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| 薄膜修调系统 | |
| 项目所在采购意向: | ****2026年9月政府采购意向 |
| 采购单位: | **** |
| 采购项目名称: | 薄膜修调系统 |
| 预算金额: | 870.000000万元(人民币) |
| 采购品目: |
A****0300电子工业生产设备
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| 采购需求概况 : |
设备用于MEMS工艺薄膜参数精密修调,依靠离子束溅射刻蚀完成薄膜厚度、电学参数的纳米级精准修正,有效提升器件一致性与工作稳定性,支撑先进MEMS芯片研发与工艺迭代。
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| 预计采购时间: | 2026-09 |
| 备注: | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写