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快速热退火
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***********公司企业信息
****2026年9月政府采购意向-快速热退火 详细情况
| 快速热退火 | |
| 项目所在采购意向： | ****2026年9月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 快速热退火 |
| 预算金额： | 124.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A****0300电子工业生产设备
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| 采购需求概况 ： |
本设备用于MEMS工艺中薄膜退火、欧姆接触形成、掺杂激活及材料性能调控，通过快速升降温和精确温度控制实现晶圆级热处理过程的高一致性，改善薄膜结晶质量、界面性能与器件电学稳定性，支撑先进MEMS芯片研制及工艺研发。
|
| 预计采购时间： | 2026-09 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
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2026-07-14
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