[HF20261847]压电MEMS传感器流片项目成交公告

发布时间: 2026年07月17日
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1.项目名称:压电MEMS传感器流片项目

2.成交供应商名称:****

3.成交供应商地址:**省****数码城C座609-2

4.成交金额(折合人民币):100000元

5.付款方式:合同签订后7个工作日之内预付合同金额的30%,服务完成且验收合格后7个工作日之内支付合同金额70%。

6.主要成交标的:

序号

服务名称

服务内容

服务期限

1

压电MEMS传感器流片项目

在6寸晶圆上进行压电MEMS传感器流片相关服务;包含薄膜生长、光刻、刻蚀、清洗、划片等服务,共交付4片FULL MASK全流程晶圆(其中2套版图,每套版图各2片FULL MASK全流程晶圆)。

合同签订后两个月内完成并交付

****

2026年07月17日

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2026-07-17
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[HF20261847]压电MEMS传感器流片项目成交公告
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