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三代半导体外延材料项目
项目详情
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400-688-2000
1、建设项目基本信息
企业基本信息
| **** | 建设单位代码类型：|
| ****0115MA274Y2W61 | 建设单位法人：李国鹏 |
| 胡健鹏 | 建设单位所在行政区划：******开发区 |
| ** 省 **市 ****开发区苏源大道68号 |
建设项目基本信息
| 三代半导体外延材料项目 | 项目代码：**** |
| 建设性质： | |
| 2021版本:081- | 行业类别（国民经济代码）：C3985-电子专用材料制造 |
| 建设地点： | ******区 ******区 |
| 经度:118.804722 纬度: 31.882500 | ****机关：****开发区****审批局 |
| 环评批复时间： | 2023-06-14 |
| 宁经管委行审环许〔2023〕53号 | 本工程排污许可证编号：****0115MA274Y2W61001Z |
| 2025-11-12 | 项目实际总投资(万元)：23000 |
| 890 | 运营单位名称：**** |
| ****0115MA274Y2W61 | 验收监测(调查)报告编制机构名称：****研究所有限公司 |
| 913********658830G | 验收监测单位：**省百****公司 |
| 913********855916L | 竣工时间：2026-04-30 |
| 调试结束时间： | |
| 2026-06-10 | 验收报告公开结束时间：2026-07-08 |
| 验收报告公开载体： | http://www.****.com/newsdetal.asp?id=2652 lei=2 |
2、工程变动信息
项目性质
| 电子专用材料制造 | 实际建设情况：电子专用材料制造 |
| 无变动 | 是否属于重大变动：|
规模
| 年产6/8英寸碳化硅外延片5.7万片，6/8英寸氮化镓外延片7.8万片 | 实际建设情况：年产6/8英寸碳化硅外延片5.7万片，6/8英寸氮化镓外延片3.5万片 |
| 企业分两阶段建设。其中一阶段建设内容为“一条6/8英寸碳化硅外延片、一条6/8英寸氮化镓外延片生产线（部分生产设备）及配套工程，建成后年产6/8英寸碳化硅外延片5.7万片，6/8英寸氮化镓外延片3.5万片”，二阶段建设内容为“6/8英寸氮化镓外延片生产线（剩余生产设备）及配套工程，建成后年产6/8英寸氮化镓外延片4.3万片”，本次为一阶段验收。 | 是否属于重大变动：|
生产工艺
| 本项目进行6/8英寸碳化硅外延片和6/8英寸氮化镓外延片的生产，主要包含外延、检测、清洗等环节 | 实际建设情况：本次验收项目进行6/8英寸碳化硅外延片和6/8英寸氮化镓外延片的生产，主要包含外延、检测、清洗等环节 |
| 无变动 | 是否属于重大变动：|
环保设施或环保措施
| 生产废水分类收集处理，含含氟废水采用“pH调节+氯化钙反应+絮凝/混凝+沉淀”，含氮废水采用“还原+ pH调节+缺氧+MBR”，综合废水（废气洗涤废水、冷却塔废水、锅炉废水）采用“高效沉淀+氨氮氧化”后与经过隔油池处理的食堂废水、生****开发区****处理厂，尾水排入云**河。 碳化硅外延废气由二级水喷淋塔收集处理通过25m排气筒（FQ-144~FQ-153）排入大气环境。氮化镓外延生长产生的氨气由炉内管道密闭收集燃烧后进入现有25m高FAB-1车间碱排排气筒（FQ-130）排入大气环境，氯气由炉内管道密闭收集至干式碱吸附塔后进入现有25m高FAB-1车间酸排排气筒（FQ-131）排入大气环境。清洗碱性废气经负压密闭收集后经过酸洗后通过现有25m排气筒（FQ-130）排入大气环境。清洗酸性废气经负压密闭收集后经过碱洗后通过现有25m排气筒（FQ-132）排入大气环境。干燥有机废气经过二级活性炭装置后通过现有25m排气筒（FQ-133）排入大气环境。污水处理站运行过程中有氨、硫化氢等恶臭气体产生，收集后经碱喷淋+除湿塔+二级活性炭吸附处理后通过现有15m排气筒（FQ-142）排放。 | 实际建设情况：生产废水分类收集处理，含氟废水采用“pH调节+氯化钙反应+絮凝/混凝+沉淀”，含氮废水接入综合废水处理系统，采用“高效沉淀+氨氮氧化”处理后与经过化粪池处理的生活污****开发区****处理厂处理，尾水排入云**河。 碳化硅外延废气由二级水喷淋塔收集处理通过25m排气筒（FQ-144~FQ-153）排入大气环境。氮化镓外延生长产生的氨气由炉内管道密闭收集燃烧后进入现有25m高FAB-1车间碱排排气筒（FQ-130）排入大气环境，氯气由炉内管道密闭收集至干式碱吸附塔后进入现有25m高FAB-1车间酸排排气筒（FQ-131）排入大气环境。清洗碱性废气经负压密闭收集后经过酸洗后通过现有25m排气筒（FQ-130、FQ-155）排入大气环境。清洗酸性废气经负压密闭收集后经过碱洗后通过现有25m排气筒（FQ-132）排入大气环境。污水处理站运行过程中有氨、硫化氢等恶臭气体产生，收集后经碱喷淋+除湿塔+二级活性炭吸附处理后通过现有15m排气筒（FQ-142）排放。 |
| 厂内污水站的含氮废水通过管道接入综合废水处理系统，原有含氮废水处理设施保留不拆除；碳化硅外延片和氮化镓外延片生产工艺中的表面干燥工序不再使用异丙醇，仅采用纯水甩干方式，不产生有机废气。 | 是否属于重大变动：|
其他
| / | 实际建设情况：/ |
| 无 | 是否属于重大变动：|
3、污染物排放量
| 0.8 | 17.318 | 17.583 | 0 | 0 | 18.118 | 17.318 | |
| 3.2 | 25.977 | 26.375 | 0 | 0 | 29.177 | 25.977 | |
| 0.28 | 0.7274 | 0.738 | 0 | 0 | 1.007 | 0.727 | |
| 0.024 | 0.0208 | 0.021 | 0 | 0 | 0.045 | 0.021 | |
| 0 | 1.7318 | 1.758 | 0 | 0 | 1.732 | 1.732 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0.581 | 0.0068 | 0.01 | 0 | 0 | 0.588 | 0.007 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
4、环境保护设施落实情况
表1 水污染治理设施
| 1 | ****处理站 | 《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）、《污水排入城镇下水道水质标准》（GB/T 31962-2015） | 含氟废水采用“pH调节+氯化钙反应+絮凝/混凝+沉淀”，含氮废水接入综合废水处理系统，采用“高效沉淀+氨氮氧化”处理 | **省百****公司于2026年4月27-28日对污水站总排口采样检测 |
表2 大气污染治理设施
| 1 | 碳化硅外延废气处理设施 | 《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021） | 碳化硅外延生长产生的酸性废气由炉内管道密闭收集至外延炉单独配置的二级水喷淋塔收集处理通过25m排气筒（FQ-144~FQ-153）排入大气环境。 | **省百****公司于2026年4月27-28日、4月30日、6月1-2日对碳化硅外延废气进行采样检测 | |
| 2 | 氮化镓外延废气（氨）、清洗碱性废气处理设施 | 《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021）、《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93） | 氮化镓外延生长产生的氨气由炉内管道密闭收集燃烧后进入现有25m高FAB-1车间碱排排气筒（FQ-130）排入大气环境，清洗碱性废气经负压密闭收集后经过酸洗后通过现有25m排气筒（FQ-130、FQ-155）排入大气环境 | **省百****公司于2026年4月27-28日、4月30日、6月1-2日对氮化镓外延废气（氨）和清洗碱性废气进行采样检测 | |
| 3 | 氮化镓外延废气（氯气）处理设施 | 《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021） | 氮化镓外延废气的氯气由炉内管道密闭收集至干式碱吸附塔后进入现有25m高FAB-1车间酸排排气筒（FQ-131）排入大气环境。 | **省百****公司于2026年4月27-28日、4月30日、6月1-2日对氮化镓外延废气（氯气）进行采样检测 | |
