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中山大学柔性电子学院图形化直写显微制备分析系统采购项目

公告-招标公告

广东 -深圳

发布时间： 2026年07月09日

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大学学院分析采购项目

招标详情

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相关单位：

***********公司企业信息

| 项目概况

采购类型	采购
项目编号	****
项目名称	********学院图形化直写显微制备分析系统采购项目
申购主题	图形化直写显微制备分析系统
项目类型	货物采购	项目预算
最高限价	700,000.00(人民币)
报名及响应开始时间	2026-07-09 15:33	报名及响应结束时间	2026-07-15 12:00
采购单位	****
经办人	王老师	经办人电话	****5092
期望收货时间	合同签订后30天内交货
是否送货	是	送货地址	市区新湖街道****理学园812室
电子签章	本项目需要使用CA签字 CA操作手册下载
备注	1、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价。 2、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价时应分别报价，境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物采购合同和国内采购合同。 3、**学校不收取任何费用，外贸代理费由供应商支付。4、本项目需要使用CA证书，请供应商根据指引（http://bidding..cn/article/4902）提前办理CA证书。 5、技术参数中如标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致报价无效。6、如为进口免税报价，报价产品或报价产品的原产国属委员会公告的加征关税范围的，该产品的评审价=[供应商的免税报价×（1+本项目通知磋商谈判开始时间委员会公告的加征关税税率）]，如高于项目最高限价/预算价，则报价无效。7、项目评审时，如有属于异常低价报价的情形（见报价须知），评审小组将启动异常低价报价审查程序。★投标人需声明：我单位所投产品不属于2026年6月22日政府采购活动中对有关美国企业采取相关措施的通知中的46家美国企业（不包括在华美资企业）生产的产品（有关通知详见链接https://www..cn/news/202606/t0622_**5066.htm）。电子标服务

| 采购明细

1 采购设备	图形化直写显微制备分析系统
数量	1台
参考品牌

“图形化直写显微制备分析系统”技术要求

序号技术要求内容评分等级是否星号条款是否需要附件说明

1	1.光学系统：IC2S无限远色差反差双重校正光学系统，国际标准物镜齐焦距离≤45mm，保证光损失效率最低。可实现观察方法：具有反射明场、暗场、偏光等观察功能；	重要	否	是
2	2.光源：至少配备三颗LED光源;以及2个HAL100光源；	重要	否	是
3	3.调焦：谐波齿轮精细同轴粗微调焦机构，内置免调节防下滑机构，不使用易损坏的外调节松紧调节环，调焦行程 25 mm，可设置调焦上限。最小标示刻度≤4 μm。	重要	否	是
4	4.曝光光源：≤385nm;	重要	否	是
5	5.数字掩膜板分辨率：≥1920*1080;	重要	否	是
6	6.微镜尺寸：≤7.56μm;	重要	否	是
7	7.最小线宽：0.5μm;	重要	否	是
8	8.最小等间距线栅：优于1μm；	重要	否	是
9	9.套刻精度：≤5mm*5mm@1μm；	重要	否	是
10	★10. 至少配备10个镜头：镜头1：最小线宽≤5μm,工作距离≥34mm, 镜头2：最小线宽≤1.5μm,工作距离≥34mm, 镜头3：最小线宽≤0.8μm,工作距离≥20mm, 镜头4：最小线宽≤0.5μm,工作距离≥13mm, 镜头5：NA≥0.07，工作距离≥15mm，镜头6：NA≥0.13，工作距离≥11.8mm，镜头7：NA≥0.25，工作距离≥11mm，镜头8：NA≥0.40，工作距离≥3.2mm，镜头9：NA≥0.75，工作距离≥1mm，镜头10：NA≥0.85，工作距离≥0.87mm，	非常重要	是	是
11	11. 对焦模式：图像自动对焦；	重要	否	是
12	12．配备气浮隔振台	重要	否	是
13	13. 样品台带真空吸附套件	重要	否	是
14	14. 样品台含固定样品模块：兼容方形样品和晶圆样品；	重要	否	是
15	15. 最大样品尺寸：≥4inch	重要	否	是
16	16. XY轴电动台步进精度：优于25nm，	重要	否	是
17	17. Z轴电动台步进精度：20nm	重要	否	是
18	18. 样品最大支持厚度：≥10 mm	重要	否	是
19	19. 旋转台：可360°旋转,步进精度：≤0.04°；	重要	否	是
20	20. 相机：大靶面显微相机（支持尺寸测量）,靶面尺寸≥1英寸，像素≥2000万；	重要	否	是
21	21. 软件功能：原位光绘、物像绑定、畸变矫正、成像拼接等	重要	否	是
22	22. 画图软件：支持阵列画图、套刻画图	重要	否	是
23	★23. 软件配备自定义切图模块功能：（1）具备矢量图形智能分块处理功能：在将版图切割为曝光写场时，支持用户自定义保护区域/关键区域。系统在切割时应自动识别并避免切割线穿过保护区域，保证关键图形结构的完整性；（需在投标文件中提供软件操作截图，清晰展示“自定义保护区域”设置窗口；且本功能需现场验收，投标方需使用采购方提供的测试版图现场进行投影曝光，要求所有关键光刻图案完整，不得出现切割导致的图形错位和断裂。） (2)多任务/区域定义：支持在同一层版图中，用不同颜色定义≥10个不同曝光剂量区域，并可在图形界面可视化；（需在投标文件中提供软件操作截图，清晰展示“多任务/区域定义”设置窗口；且本功能需现场验收，投标方需使用创建同时包含高剂量和低剂量测试版图，并提供系统生成的曝光日志，包含不同区域实际的曝光剂量、曝光时间、聚焦质量等参数纪录） (3)软件功能：原位光绘、物像绑定、畸变矫正、成像拼接等标书代写	非常重要	是	是
24	1. 图形化直写显微制备分析系统，主机，1台 2. 减震台，指标不低于台面尺寸：600 × 600 mm，平面度≤ 0.05 mm/m2，表面粗糙度Ra ≤ 0.8 μm，固有频率（阻尼型）垂直 ≈ 3~8 Hz / 水平 ≈ 2~4 Hz，1台 3. 静音空压机，指标不低于功率：0.55Kw，流量0.032m3/min，1个 4. 无油真空泵，指标不低于流量：50（L/min），真空度：-88Kpa，功率：0.12Kw ，1套 5. 品牌计算机，指标不低于CPU：I5-14500 运行内存：DDR4 16G，固态硬盘：1T ，操作系统：正版Win11 64位，包含主机及显示器，1套 6. 分析软件，光盘（终身免费升级），1套 7. 产品使用说明书，1份 8. 合格证，1份 9. 保修卡，1份	重要	否	是

