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| 商品名称 | 品类 | 采购数量 | 最少响应量 | 规格型号 |
| 气动扫描传感器 | 其他>其他 | 1.0套 | 1.0套 | 量程≥300μm,精度不低于5um |
| 稳压气路模块 | 其他>其他 | 1.0套 | 1.0套 | 单通道,供气压力 0.6Mpa,出口压力 0.3MPa |
| 气电转换及分析模块 | 其他>其他 | 1.0套 | 1.0套 | 含气路分析软件、10.1 寸触控屏 |
| 稳压气源 | 其他>其他 | 1.0个 | 1.0个 | 0.6Mpa 压力输出,带15L气瓶 |
| 管路支架 | 其他>其他 | 1.0个 | 1.0个 | XY方向可微调,调节行程 10mm,精度50um |
| 旋转扫描工作台 | 其他>其他 | 1.0套 | 1.0套 | 行程≥500mm,50μm绝对精度 |