动态图形生成与光控系统竞价公告

发布时间: 2026年07月17日
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项目名称 动态图形生成与光控系统 项目编号 ****
项目编号 ****
公告发布日期 2026/07/17 17:36 公告截止日期 2026/07/21 17:36
公告截止日期 2026/07/21 17:36
采购单位 ****
联系人 中标后在我参与的项目中查看 联系手机 中标后在我参与的项目中查看
联系手机 中标后在我参与的项目中查看
采购预算 未公开 币种 RMB
币种 RMB
是否本地化服务 是否需要踏勘
是否需要踏勘
踏勘联系人 踏勘联系电话
踏勘联系电话
踏勘地点 踏勘联系时间
踏勘联系时间
送货/施工/服务期限 合同签订后 90 天内到货
送货/施工/服务地址 ****科创港校区10栋
售后服务 按行业标准执行
付款条款 国产设备:1.供应商在申请验收前,须先把合同总金额的(0)%作为质保金交到采购人指定账户,并开具合同金额100%发票;2.货到合同指定地点并安装调试验收合格后,凭验收报告在10个工作日内支付合同总金额的(100)%;3.在验收合格之日起的(0)年后无质量问题,经采购人认可,一次性将合同质保金无息退还供应商。


采购清单
1
采购内容 数量单位
动态图形生成与光控系统 1(套)
参考品牌及型号 泽攸科技/EHG Operating System
技术参数要求 1、数据传输接口:USB 2、灰度调制:8 bit 3、切图功能 a)支持格式:GDS、DXF、PNG、JPG、BMP等 b)版图预览:支持缩放、逐图层查看、尺寸测量、切图预览等 c)切图保护:支持切图时保留特征区域 d)极性反转:支持版图极性反转以适配负胶光刻 e)批量切图:支持多图层指定不同分辨率 f)三维光刻:支持不同正胶及负胶的准三维光刻切图 g)切图日志:支持查找、快速应用历史切图配置 4、拼接功能 a)支持加载历史切图快速光刻 b)支持对版图进行分区,单独设置剂量、重复或分层光刻 c)支持手动或自动的版图阵列化光刻 3)套刻功能 a)支持交互式套刻指引 b)支持两点快速对准套刻 c)支持版图仿射变换套刻 5、辅助功能 a)剂量优化:支持变化曝光强度或曝光时间确定样品最佳光刻剂量 b)自动寻边:支持矩形或圆形样品,自动确定样品尺寸及坐标映射 c)扫描地貌:支持光刻前预扫描样品形貌以提升光刻效率 d)光刻预览:支持交互式光刻预览及坐标调整 e)原位绘图:支持快速原位绘制光刻图案 f)显微测量:支持显微物理尺寸测量 g)显微拼接:逐视场拼接生成大尺寸显微图像 h)光刻日志:支持查找、快速应用历史光刻配置 i)多国语言:支持中英文界面切换

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