首页 /集成电路CMP用抛光垫项目（三期工程50万片/年）

集成电路CMP用抛光垫项目（三期工程50万片/年）

审批

湖北-潜江-潜江市

发布时间： 2026年07月14日

项目详情

下文中****为隐藏内容，仅对千里马会员开放，如需查看完整内容请或拨打咨询热线： 400-688-2000

1、建设项目基本信息

企业基本信息

建设单位名称：建设单位代码类型：建设单位机构代码：建设单位法人：建设单位联系人：建设单位所在行政区划：建设单位详细地址：

****
****9005MA49BMNRXY	郭纯
赵强	省省直辖市
****工业园长飞大道1号

建设项目基本信息

项目名称：项目代码：项目类型：建设性质：行业类别（分类管理名录）：行业类别（国民经济代码）：工程性质：建设地点：中心坐标： ****机关：环评文件类型：环评批复时间：环评审批文号：本工程排污许可证编号：排污许可批准时间：项目实际总投资(万元)：项目实际环保投资(万元)：运营单位名称：运营单位组织机构代码：验收监测(调查)报告编制机构名称：验收监测(调查)报告编制机构代码：验收监测单位：验收监测单位组织机构代码：竣工时间：调试起始时间：调试结束时间：验收报告公开起始时间：验收报告公开结束时间：验收报告公开形式：验收报告公开载体：

集成电路CMP用抛光垫项目（三期工程50万片/年）

2021版本:081-电子元件及电子专用材料制造	C3985-C3985-电子专用材料制造
	省省直辖市 ****工业园长飞大道1号
经度:112.799980 纬度: 30.502210	****环境局
	2021-07-15
潜环评审函〔2021〕60号	****
2026-01-07	27500
2200	****
****0100MA4KL6TP2G	谋创**公司
****0106MA4K2YQU7H	****公司
****0115MAD7NXWE0J	2025-12-22

2026-06-01	2026-06-30
	建设项目环境信息公示平台（https://www.**.com/gs/detail/2?id=60601DTkMb）

2、工程变动信息

项目性质

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

**	**
/

规模

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

产抛光垫50万片/年（PET膜基材抛光垫、无纺布基材抛光垫各25万片/年）	产抛光垫50万片/年（PET膜基材抛光垫、无纺布基材抛光垫各25万片/年）
/

生产工艺

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

PET 膜基材合成革生产工艺：研磨分散→配料→涂布→凝固→水洗→烘干定型；无纺布基材合成革生产工艺：研磨分散→配料→含浸→预凝固→辊压→涂布→凝固→水洗→烘干定型； PET膜基材抛光垫生产工艺：磨皮→去除剥离布→PET膜贴合→切片→压花→背胶贴合→冲裁→检验、包装；无纺布基材抛光垫：磨皮→切片→压花→背胶贴合→冲裁→检验、包装；	PET 膜基材合成革生产工艺：研磨分散→配料→涂布→凝固→水洗→烘干定型；无纺布基材合成革生产工艺：研磨分散→配料→含浸→预凝固→辊压→涂布→凝固→水洗→烘干定型； PET膜基材抛光垫生产工艺：磨皮→去除剥离布→PET膜贴合→切片→压花→背胶贴合→冲裁→检验、包装；无纺布基材抛光垫：磨皮→切片→压花→背胶贴合→冲裁→检验、包装；
/

