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电子束直写系统（第三次）评标结果公示公告(1)
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400-688-2000
相关单位：
***********公司企业信息
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项目名称：电子束直写系统（第三次）
招标项目编号：****
招标范围：电子束直写系统 1套 （含电子束直写系统主机、电子枪、激光干涉位移台、自动动态对焦系统（含像散矫正、写场畸变矫正等模块）、图形发生器、单自动加载器、预对准显微镜、电子束曝光设备控制软件等组成部分，具体指标详见技术规格）
招标机构：**豪圣****公司
招标人：/
开标时间：2026-07-14 09:30
公示开始时间：2026-07-15 13:57
评标公示截止时间：2026-07-20 23:59
中标候选人名单：
招标项目编号：****
招标范围：电子束直写系统 1套 （含电子束直写系统主机、电子枪、激光干涉位移台、自动动态对焦系统（含像散矫正、写场畸变矫正等模块）、图形发生器、单自动加载器、预对准显微镜、电子束曝光设备控制软件等组成部分，具体指标详见技术规格）
招标机构：**豪圣****公司
招标人：/
开标时间：2026-07-14 09:30
公示开始时间：2026-07-15 13:57
评标公示截止时间：2026-07-20 23:59
中标候选人名单：
| 1 | **** | Raith.B.V. | 荷兰 |
| 2 | ******公司 | Crestec Corporation | 日本 |
招标进度跟踪
2026-07-15
候选人公示
电子束直写系统（第三次）评标结果公示公告(1)
当前信息
2026-06-23
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