化合物/介质膜刻蚀设备-公开招标公告

本招标项目化合物/介质膜刻蚀设备招标人为****，招标项目资金来自国拨资金，出资比例为100%。该项目已具备招标条件，现对化合物/介质膜刻蚀设备进行国内公开招标。

2.1 招标编号：****

2.2 招标项目名称：化合物/介质膜刻蚀设备。

2.3数量:1台

2.4 主要内容：化合物/介质膜刻蚀设备要求为国产全新设备，主要用于铟镓砷APD焦平面探测器微纳光场调控结构、隔离沟槽结构等窄线宽图形刻蚀,完成化合物及介质膜材料刻蚀工艺,化合物材料方面，主要包括InP、InGaAs（P）、InAlAs等；介质膜方面，主要包括SiO2、SiNx、SiNxOy等单层或多层混合介质膜。主要流程：在铟镓砷APD焦平面芯片制作全流程工艺中，化合物/介质膜刻蚀设备在光刻工序完成刻蚀掩膜制作之后，用于晶圆表面介质开窗及材料刻蚀。刻蚀工艺完成之后，通过后续PECVD工序完成材料表面钝化。工艺输入输出均为标准晶圆。

2.5 交货地点：**市**区西永微电园西永大道23号。

2.6 交货期：合同生效后150天。

3.1 依法设立的证明：投标人须具有独立承担民事责任能力的在中华人民**国境内注册的法人或其他组织，具备****事业单位法人证书或其它营业登记证书。

3.2 业绩要求：投标人需提供2023年1月1日至今已签订的本次投标同型号设备的销售业绩≥3台，须提供设备采购合同复印件（合同乙方应为投标人或制造商）。合同内容须体现合同标的物、数量、签订日期、甲乙双方签字或盖章页、设备型号等能反映业绩要求的主要内容，未按上述要求提供的业绩证明不予认可。

3.3 其它要求：本项目接受代理商投标，如代理商投标，需提供所投产品制造商针对本项目的授权证明文件，同一品牌同一型号产品仅能授权一家投标人参与本项目投标，制造商与代理商不得同时参与本项目投标。

3.4本次招标不接受联合体投标。

3.5 投标人必须向招标代理机构购买招标文件并进行登记才具有投标资格。

4.1凡有意参加投标者，请于2026年07月17日至2026年07月24日17时(**时间)，登录中招联合招标采购平台（网址：www.****.cn,注册操作咨询电话010-****7110）购买并下载招标文件，现场不予受理。

4.2 招标文件每套售价800元（从中招联合招标采购平台下载标书款电子发票），售后不退。

5.1投标文件递交的截止时间（投标截止时间，下同）为2026年08月07日09时30分，****酒店会议室（**市**区西永大道36号）。招标人在本项目递交投标文件截止时间和递交地点开标，邀请所有投标人参加开标，投标人未派代表参加开标的，视为默认开标结果。标书代写

5.2逾期送达的、未送达指定地点的或者不按照招标文件要求密封的投标文件，招标人将予以拒收。标书代写

本次招标公告同时在中国招标投标公共服务平台和中招联合招标采购平台发布。

本招标项目的监督部门为：法务与风控审计部。

招标人名称：****

地址：**市**区西永大道23号

联系人：吴先生

电话： 023-****0107

招标代理机构：****

地址：**市**区金沟河路与采石北路十字路口东南角88号大楼

售卖联系人：李经理

电话：028-****6520

项目负责人：唐玲

电子邮件：****@zonkex.com