高真空磁控溅射薄膜沉积系统竞争性磋商公告

一、项目名称：高真空磁控溅射薄膜沉积系统

二、项目编号：****

三、项目预算：90.00万元人民币

四、采购人：****

地址：**省**市东环路50号**楼906室

邮编：215021 传真：0512-****5076

联系人：罗老师 电话：0512-****4198

电子邮箱：lrb998@suda.****.cn

技术联系人：王老师 电话：137****5776

电子邮箱：chwang0515@suda.****.cn

五、采购货物品名、数量及主要性能参数要求

高真空磁控溅射薄膜沉积系统 1套

1. 溅射室极限真空度≤8.0×10-6Pa(经烘烤除气后)。

2. 抽气性能：系统充干燥氮气短时间破坏真空（时间不超过15分钟）开始抽气，40分钟可达到6.0×10-4Pa。

3. 磁控室为单室结构，前开门，尺寸不小于：500mm（长）×500mm（宽）×550mm（高）。真空室外壁焊接水道冷却结构，内壁挂防污板，选用优质冷轧304不锈钢和铝合金材料制造，氩弧焊接，表面进行电化学抛光。

4. 不少于4支≥3英寸的溅射靶枪，其中不少于3支标准磁场强度，不少于1支强磁场强度。所有靶枪均配备独立的气动挡板，防止靶材交叉污染。靶枪配套散热，但靶枪磁铁与水冷系统不直接接触。

5. 靶枪到基片距离可调，调节范围≥30mm。样品台至靶枪靶材最大距离≥110mm。

6. 靶材安装不需要固定压环，可直接磁吸安装，暗区屏蔽装置高度低于靶材表面。

7. 溅射电源：直流溅射电源，功率≥500W/三套，射频溅射电源，功率≥500W/套。

8. 晶棒专用夹持转台：晶棒最大尺寸：10mm×10mm×100mm，兼容小尺寸，单次可夹持晶棒数量不少于6件，且同时具备公自转功能(公自转可独立运行)，转速5转/分～20转/分。夹持转动台配套晶棒快速装卸装置，确保夹持后的同轴度，并能平稳运行。夹持机构两端配有防磨损装置，防止晶棒两端镀膜面磨损。夹持转动台快卸机构，配有短晶棒过渡器，以适应不同长度晶棒装配使用。

9. 工作气路：3路气体分别为氩气，氮气，氧气，配备相应流量控制器氩气（0200SCCM），氮气（050SCCM），氧气（050SCCM），并配有自动混气装置。

10. 泵抽系统：分子泵抽速≥1300L/s( 1套),机械泵抽速≥13L/s(1套)。

11. 真空计1套：量程：1×105Pa6.6×10-7Pa。

12. 薄膜规1套：量程（0.013Pa～13Pa）。

13. 电控系统

13.1 由工控机和PLC实现对整个系统的控制，有自动和手动控制两种功能，具有完备的自锁、互锁保护系统，并对关键部件有完备的故障报警及报警动作保护措施，确保设备使用安全。

13.2 采用配方式自动工艺流程，提供开放式工艺编辑、存储与调取执行，能实现真空获得、控制温度、镀膜工艺、真空释放等工艺的自由组合，并一键式全自动运行。

13.3 可通过操作人机交互界面完成对设备中各部分模块参数的手动设置以及具体功能的手动控制，并可查询和导出系统运行过程中监测到的各种操作记录以及产生的各种数据记录。

13.4 配套软件需提供软件著作权证明文件。

14. 整套系统质保期不少于1年。

六、评分标准

本次磋商采用综合评分法，总分为100分，具体内容如下：

（一）价格分（35分）

1．基准价：满足竞争性磋商文件要求且价格最低的报价为基准价，基准价为满分35分。

2．其他供应商的报价得分按照下列公式计算：报价得分＝（基准价／报价）×35分。

（二）技术参数、配置及整体综合性能分（47分）

1.技术参数及配置（40分）

以供应商提供的能直接反映该产品技术参数的彩页或产品说明书等作为主要评判依据，****小组根据实际情况进行评判。

（1）所提供产品多项不满足磋商公告要求（偏离），或参数偏离超出用户教学、科研可接受范围的，****小组评审可作为无效响应文件。标书代写

（2）所提供产品不满足磋商公告要求（偏离）、配置不详、技术参数不明确、缺漏项的，每处扣2分。（34分）

（3）所提供产品性能参数优于磋商公告****小组认为优于指标有意义的），其中优于项每处加2分。（6分）

2.技术方案（7分）

供应商提供为实现本项目磋商公告技术参数要求而制定的技术方案。

技术方案详尽、合理、针对性强，能完全符合用户科研需求的得7分。

技术方案规范、较合理、针对性一般，能符合用户科研需求的得4分。

技术方案有疏漏、合理性一般、没有针对性，部分符合用户科研需求的得2分。

技术方案完全不能符合用户科研需求或未提供技术方案的得0分。

（三）综合商务（18分）

1.业绩（5分）。供应商提供自2023年6月起至今同类型设备销售业绩，每提供1份业绩得1分，满分5分。（注：①提供业绩合同复印件；②以签订合同日期为准；③同一单位业绩不重复计分。）

