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关于内蒙古大学高精度微加工系统网上比选公告

公告-招标公告

内蒙古 -呼和浩特

发布时间： 2026年07月21日

标书代写官方

摘要信息

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大学比选公告

招标详情

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相关单位：

***********公司企业信息

项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式联系人联系电话签约时间要求到货时间要求预算总价发票要求含税要求送货要求安装要求收货地址供应商资质要求公告说明

高精度微加工系统	****
2026-07-21 09:06:07	2026-07-24 10:00:00
****	预付款或者验收后付款

	签订合同后240个工作日内
￥400000.00




自治区大学西路235号******学院
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单1

采购商品采购数量计量单位所属分类

高精度微加工系统

台

其他试验仪器及装置

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

￥ 400000.00

1. 系统须具备高真空工艺环境，主腔体及互联系统满足薄膜制备需求，关键真空、压力、气路和安全联锁可闭环控制。 2. 膜厚控制能力达到高精度微加工要求：膜厚控制分辨率≤0.1 nm。 3. 样品有效区域内膜厚均匀性≤±3%，工艺重复性和稳定性满足多批次实验。 4. 配置多靶位沉积工艺模块，满足金属、半导体或介质薄膜制备。 5. 配置5路高纯工艺气路，质量流量控制精度优于±1%F.S.，支持Ar、O2、N2等常用工艺气体和压力稳定控制。 6. 配置高温样品停放台，具备样品加热（750℃）、工艺可重复定位能力；样品转移和互联系统应满足洁净、稳定和安全操作。 7. 配置PLC或等效控制系统，具备真空、气路、电源、阀门、样品架和安全联锁控制，支持工艺记录、报警和权限管理。 8. 配置观察窗、照明、支架、烘烤等附件，具有包装运输、安装调试、培训和售后服务等完整配套。 9. 设备应提供中文操作说明、维护手册、验收报告和必要备件，满足科研需求和长期稳定运行。

技术支持:7x24小时;保修期:一年;服务响应时限:报修后24小时;质保期:一年;培训要求:培训一次;是否含税:国产含税;