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桌面磁控溅射竞价公告

公告-招标公告

湖南 -长沙

发布时间： 2026年07月10日

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磁控溅射公告

招标详情

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相关单位：

***********公司企业信息

项目名称	桌面磁控溅射	项目编号	****
项目编号	****
公告发布日期	2026/07/10 08:43	公告截止日期	2026/07/14 08:43
公告截止日期	2026/07/14 08:43
采购单位	****
联系人	中标后在我参与的项目中查看	联系手机	中标后在我参与的项目中查看
联系手机	中标后在我参与的项目中查看
采购预算	未公开	币种	RMB
币种	RMB
是否本地化服务	否	是否需要踏勘	否
是否需要踏勘	否
踏勘联系人		踏勘联系电话
踏勘联系电话
踏勘地点		踏勘联系时间
踏勘联系时间
送货/施工/服务期限	合同签订后 90 天内到货
送货/施工/服务地址	****科创港校区10栋
售后服务	按行业标准执行
付款条款	国产设备：1.供应商在申请验收前，须先把合同总金额的（0）%作为质保金交到采购人指定账户，并开具合同金额100%发票；2.货到合同指定地点并安装调试验收合格后，凭验收报告在10个工作日内支付合同总金额的（100）%；3.在验收合格之日起的（）年后无质量问题，经采购人认可，一次性将合同质保金无息退还供应商。

采购清单

1

采购内容		数量单位
桌面磁控溅射		1(台)
参考品牌及型号	****公司/DMS-002
技术参数要求	1． 304不锈钢腔体，带有CF150快开门。快开门有视窗和挡板 2．腔体极限真空10-5Pa, 可20分钟从大气恢复到10^-4Pa 3． 2个2inch磁控靶，靶安装于腔体顶法兰 4． 500W直流DC电源，可以通过触摸屏控制电源参数和开关 5．二维运动样品台，样品直径60mm向下兼容，样品可公转和自转（自转360°，0-20RPM）。运动采用真空电机的方式实现。 6．磁控靶枪配备水冷功能 7．一个质量流量控制器，流量 0-10 sccm，模拟控制 8．一个全量程规CF35 9． 80L/s分子泵，与主腔通过气动插板阀连接，前级配备涡旋干泵 10．配有工艺蝶阀，可以气动控制，完成工艺气压控制 11．全自动控制液晶触摸屏（一键操作） 12．一体桌面式设计，所有泵和设备一体化。

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