项目编号:****
根据《****采购管理办法(试行)》和《****货物和服务快速采购实施细则》,********学院因教学、科研需要,现以上大迅采方式采购干式光刻胶制膜设备。
1、符合政府采购法第二十二条之供应商资格规定。
2、在近三年内供应商或其单位负责人、拟委任的项目负责人无犯罪行为、“信用中国”网站(www.****.cn)中不存在生效中的严重失信与经营异常情形、未被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单,****政府采购网(www.****.cn)政府严重违法失信行为记录名单的供应商。
二、项目概况| 干式光刻胶制膜设备 | 1.蒸发源: 12组热阻式蒸发源,可蒸发常见金属、金属氧化物及其他材料,源与基片垂直距离350mm;每组蒸发源上方配备气缸驱动防护板,通过左右旋转方式打开,防止交叉污染;源与源之间装有隔板,避免材料相互污染;配备2台可编程直流稳压蒸发电源,总功率1.5KW,精度0.1A,可配合膜厚仪实现自动蒸镀。2.膜厚控制系统:3个卡扣式水冷晶振探头,分别安放于腔体两个角落,每个探头监测 4 个蒸发源;以Ag为标准,蒸镀速率稳定性≤±10%(0.1-0.5 /s)、≤±5%(0.5-10 /s)、≤±4%(>10/s);单片内膜厚均匀性≤5%。3.真空室:不锈钢制成,内部尺寸450mm×450mm×580mm,内置基础结构、挡板固定装置及蒸发电极、真空泵、样品盘等装置;极限真空小于5×10Pa,从常压到5×10Pa(充氮气保护条件下)所需时间15min;3.3旁抽系统:配备旁抽系统;4.真空系统:4.1前级泵:抽速30m3/h;4.2主泵:采用分子泵,抽速1200L/s;4.3插板阀:主泵与腔室之间安装气动插板阀,通径200mm; | 480000 | 1 | 台 | 480000 |
| 蒸发源 | 是 | 核心指标 | 1.数量及类型: 12组热阻式蒸发源,可蒸发常见金属、金属氧化物及其他材料,源与基片垂直距离≤350mm 。2.防护装置:每组蒸发源上方配备气缸驱动防护板,通过左右旋转方式打开,防止交叉污染。3.隔离设计:源与源之间装有隔板,避免材料相互污染。4.电源配置:配备2台可编程直流稳压蒸发电源,总功率≥1.5KW,精度≤0.1A ,可配合膜厚仪实现自动蒸镀。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证,响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的,视为没有实质性响应,将被判定为无效响应。) |
| 膜厚控制系统 | 是 | 核心指标 | 1.探头配置:3个卡扣式水冷晶振探头,分别安放于腔体两个角落,每个探头监测 4 个蒸发源;2.蒸镀性能:以Ag为标准,蒸镀速率稳定性≤±10%(0.1-0.5 /s)、≤±5%(0.5-10 /s)、≤±4%(>10/s);单片内膜厚均匀性≤5%。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证,响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的,视为没有实质性响应,将被判定为无效响应。) |
| 真空系统 | 是 | 核心指标 | 1.前级泵:抽速≥30m3/h 。2.主泵:采用分子泵,抽速≥1200L/s 。3.插板阀:主泵与腔室之间安装气动插板阀,通径≥200mm 。4.控制功能:支持自动抽气控制,带安全互锁功能。5.操作软件设置普通权限账户,所有用户服务项目相同,不区分权限。 (供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证,响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的,视为没有实质性响应,将被判定为无效响应。) |
| 机械及电气集成 | 是 | 非核心指标 | 配备机械旋转手臂,支持操作界面多角度调节;电气控制集成于底盘,与真空腔体形成整体结构。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证,响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的,视为没有实质性响应,将被判定为无效响应。) |
| 基片架结构 | 是 | 非核心指标 | 1.基片固定:可固定1片≥150mm×150mm基片,支持向下兼容,采用嵌入式结构,带水冷功能。2.旋转驱动:电机驱动实现连续旋转,转速≤30 转 / 分钟 ,通过磁流体与基片托盘连接。3.挡板配置:配备 2 个气缸驱动挡板,组合使用可完全遮挡≥150mm×150mm范围。4.观察窗及挡板:腔体门板安装长条形观察窗,附带磁流体驱动的挡板,支持挡板打开与关闭。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证,响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的,视为没有实质性响应,将被判定为无效响应。) |
| 自动化控制功能 | 是 | 非核心指标 | 1.控制模式:采用工控机控制,所有操作在工控机界面完成,显示器支持XYZ三轴任意移动。2.真空控制:真空系统支持自动/手动模式随时切换。3.自动功能:具备一键自动蒸镀功能。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书以及官网资料截图等材料予以佐证,响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的,视为没有实质性响应,将被判定为无效响应。) |