环保设施或环保措施

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

废气：（1）配料废气和合成革后处理废气：集中收集+三级水喷淋+30m高DA001排气筒排放；（2）湿法线1废气和隧道炉1烘干废气：集中收集+三级水喷淋+27m高DA03排气筒排放；（3）湿法线2废气和隧道炉2烘干废气：集中收集+三级水喷淋+27m高DA02排气筒排放；（4）DMF回收系统废气：三级水喷淋+27m高DA04排气筒排放；（5**处理站废气：产生恶臭区域加盖收集+除臭装置+15m高DA05排气筒排放；（6）磨皮废气：颗粒物粒径较大，在采用集尘设备对磨皮屑进行收集后，通过洁净车间浊气排放口高空排放，不定量分析；废水：（1）食堂含油废水经隔油池预处理后，与办公生活污水经化粪池处理，处理站处理；（2）项目生产设备清洗水、废气喷淋废水、湿法线废水等生产废水经DMF回收系统（精馏回收）回收DMF后，**处理站处理；	废气：（1）配料废气和合成革后处理废气：集中收集+四级水喷淋+30m高DA001排气筒排放；（2）湿法线1废气和隧道炉1烘干废气：集中收集+四级水喷淋+30m高DA003高排气筒排放；（3）湿法线2废气和隧道炉2烘干废气：集中收集+四级水喷淋+30m高DA003高排气筒排放；（4）DMF回收系统废气：四级水喷淋+25m高DA004排气筒排放；（5**处理站废气：产生恶臭区域加盖收集+碱喷淋+UV光解+活性炭+15m高DA005排气筒排放；（6）磨皮废气：两级布袋除尘器处理后，尾气车间内循环，不外排；废水：（1）食堂含油废水经隔油池预处理后，与办公生活污水经化粪池处理，处理站处理；（2）项目生产设备清洗水、废气喷淋废水、湿法线废水等生产废水经DMF回收系统（精馏回收）回收DMF后，处理站处理；（3处理站废气**处理站处理；
车间工艺废气和DMF回收装置废气处理设施改为四级水喷淋；新增识别了污水站废气喷淋废水；补充了磨皮废气处理设施；废气处理设施增加一级水喷淋，为有利变动；新增识别污水站废气处理喷淋废水，不新增污染因子，厂区总体污水排放量不增加；补充了磨皮粉尘处理设施，处理后尾气车间内循环，不外排；不属于重大变动

其他

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

项目厂房3根排气筒，各自高27m；室外DMF回收装置1根排气筒，高27m；污水处理站1根排气筒，高15m；危险废物：废包装材料、DMF回收釜残、湿法线槽渣、物化污泥于危废暂存间暂存后，定期交由相关资质单位处理处置；1#事故应急池650m3（非事故工况作为初期雨水收集池），2#事故应急池1525m3（兼做罐区初期雨水池）	项目厂房3根排气筒，各自高30m；室外DMF回收装置1根排气筒，高25m；污水处理站1根排气筒，高15m；废包装材料、DMF回收釜残、湿法线槽渣、物化污泥、废活性炭、废UV灯管、废机油于危废暂存间暂存后，定期交由相关资质单位处理处置；1#事故应急池500m3，2#事故应急池1500m3（兼做厂区初期雨水池）
DMF回收排气筒降低7%，非主要排气筒，高度降低小于10%；危废增加识别了废机油、废活性炭和UV灯管；事故应急池容积变动，但可满足要求

3、污染物排放量

污染物现有工程（已建成的）本工程（本期建设的）总体工程总体工程（现有工程+本工程）排放方式实际排放量实际排放量许可排放量 “以新带老”削减量区域平衡替代本工程削减量实际排放总量排放增减量废水水量（万吨/年） COD（吨/年）氨氮（吨/年）总磷（吨/年）总氮（吨/年）废气气量（万立方米/年）二氧化硫（吨/年）氮氧化物（吨/年）颗粒物（吨/年）挥发性有机物（吨/年）

8.341	8.341	8.341
4.17	4.17	4.17
0.417	0.417	0.417
0	0	0
0	0	0
0	0	0	/
0	0	0	/
0	0	0	/
0	0	0	/
0.3465	0.346	0.346	/

4、环境保护设施落实情况

表1 水污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

隔油池、化粪池、500m3/d污水处理站

《****工业园****处理厂进水水质指标》（本项目特征污染物DMF****处理厂协议进水水质浓度）

隔油池、化粪池、500m3/d污水处理站

验收期间废水检测结果显示：厂区污水排放口的pH值为6.7~6.9；化学需氧量为140~161mg/L；五日生化需氧量为23.4~29.7mg/L；氨氮为3.51~3.77mg/L；悬浮物为25~33mg/L；动植物油为ND；总磷为0.08~0.10mg/L；总氮为9.07~11.6mg/L；色度2。