2.市场反馈情况（2分）。供应商提供同类型设备现有用户反馈情况，每提供1份得1分，满分2分。反馈情况需含反馈单位公章、项目名称、型号、采购时间、满意度、联系人及电话，。

3.售后服务与培训情况等（9分）

（1）质保期（2分）。在磋商文件要求基础上每增加1年质保期加1分。

（2）售后服务与培训方案(7分）

供应商对本项目制定售后服务与培训方案，方案至少包括：①售后服务人员、②服务机制、③服务体系的完备性等内容④培训内容、人员与时长等。

售后服务人员及服务机制内容涵盖全面、科学、合理；响应时间及时、故障解决方案科学合理，服务体系完备，培训内容总体可操作性及针对性贴合本项目需求的得7分；

售后服务人员及服务机制内容涵盖基本全面、规范；响应时间合理、故障解决方案基本合理，服务体系基本合理，培训内容总体具有一定操作性，基本符合采购需求的得4分；

售后服务人员及服务机制内容欠缺规范，响应时间不够合理、故障解决方案不够合理，服务体系不够合理，培训内容可操作性及针对性不足或部分不贴合本项目需求的得2分；

方案不满足采购基本需要或未提供方案的不得分。

4．其它优惠措施（2分）。根据供应商提供的在磋商文件要求范围以外，磋商小组认可的优惠措施综合评定。

七、磋商响应报价应包括所报仪器设备费、安装调试费、测试验收费、培训费、运行维护费、税金(含美国产品被加征关税)、国际国内运输费、保险和其他为完成本项目所发生的一切费用。

八、供应商资质要求

（一）具有独立承担民事责任的能力；

（二）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；

（三）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；

（四）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；

（五）近三年内，在经营活动中没有重大违法记录；

（六）本项目不接受联合体报价。

九、磋商响应文件的组成标书代写

（一）磋商响应文件一般由下列材料组成（部分表格样式见附件1），复印件须加盖供应商公章，所有材料须按序装订成册：标书代写

1. 目录（磋商响应资料与页码对照表，原件）。

2. 磋商响应函（原件）。

3. 响应基本情况一览表（原件）。

4. 详细配置清单（原件）。

5. 技术规格偏离表（原件）。

6. ****公司资质、公司业绩、公司荣誉等，原件）。

7. 资格证明材料

（1）营业执照（复印件）。

（2）法定代表人授权书（原件）。

（3）法定代表人身份证明材料（如身份证、护照等）（复印件）。

（4）法人授权代表身份证明材料（授权代表投标需提供，如身份证、护照等）及单位社保证明（复印件）。

（5）近三年内在经营活动中没有重大违法记录承诺函（原件）。

（6）依法缴纳税收和社会保障资金的相关材料（复印件）。

（7）最近一年度审计报告或财务报表（复印件）。

（8）仪器设备生产或经营企业许可证（如有，复印件，特殊行业必须提供）。

（9）仪器设备销售代理授权证明****制造厂商投标的，须按第2.2条要求提供，专项授权书提供原件、代理证书提供复印件）。

（10****中心出具的质量体系认证证书（如有，例如：ISO、FDA、CE、3C等，国家强制要求的设备必须提供，复印件）。

（11）近三年来与本次磋商仪器设备相同产品的用户名单及联系方式（以教学、科研用户为主，原件）。

8. 服务措施、服务承诺（主要包括针对本项目的服务、培训方案及其他优惠措施等）（原件）。

9. 供应商认为应该提供的其他材料。

（二）特别说明

1. “磋商响应文件”应装订并密封，并加盖投标单位公章。标书代写

2. 正本一份，副本三份，如副本与正本有出入，以正本为准；

3. 相关材料及填写规范按照《**大学招标采购仪器设备投标人须知》第三条“投标文件”中的具体要求执行。标书代写

十、货物交货期、交货地点、付款方式、安装、调试、验收以及售后服务等相关商务要求，参照《**大学招标采购仪器设备投标人须知》第21条中的要求执行。

十一、磋商文件价格：人民币800元（相关缴纳事宜详见附件3），售后不退。

十二、报名：供应商在报名前，须认真阅读《**大学招标采购仪器设备投标人须知》和本磋商公告，完全了解并接受其所有条款及要求，并在2026年7月28日12:00前将报名函（格式见附件2）发送邮件至采购人处（lrb998@suda.****.cn）。

十三、递交磋商响应文件相关事宜标书代写

（一）顺丰快递邮寄方式（建议优先采用）

1. 寄达时间：2026年7月31日9:00前。

2. 收件人信息：

收件人：罗老师

联系方式：136****9516

收件地址：**省**市东环路50号苏**校区**楼906****管理中心）

（二）现场递交方式

1. 递交时间：2026年7月31日8：30～9：00

2. 递交地点：**省**市东环路50****大学东校区东大门

十四、递交磋商文件截止时间：2026年7月 31日9:00。标书代写

十五、磋商时间：2026年7 月31日9:00。

竞争性磋商公告附件.zip