高温扩散炉

发布时间: 2026年07月13日
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****2026年8月政府采购意向-高温扩散炉 详细情况
高温扩散炉
项目所在采购意向: ****2026年8月政府采购意向
采购单位: ****
采购项目名称: 高温扩散炉
预算金额: 81.000000万元(人民币)
采购品目:
A****0100电工生产设备
采购需求概况 :
高温扩散炉,1台,1.炉管数量≥1管。2.最大可加工硅片尺寸≥4英寸圆片。3.作业片数量≥单片或4片/管。4.工艺类型:扩散。5.气体流量控制:进口质量流量计、流量的设定在计算机上进行,其设定值和检测值均可在显示器上实时显示。6.温度控制:采用带通讯的进口高档温控仪对加热器进行独立控制,可精确控制各段加热的温度。温控仪既可独立于计算机之外,手动设置温度,又可通过与计算机通讯,按需要设置斜率升降温或恒温,达到全自动控温的目的。7.控温精度 ±0.5℃。8热偶配置 Profile、spike。9恒温区长度≥300mm。10最高温度≥1200℃。11工艺温度:400℃~1150℃。12升温速率≥13℃/min。13最大升温功率不超过30KVA/每管。14降温速率≥3℃/min@550℃~800℃。15恒温区精度≤±1℃。。供货期:签订合同之日起,90个日历日内货到采购人指定地点并安装验收完毕(包括供货、安装、调试、培训、验收合格所需时间)。具体事宜由成交供应商按采购人指定地点及时间安排要求执行。
预计采购时间: 2026-08
备注:

本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写

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