表2 大气污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

（1）抛光垫厂房工艺废气 1）配料废气、合成革后处理废气废气主要为DMF、VOCs，经集中收集+四级水喷淋+30m高DA001排气筒排放 2）湿法线1废气和隧道炉1烘干废气主要为DMF，经集中收集+四级水喷淋+30m高DA003高排气筒排放； 3）湿法线2废气和隧道炉2烘干废气主要为DMF，经集中收集+四级水喷淋+30m高DA002高排气筒排放； 4）磨皮废气磨皮机位于30万级净化车间内，颗粒物粒径较大，在采用集尘设备对磨皮屑进行收集后，通过两级布袋除尘器处理后，尾气车间内循环，不外排；（2）室外DMF回收装置废气室外DMF回收装置废气经四级水喷淋+25m高DA004排气筒排放；（3****处理站及危废暂存间废气危废暂存间废气经****处理站废气经由碱喷淋+UV光解+活性炭+15m高DA005排气筒排放；

有组织排放VOCs、DMF，厂界无组织排放VOCs、DMF执行《合成革与人造革工业污染物排放标准》（GB21902-2008）要求，厂内储罐区、厂房外监控点VOCs执行《挥发性有机物无组织排放控制标准》（GB37822-2019）非甲烷总烃限值要求；氨气、硫化氢、臭气浓度执行《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）中表1、表2限值要求

验收期间废气检测结果显示：车间生产废气DA001排气筒排放的N,N-二甲基甲酰胺为ND（未检出，检出限0.1mg/m3），小于标准值50mg/m3；挥发性有机物排放浓度范围为1.89~2.94mg/m3，小于标准值200mg/m3，速率范围为0.0023~0.0037kg/h；车间生产废气DA002排气筒排放的N,N-二甲基甲酰胺为ND（未检出），小于标准值50mg/m3；车间生产废气DA003排气筒排放的N,N-二甲基甲酰胺为ND~0.3mg/m3，小于标准值50mg/m3；室外DMF回收装置废气DA004排气筒排放的N,N-二甲基甲酰胺为ND（未检出），小于标准值50mg/m3；臭气浓度值为355~417，小于标准值6000；污水处理站废气DA005排气筒排放的氨气浓度范围为0.66~0.78mg/m3，速率范围为0.0079~0.0095kg/h，小于标准值4.9kg/h；硫化氢排放浓度范围为0.08~0.09mg/m3，速率范围为0.00095~0.0011kg/h，小于标准值0.33kg/h；臭气浓度范围为269~355，小于标准值2000；非甲烷总烃排放浓度范围为1.95~2.25mg/m3，小于标准值120mg/m3，速率范围为0.024~0.028kg/h，小于标准值10kg/h；厂界无组织排放的挥发性有机物浓度范围为0.234~0.822mg/m3，小于标准值10mg/m3；DMF浓度为ND（未检出），小于标准值0.4mg/m3；氨气浓度范围为0.12~0.20mg/m3，小于标准值1.5mg/m3；硫化氢浓度范围为0.003~0.008mg/m3，小于标准值0.06mg/m3；臭气浓度范围为10~17，小于标准值20；厂内监测点位非甲烷总烃浓度范围为1.13~1.17mg/m3，小于标准值10mg/m3；

表3 噪声治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

基础减震+建筑隔声

《工业企业厂界环境噪声排放标准》（ GB12348-2008）3类、4类标准

基础减震+建筑隔声

厂界东侧、南侧、北侧昼间噪声最大值为55.6dB(A)，小于标准值65dB(A)；厂界东侧、南侧、北侧夜间噪声最大值为46.1dB(A)，小于标准值55dB(A)。厂界西侧昼间噪声最大值为53.9dB(A)，小于标准值70dB(A)；厂界西侧夜间噪声最大值为43.1dB(A)，小于标准值55dB(A)；

表4 地下水污染治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

分区防渗

表5 固废治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

各类固体废物分类收集，妥善处理处置。

各类固废均得到妥善处理处置，不外排入周围环境，不会对环境产生明显不利的影响

表6 生态保护设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表7 风险设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

1#事故应急池650m3（非事故工况作为初期雨水收集池），2#事故应急池1525m3（兼做罐区初期雨水池）

1#事故应急池500m3，2#事故应急池1500m3（兼做厂区初期雨水池）；容积变动，但可满足要求

5、环境保护对策措施落实情况

依托工程