| 资质要求

序号要求名称条件类型要求内容是否需要附件说明

1	第1条资质参数	符合性参数	上传营业执照(副本原件扫描件)	是
2	第2条资质参数	符合性参数	填写并按要求上传“廉洁承诺书”（需签字并盖公章）	是
3	第3条资质参数	符合性参数	填写并要求上传“法定代表人授权书”（需按授权书要求签字并加盖公章）	是
4	第4条资质参数	符合性参数	填写并按要求上传“供应商资格声明”（需签字并盖公章）	是

| 商务要求

序号要求名称要求内容是否需要附件说明

1	免费保修年限（保修范围：整机保修）	3年 4年 5年 6年及以上	是
2	合同履约	**学校合同范本执行下载地址：http://www..com:8089/attachment/template/ZSU148/htmb.zip。注意：（1）合同模板中付款方式适用分期结算/付款条款其它付款方式选项不得选用；（2）本项目签署《**国内采购合同》的需开具增值税专用发票，如无法开具，需在签署合同时提供合理说明，否则将可能会影响合同签署。	是
3	产品销售渠道（要求上传“制造厂商出具的授权函”）	厂家（生产商）直接销售（出具厂家声明格式自拟）厂家（生产商）长期授权销售（授权书中连续有效期不少于一年）其他授权销售方式	是
4	售后服务要求	1、售后三包：包换：设备的规格或质量与合同不符，自到货验收之日起 7 日内可以更换；确属质量问题，修理二次以上仍不能正常使用的产品可以更换。包退：经确认，设备的质量存在严重缺陷，自到货验收之日起 7 日内退货。包修：在保修期内，设备质量问题维修；在保修期内，非正常使用造成的设备故障，可收取零配件成本费。 2、如设备出现故障等问题，在接到报修通知 30 分钟内做出维护安排。12 小时之内提供有效可行的书面解决方案。 3 、以上所含服务费用均包含在报价中，采购人不再另行支付。	是
5	培训要求	1、货物安装调试及培训的工期不小于 3 日； 2、介绍每个设备的性能、特点、相互之间的关联操作等；技术人员需讲解设备的原理、功能、操作及维修保养要点；向受训人员提供和解释有关资料，使受训人员对设备的各个方面都能熟练掌握；针对设备的具体操作一一指导，使受训人员掌握技术要领。	是
6	其他	★投标人需声明：我单位所投产品不属于2026年6月22日**政府采购活动中对有关美国企业采取相关措施的通知中的46家美国企业（不包括在华美资企业）生产的产品（有关通知详见链接https://www..cn/news/202606/t0622_**5066.htm）。	是