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中国科学院物理研究所反应等离子体刻蚀系统（RIE）采购合同(2026预算029)
招标详情
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***********公司企业信息
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****反应等离子体刻蚀系统（RIE）采购合同(2026预算029)
一、合同编号： XS****073462A
二、合同名称： ****反应等离子体刻蚀系统（RIE）采购合同(2026预算029)
三、项目编号： ****
四、项目名称： ****反应等离子体刻蚀系统（RIE）(2026预算029)
五、合同主体
采购人（甲方）： ****
地 址： **市**区中关村南三街8号
联系方式：010-****9232
供应商（乙方）：****
地 址：****开发区**大道8号
联系方式：010-****8658
六、合同主要信息
主要标的名称：反应等离子体刻蚀系统（RIE）(2026预算029)
规格型号（或服务要求）：GSE C200
主要标的数量：1
主要标的单价：****000.00元
合同金额： 230.000000万元
履约期限、地点等简要信息：按双方签订的合同及技术协议，在合同生效后5个月内，供货至物理所，并安装调试达到约定的技术指标。
采购方式： 公开招标
七、合同签订日期： 2026-07-16
八、合同公告日期： 2026-07-20
九、其他补充事宜：2026预算029
附件：
附件（1）
2026预算029 反应等离子体刻蚀系统 国内采购合同.pdf下载预览
招标进度跟踪
2026-07-20
合同公告
中国科学院物理研究所反应等离子体刻蚀系统（RIE）采购合同(2026预算029)
当前信息
2026-07-07
2026-06-12
2026-06-08
2026-05-20
2026-05-13
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