| 4 | 清洗酸性废气处理设施 | 《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021） | 清洗酸性废气经负压密闭收集后经过碱洗后通过现有25m排气筒（FQ-132）排入大气环境 | **省百****公司于2026年4月27-28日、4月30日、6月1-2日对清洗酸性废气进行采样检测 | |
| 5 | 污水站废气处理设施 | 《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93） | 污水处理站运行过程中有氨、硫化氢等恶臭气体产生，收集后经碱喷淋+除湿塔+二级活性炭吸附处理后通过现有15m排气筒（FQ-142）排放 | **省百****公司于2026年4月27-28日、4月30日、6月1-2日对污水站废气进行采样检测 |
表3 噪声治理设施
| 1 | 降噪措施 | 《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008） | 消音器、隔音罩、减震垫、隔声门窗等 | **省百****公司于2026年4月27-28日对厂界噪声进行采样检测 |
表4 地下水污染治理设施
表5 固废治理设施
| 1 | 废包装材料、不合格衬底片、报废外延片外售综合利用，废酸、废化剂桶、污泥、废水处理废油、废吸附剂暂存于危废库内，委托有资质单位处置。 | 废包装材料、不合格衬底片、报废外延片外售综合利用，新增设备维护产生的废UPS铅酸电池，属于危险废物。废酸、废化剂桶、污泥、废水处理废油、废吸附剂、废UPS铅酸电池暂存于危废库内，委托有资质单位处置。 |
表6 生态保护设施
表7 风险设施
5、环境保护对策措施落实情况
依托工程
| / | 验收阶段落实情况：/ |
| / |
环保搬迁
| / | 验收阶段落实情况：/ |
| / |
区域削减
| / | 验收阶段落实情况：/ |
| / |
生态恢复、补偿或管理
| / | 验收阶段落实情况：/ |
| / |
功能置换
| / | 验收阶段落实情况：/ |
| / |
其他
| / | 验收阶段落实情况：/ |
| / |
6、工程建设对项目周边环境的影响
| / |
| / |
| / |
| / |
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| / |
7、验收结论
| 1 | 未按环境影响报告书（表）及其审批部门审批决定要求建设或落实环境保护设施，或者环境保护设施未能与主体工程同时投产使用 |
| 2 | 污染物排放不符合国家和地方相关标准、环境影响报告书（表）及其审批部门审批决定或者主要污染物总量指标控制要求 |
| 3 | 环境影响报告书（表）经批准后，该建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动，建设单位未重新报批环境影响报告书（表）或环境影响报告书（表）未经批准 |
| 4 | 建设过程中造成重大环境污染未治理完成，或者造成重大生态破坏未恢复 |
| 5 | 纳入排污许可管理的建设项目，无证排污或不按证排污 |
| 6 | 分期建设、分期投入生产或者使用的建设项目，其环境保护设施防治环境污染和生态破坏的能力不能满足主体工程需要 |
| 7 | 建设单位因该建设项目违反国家和地方环境保护法律法规受到处罚，被责令改正，尚未改正完成 |
| 8 | 验收报告的基础资料数据明显不实，内容存在重大缺项、遗漏，或者验收结论不明确、不合理 |
| 9 | 其他环境保护法律法规规章等规定不得通过环境保护验收 |
| 不存在上述情况 | |
| 验收结论 | 合格 |
温馨提示
1.该项目指提供国家及各省发改委、环保局、规划局、住建委等部门进行的项目审批信息及进展，属于前期项目。
2.根据该项目的描述，可依据自身条件进行选择和跟进，避免错过。
3.即使该项目已建设完毕或暂缓建设，也可继续跟踪，项目可能还有其他相关后续工程与服务。
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