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| 1 | 2英寸介质膜反射镜面型改善加工服务 | 对18片800nm高损失阈值介质膜反射镜面型精度进行改善,通过在镜片背面镀应力膜,将面型精度提升至L/10@632nm(PV值) | 片 | 18 | 4周 | 高能所十号厅 | ||
| 2 | 3英寸介质膜反射镜面型改善加工服务 | 对44片800nm高损失阈值介质膜反射镜面型精度进行改善,通过在镜片背面镀应力膜,将面型精度提升至L/10@632nm(PV值) | 片 | 44 | 4周 | 高能所十号厅 | ||
| 3 | 6英寸介质膜反射镜面型改善加工服务 | 对8片800nm高损失阈值介质膜反射镜面型精度进行改善,通过在镜片背面镀应力膜,将面型精度提升至L/10@632nm(PV值) | 片 | 8 | 4周 | 高能所十号厅 |