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| 水-等离子-气级联清洗系统 | 1.0/台(套) | 系统中供水组件品牌:力康生物;等离子清洗组件目标品牌:diener;真空组件品牌:Edwards等(本地化售后服务) | 1.工艺气路:2路流量计(可通多种工艺气体O2、Ar等非腐蚀性气体);另配1路破真空进气气路 2.压力控制:反应舱压力计,量程0.1~9.99mbar 3.发生器:频率40KHz,功率0~100W,电流过载保护功能 4.反应腔:高硼硅玻璃材料;腔体尺寸:Dia105xD300mm;容积:2.6L 5.双极油式真空泵,排气速度4m3/H 6.设置温度范围:20~300℃ 7.风扇速率0-100%可调,步长10% 8.氮气标称抽速 1.1 m3/h(0.306 L/s) 9.排气压力:最大耐受出口背压 1.2 bar 10.量程:2SLM;温度:常温;压差:0.2MPa;输入/出信号:4-20mA+MODBUS/RS485 11.超纯水电阻率为18.2 MΩ-cm(@25℃);出水量0.8-1L/min | 1.工艺气路:2路流量计(可通多种工艺气体O2、Ar等非腐蚀性气体);另配1路破真空进气气路 2.压力控制:反应舱压力计,量程0.1~9.99mbar 3.发生器:频率40KHz,功率0~100W,电流过载保护功能 4.反应腔:高硼硅玻璃材料;腔体尺寸:Dia105xD300mm;容积:2.6L 5.双极油式真空泵,排气速度4m3/H 6.设置温度范围:20~300℃ 7.风扇速率0-100%可调,步长10% 8.氮气标称抽速 1.1 m3/h(0.306 L/s) 9.排气压力:最大耐受出口背压 1.2 bar 10.量程:2SLM;温度:常温;压差:0.2MPa;输入/出信号:4-20mA+MODBUS/RS485 11.超纯水电阻率为18.2 MΩ-cm(@25℃);出水量0.8-1L/min | 按行业标准提供服务(提供本地化安装调试及售后服务) |