布时间：2026-07-08 18:25:57
| 等离子清洗模块 | 项目编号**** | |
| 2026-07-08 18:25:57 | 公告截止日期2026-07-12 12:00:01 | |
| **** | 付款方式货到安装、调试、验收合格后，付全款。 | |
| 发布竞价结果后1天内签订合同 | 到货时间要求发布竞价结果后7天内送达 | |
| 币种 | 人民币 | |
| **省**市**区**** | ||
| 无 | ||
采购清单 1
| 等离子清洗模块 | 1.00 | 套 | 无 |
| 纳恩科技 |
| NE-PE25FH |
| 清洗模块零件： 1.射频等离子发生器 2.真空反应腔室 3.放电模块 4.PLC控制模块 5.精密流量控制器 6.真空监测系统 7.真空泵配套系统 性能指标： 1.射频等离子发生器：13.56MHZ 2.有效处理空间：≥306（W）×301（D）×30（H）mm 3.处理层数：≥2层 4.气路设计：腔体双侧均匀进气气路设计，保证清洗，刻蚀均匀性 5.气路数量：≥2路气体，支持氧气，氩气，氮气，氢气等 6.量程：0~500 SCCM 7.工作真空度：20~30pa 8.抽速： ≥16m3/H 9.报警功能：真空防呆、辉光防呆、功率防呆、气压报警 10.程序功能：包含三级权限设置，自动、手动模式，配方参数设定、存储、调用，报警历史查询，IO监控 |
| （1）参与竞价者必须提供技术参数及供货报价清单； （2）交付时间：合同签订后30天； （3）包装和运输：原厂原包装，中标方负责运输到指定位置，并完**装调试； （4）付款方式：验收合格后电汇支付全款； （5）售后服务：质保期1年，提供完整的安装和技术培训服务，同时在产品使用期间提供必要的技术支持服务。竞价者应提供及时的维修服务，4小时内响应给出意见，有现场支持需求的48小时内专业技术人员可到达现场。 |
招标进度跟踪
2026-07-08
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