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| 扩散炉 | |
| 项目所在采购意向: | ****2026年9月政府采购意向 |
| 采购单位: | **** |
| 采购项目名称: | 扩散炉 |
| 预算金额: | 1610.000000万元(人民币) |
| 采购品目: |
A****0300电子工业生产设备
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| 采购需求概况 : |
本项目为MEMS工艺研发公共服务平台建设,拟采购扩散炉(氢氧合成氧化、干氧氧化、B推进、合金、高温扩散炉)共5台,用于8英寸晶圆的氧化、掺杂、合金退火及玻璃熔铸等关键热处理工艺。
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| 预计采购时间: | 2026-09 |
| 备注: | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写