福建省福联集成电路有限公司采购台阶仪项目竞争谈判公告

****采购台阶仪项目

竞争谈判公告

****采购台阶仪项目进行竞争谈判，现将本次竞争谈判有关事项公告如下：

一、 项目名称：

台阶仪1台；

二、 项目内容及要求：

****拟对采购台阶仪项目采用“竞争谈判”的方式进行采购，待投标报名确认符合资格后提供具体需求资料。

设备基本要求：

1. 可兼容4寸或6寸晶圆测量，晶圆材料类型包含GaAs、Si、GaN；

2. 最大扫描长度≥50mm，重复性测量偏差≤0.5nm（50nm、1um、2um三种标准块测量，连续量测20次），探针压力范围满足0.5-50mg可调，放大倍率≥100倍，垂直分辨率≤1；

3. 配置至少三档测量量程，并且每一档均可以进行测量值的offset，用以满足与实际厚度偏差的修正；

4. 当需要执行换针操作时，可现场快速更换扫描测针，并根据软件中的标定模块进行快速标定，并确保换针后的精度和重复性；

5. 设备月产能>2000片（以20hr/天，30天计）；

6. 设备需具有SECS/ GEM/EAP连线功能。

三、对厂商的资格要求：

（1）供应商应是具备独立企业法人资格，有能力提供本服务的供应商 (供应商应在响应文件中提供合格有效的企业法人营业执照和税务登记证复印件,并加盖供应商单位公章。已完成三证合一并办理新版营业执照的供应商，则可以提供新版工商营业执照复印件，并加盖供应商单位公章)。标书代写

（2）在国家企业信用信息公示系统网站（http://www.****.cn/)中被列入“经营异常名录”或者“严重违法失信企业名单”的企业，不得参加谈判。

（3）在“信用中国”网站（http://www.****.cn/)中被列入“失信被执行人”名单的企业，不得参加谈判。

（4） 自2024年以来在泛半导体产业（LED\晶圆制造\封测）的台阶仪出货量不低于10台。

四、投标报名方式及递交时间：

1、报名时间：2026年07月13日起至2026年07月17日止，每天上午08:30~下午18:00（**时间），截止时间07月17日18:00后的报名将被拒绝。标书代写

报名方式：发送本项目相关资质文件（包含但不限于厂商的介绍材料、设备详情介绍等）至邮箱：****@unicompound.com。

五、联系方式：

采购单位：****

地 址：**省**市**区**镇赤港涵新路3688号

联 系 人：高先生（采购）

联系方式：182****1684