| 真空室 | 是 | 非核心指标 | 1.材质及尺寸:不锈钢制成,内部尺寸450mm×450mm×580mm(允许偏差≤±5mm),内置基础结构、挡板固定装置及蒸发电极、真空泵、样品盘等装置。2.门体设计:配备2个可完全打开的门,前门为移门,通过直线导轨、滑块连接实现左右开启/关闭,支持后期连接手套箱并在箱内操作开关,确保工作环境为氮气或惰性气体氛围;后门为旋转门,通过旋转轴开关,开启后腔体内部完全暴露,用于维护检修,后门配观察窗,配合腔体外部照明灯方便观察内部状况。3.真空性能:极限真空小于5×10Pa,从常压到5×10Pa(充氮气保护条件下)所需时间≤15min 。4.旁抽系统:配备旁抽系统,可在不关闭分子泵的条件下打开腔室,进行样品及材料更换。5.防污设计:腔体内表面预留金属防污挡板接口,并配备金属防污挡板。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证,响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的,视为没有实质性响应,将被判定为无效响应。) |
| 营业执照(三证合一) | 是 | 请上传相关证明材料(须加盖供应商公章) |
| 同类业绩 | 是 | 供应商需提供自2020年1月起至今的同类货物的销售合同,其中需体现合同的签约主体、销售货物清单、签订日期等合同要素的相关内容。同类业绩合同供应商需分列填报上传,合并文件填报或集中填报在同一格子内的算1份业绩。 | |
| 培训计划 | 是 | 到货后15天内供应商提供面向不少于5人、不低于3小时的线上或现场培训指导,供应商响应时提供详细的培训计划。 | |
| 质保期 | 是 | 自到货并验收合格之日起,最低要求质保期2年。 | 2年3年4年及以上 |
| 付款方式 | 是 | 合同签订后支付20%,货到学校,验收合格并签署验收报告后支付80% |
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| 交货期 | 是 | 在签订合同后20日内交货。 |
1、质量标准和要求
成交供应商所出售的标的物的质量标准按照国家标准、****制造厂家企业标准确定,上述标准不一致的,以严格的标准为准。没有国家标准、行业标准和企业标准的,按照通常标准或者符合合同目的的特定标准确定。
成交供应商所交付的服务还应符合国家和**市有关安全、环保、卫生之规定。
如果质量标准不统一的,应以采购方所选择的质量标准为依据。
2、包装要求
成交供应商所出售的全部货物均应按标准保护措施进行包装,这类包装应适应于远距离运输、防潮、防震、防锈和防野蛮装卸等要求,以确保货物安全无损地运抵指定现场。
每一个包装箱内应附一份详细装箱单、质量证书和保修保养证书。
3、验收
货物的数量不足或表面瑕疵采购方应在验收时当面提出,对质量问题之异议应在安装调试后七日内提出。
采购方可采取以下第(1)种方式对货物组织验收:
(1)采购方收货后根据货物的技术规格要求和质量标准,对货物进行检查验收,如果发现数量不足或有质量、技术等问题,成交供应商应负责按照采购方的要求采取补足、更换或退货等处理措施,并承担由此发生的一切损失和费用。验收合格后,采购方收取发票并签署验收意见。采购方在货物送达后无正当理由而拖延验收或不验收超过上述规定的验收期的,则视为其已验收通过。但对货物有质量保证期的,适用质量保证期之规定。
4、质量保证
成交供应商应保证所供货物是全新的、未使用过的,并完全符合合同规定的质量、规格和性能的要求。成交供应商应保证其货物在正确安装、正常使用和保养条件下,在其使用寿命期内应具有满意的性能。在货物最终交付验收后的质量保证期内,成交供应商应对由于设计、工艺或材料的缺陷而产生的故障负责。
5、履约延误
成交供应商应按照合同规定的时间、地点交货和提供服务。
如成交供应商无正当理由而拖延交货,采购方有权没收成交供应商提供的履约保证金,或解除合同并追究成交供应商的违约责任。
在履行合同过程中,如果成交供应商可能遇到妨碍按时交货和提供服务的情况时,应及时以书面形式将拖延的事实,可能拖延的期限和理由通知采购方。采购方在收到成交供应商通知后,应尽快对情况进行评价,并确定是否同意**交货时间或延期提供服务。
6、误期赔偿
除合同不可抗力部分的规定外,如果成交供应商没有按照合同规定的时间交货和提供服务,采购方应从货款中扣除误期赔偿费而不影响合同项下的其他补救方法,赔偿费按每周赔偿迟交货物的交货价或延期服务的服务费用的百分之一(1%)计收,直至交货或提供服务为止。但误期赔偿费的最高限额不超过合同价的百分之五(5%)。一周按七天计算,不足七天按一周计算。一旦达到误期赔偿的最高限额,采购方有权单方终止合同。
7、合同转让和分包
除采购方事先书面同意外,成交供应商不得转让和分包其应履行的合同义务。
四、汇款信息与代理服务费收费标准1、汇款信息
采购代理机构名称:****
****银行(人民币):****营业部
账号(人民币):310********055646341
户名:****
2、代理服务费收费标准
1)本项目成交代理服务费由成交供应商直接向代理机构支付。
2)成交代理服务费:参照计价格【2002】1980号文收费标准为基础,再以63.71折计取(不低于2500.00元人民币)。
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2026-07-21