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| 项目名称 | 动态图形生成与光控系统 | 项目编号 | **** |
| 项目编号 | **** | ||
| 公告发布日期 | 2026/07/17 17:36 | 公告截止日期 | 2026/07/21 17:36 |
| 公告截止日期 | 2026/07/21 17:36 | ||
| 采购单位 | **** | ||
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系手机 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 联系手机 | 中标后在我参与的项目中查看 | ||
| 采购预算 | 未公开 | 币种 | RMB |
| 币种 | RMB | ||
| 是否本地化服务 | 否 | 是否需要踏勘 | 否 |
| 是否需要踏勘 | 否 | ||
| 踏勘联系人 | 踏勘联系电话 | ||
| 踏勘联系电话 | |||
| 踏勘地点 | 踏勘联系时间 | ||
| 踏勘联系时间 | |||
| 送货/施工/服务期限 | 合同签订后 90 天内到货 | ||
| 送货/施工/服务地址 | ****科创港校区10栋 | ||
| 售后服务 | 按行业标准执行 | ||
| 付款条款 | 国产设备:1.供应商在申请验收前,须先把合同总金额的(0)%作为质保金交到采购人指定账户,并开具合同金额100%发票;2.货到合同指定地点并安装调试验收合格后,凭验收报告在10个工作日内支付合同总金额的(100)%;3.在验收合格之日起的(0)年后无质量问题,经采购人认可,一次性将合同质保金无息退还供应商。 | ||
| 采购内容 | 数量单位 | |||
| 动态图形生成与光控系统 | 1(套) | |||
| 参考品牌及型号 | 泽攸科技/EHG Operating System | |||
| 技术参数要求 | 1、数据传输接口:USB 2、灰度调制:8 bit 3、切图功能 a)支持格式:GDS、DXF、PNG、JPG、BMP等 b)版图预览:支持缩放、逐图层查看、尺寸测量、切图预览等 c)切图保护:支持切图时保留特征区域 d)极性反转:支持版图极性反转以适配负胶光刻 e)批量切图:支持多图层指定不同分辨率 f)三维光刻:支持不同正胶及负胶的准三维光刻切图 g)切图日志:支持查找、快速应用历史切图配置 4、拼接功能 a)支持加载历史切图快速光刻 b)支持对版图进行分区,单独设置剂量、重复或分层光刻 c)支持手动或自动的版图阵列化光刻 3)套刻功能 a)支持交互式套刻指引 b)支持两点快速对准套刻 c)支持版图仿射变换套刻 5、辅助功能 a)剂量优化:支持变化曝光强度或曝光时间确定样品最佳光刻剂量 b)自动寻边:支持矩形或圆形样品,自动确定样品尺寸及坐标映射 c)扫描地貌:支持光刻前预扫描样品形貌以提升光刻效率 d)光刻预览:支持交互式光刻预览及坐标调整 e)原位绘图:支持快速原位绘制光刻图案 f)显微测量:支持显微物理尺寸测量 g)显微拼接:逐视场拼接生成大尺寸显微图像 h)光刻日志:支持查找、快速应用历史光刻配置 i)多国语言:支持中英文界面切换 | |||