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原子层沉积ALD
摘要信息
招标单位
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招标编号
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招标估价
490000.00
招标联系人
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招标代理机构
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报名截止时间
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投标截止时间
2026-07-11
标书代写
关键信息
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招标详情
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400-688-2000
原子层沉积ALD
| 项目编号 | **** | ||
| 项目名称 | 原子层沉积ALD | ||
| 预算金额(元) | ￥490000.00 | ||
| 签约时间 | 成交公告发布后 5个工作日内签订合同 | ||
| 到货时间 | 合同签署后 60个工作日到货 | ||
| 联系人 | 孟红光 | 联系电话 | 176****8952 |
| 邮箱地址 | menghg@qibebt.****.cn | ||
| 付款方式 | 货到后支付80%货款，验收合格后支付20%货款 | ||
| 产品名称 | 原子层沉积系统 | ||
| 参考品牌 | Picosun | 参考型号 | R200 |
| 采购数量 | 1 | 是否允许采购进口产品 | 否 |
| 技术指标 | 1、系统与手套箱对接，可放置200*200mm及以下尺寸的玻璃或者硅片样品； 2、样品温度最高可加热到150℃，温度控制精度±0.5℃； 3、2路金属源和1路水前驱体源，配备响应时间≤10ms的专用ALD高温阀、手动隔膜阀和50mL金属钢瓶； 4、腔室真空系统极限≤1 Pa，系统氦检漏率≤5*10-10Pa.m3/s 5、配置抽速≥100 m3 /h的罗茨干泵机组，满足快速原子层沉积的要求； 6、8inch晶圆上90℃下沉积200cycle SnO2非均匀性≤±3%，200cycle Al2O3非均匀性≤±1%。 7、一键式操作，搭配Windows兼容的自动控制软件。 | ||
| 售后服务要求 | 1、验收合格后，质保期1年 2、如果采购物品在质量保证期内出现质量问题，乙方收到甲方维护要求后，在24小时内做出响应；遇有严重技术问题，重大故障，需要现场维护，乙方应在72小时内到达甲方现场。 3、接到维修通知后，乙方须在约定保修时间内进行维修；造成人身、财产损害的，甲方有权依据有关法律、法规进行追偿。未在约定报修时间内进行维修的，由甲方安排其他方式进行维修，维修费用由乙方承担； 4、维修或替换的设备的质量保证期应在甲方验收后重新起算。 | ||
| 销售资质需求 | |||
采购需知
1、采购时间范围内以最后一次报价为准。
2、成交供应商应于成交公告发布后5日内缴纳服务费（项目成交金额1%），并上传支付证明，支付账户通过邮件发送至供应商联系人邮箱，请注意查收。
3、进口产品报****实验室价格，应包括免税代理费、通关、运输及安装调试等全部费用，不接受外币报价，****公司承担；
4、国产产品报价****实验室价格，应包括设备运输、安装调试等全部费用。
5、供应商竞价后，请等待系统公示（此项目竞价截止时间为2026-07-11 20:48:15）。竞价截止后由采购人按照低价优先原则确定成交供应商，并在系统首页进行公示。 如有疑问请拨打咨询电话：0532-****2687加急标书代写
6、出现以下情况视为无效报价：
1）供应商在本次投标项目中有围标、串标情况的；
2）供应商有违反【供应商承诺书】相关条款的；
3）不具备承接本次项目的具有国家法律、法规、部门规章及规范标准规定的有效证件的；
4）未按要求上传相关资料附件的，上传附件未按要求签字盖章的。
2）供应商有违反【供应商承诺书】相关条款的；
3）不具备承接本次项目的具有国家法律、法规、部门规章及规范标准规定的有效证件的；
4）未按要求上传相关资料附件的，上传附件未按要求签字盖章的。
招标进度跟踪
2026-07-08
招标公告
原子层沉积ALD
当前信息
标书代写
2026-06-19
招标预告
原子层沉积（ALD）
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