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紫外光刻机采购公告
招标详情
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| 申购单主题： | 紫外光刻机 | ||||||
| 申购备注： | 中标公司有能开专票的资质，中标供货后需签署合同，****学校报销 | ||||||
| 商品名称 | 品牌 | 型号 | 数量 | 报价类型 | |||
| 紫外光刻机 | 中科院光电所 | URE-2000/17 | 2 | 国内含税价/人民币 | |||
| 售后服务 | 所有交付货物均为原厂全新正品，随附合格证/出厂检测报告，机身序列号可通过官方渠道溯源查验，到货核验若存在包装破损、参数不符、非全新、非正品原装等问题，供方须在3个工作日内免费更换全新货物并承担全部相关费用；货物需配送至指定点位并放置在指定位置，到货后3日内原厂工程师到场完**装调试，供需双方依次完成到货开箱核验、安装调试验收；由原厂工程师现场提供设备操作、日常维护及基础故障排查培训，确保不少于2名参训人员可独立完成常规操作并交付全套操作维护资料；供方提供至少两次免费现场服务，首次为设备到货后的安装、调试与验收服务，第二次为设备迁至新实验场地时的搬迁、安装与调试服务；整机质保期3年，自最终验收合格之日起计算，质保期内售后故障2-4小时内上门响应，非人为损坏的零部件免费更换，免收上门费与工时费，每年提供1次免费上门巡检校准并出具设备状态检测报告。 | ||||||
| 规格 | 1.曝光面积：4英寸； 2.曝光波长：365nm； 3.对准精度：1μm； 4.掩模样片整体运动范围：X：15mm；Y:15mm； ★5.掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸； ★6.样片尺寸：直径15mm-- 100mm，可适应厚度0.1mm--6mm； 7.曝光方式：定时（倒计时方式）； ★8.双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过CCD+显示器对准，光学合像，光学最大倍数400倍，光学+电子放大800倍，物镜三对：4倍、10倍、20倍，目镜三对：10倍、16倍、20倍； ★9.汞灯功率：200W（直流）。 | ||||||
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2026-07-15
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