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磁控溅射镀膜仪

吉林 -长春

发布时间： 2026年07月17日

摘要信息

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代理单位联系人

关键信息

磁控溅射镀膜

招标详情

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相关单位：

***********公司企业信息

[****]磁控溅射镀膜仪备案公示公告

发布时间：2026-07-15 16:20:42

采购信息

项目编号项目名称经办人单位经办人预算金额成交金额成交供应商质保期发票要求联系地址发票要求付款方式供应商联系手机交货时间交货地址交货方式包装及运费验收方式售后服务要求

****	磁控溅射镀膜仪
****学院	张佳旗
235000.00 人民币	220000.00 人民币
****	24 月
乙方所提供的产品用途为“科技开发、科学研究、教学设备”时，****大学开具增值税专用发票。
省-市-区街35号	采购单位	****
乙方所提供的产品用途为“科技开发、科学研究、教学设备”时，****大学开具增值税专用发票。
货到验收合格办理相关手续后100%付款。
138****3716	成交单签订后60天内交货
省-市-大街2699**大学南区唐敖庆楼D区527室
乙方免费将产品送达甲方用户单位指定地点。
由乙方免费提供及承担
以成交单为准，参考相关内容进行验收。验收程序以甲方职能部门规定为准。
在保修期内，卖方承担设备维修、部件更换、差旅等一切费用。但人为损坏和不正当操作及设备仪表等没有在卖方所允许的使用环境和条件下使用所致的故障的维修，由买方承担一切费用。在保修期外，免费电话技术支持和疑问解答，如果需要，卖方工程师可亲临设备现场进行维护和技术培训，相关费用由用户方承担。

明细清单

采购品目品牌名称名称产地及生产商规格型号数量计量单位保修年限单价总价主要技术参数

电子工业生产设备	**鹏程
磁控溅射镀膜仪	中国-****
VCT300	1
台	2 年
220000.00 人民币	220000.00 人民币
1.溅射室极限真空度：≤6.0x10-5 Pa (经烘烤除气后)。 2.系统真空检漏漏率：≤5.0x10-7Pa.l/S。 3.系统从大气开始抽气：溅射室25分钟可达到7x10-4Pa。 4.系统停泵关机12小时后真空度：≤8Pa。 5.真空室为筒型液压辅助上开盖结构，尺寸Ф280mmx300mm，全不锈钢结构。 6.磁控溅射系统（3套），靶材尺寸：Ф50mm。 7.500W直流脉冲电源2台。 8.300w全自动调谐射频电源1台(数字式通讯全自动匹配)。 9.旋转转基片台 1套，安装尺寸为4英寸的样品可定位自传。也可实现多靶共溅射。基片通过进口加热丝加热方式，加热温度：室温—600° C（抗氧化）。 10.氩100SCCM质量流量控制器、氧20SCCM质量流量控制器、氮50SCCM质量流量控制器，CF16电动截止阀、管路、接头等：共3路,配备独立混气室。 11.复合分子泵及变频控制电源：1台（抽速700L/s）。 12.机械泵：抽速9L/S，1台。系统采用PLC+嵌入一体式触摸屏工控机实现全自闭后环动控制方式。