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| CD-SEM | |
| 项目所在采购意向: | ****2026年9月政府采购意向 |
| 采购单位: | **** |
| 采购项目名称: | CD-SEM |
| 预算金额: | 1300.000000万元(人民币) |
| 采购品目: |
A****0300电子工业生产设备
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| 采购需求概况 : |
本设备用于8英寸MEMS工艺关键尺寸在线量测,通过高分辨电子成像实现微纳图形线宽、间隙及结构形貌的快速、精确、非破坏检测,支撑工艺窗口建立、批次一致性评价及工艺漂移识别。
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| 预计采购时间: | 2026-09 |
| 备注: | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写