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中山大学化学工程与技术学院热蒸发真空镀膜和瞬态光电性能测试系统采购项目

公告-招标公告

广东 -珠海

发布时间： 2026年07月21日

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大学化学工程学院镀膜

招标详情

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***********公司企业信息

| 项目概况

采购类型	采购
项目编号	****
项目名称	********学院热蒸发真空镀膜和瞬态光电性能测试系统采购项目
申购主题	热蒸发真空镀膜设备,瞬态光电性能测试系统
项目类型	货物采购	项目预算
最高限价	979,000.00(人民币)
报名及响应开始时间	2026-07-21 17:40	报名及响应结束时间	2026-07-27 17:00
采购单位	****
经办人	王老师	经办人电话	****5092
期望收货时间	合同签订后90天内交货
是否送货	是	送货地址	省市******校区海琴5号631
电子签章	本项目需要使用CA签字 CA操作手册下载
备注	1、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价。 2、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价时应分别报价，境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物采购合同和国内采购合同。 3、**学校不收取任何费用，外贸代理费由供应商支付。4、本项目需要使用CA证书，请供应商根据指引（http://bidding..cn/article/4902）提前办理CA证书。 5、技术参数中如标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致报价无效。6、如为进口免税报价，报价产品或报价产品的原产国属委员会公告的加征关税范围的，该产品的评审价=[供应商的免税报价×（1+本项目通知磋商谈判开始时间委员会公告的加征关税税率）]，如高于项目最高限价/预算价，则报价无效。7、项目评审时，如有属于异常低价报价的情形（见报价须知），评审小组将启动异常低价报价审查程序。★投标人需声明：我单位所投产品不属于2026年6月22日政府采购活动中对有关美国企业采取相关措施的通知中的46家美国企业（不包括在华美资企业）生产的产品（有关通知详见链接https://www..cn/news/202606/t0622_**5066.htm）。电子标服务

| 采购明细

1 采购设备	热蒸发真空镀膜设备
数量	1台
参考品牌

“热蒸发真空镀膜设备”技术要求

序号技术要求内容评分等级是否星号条款是否需要附件说明

1	1、▲真空性能：极限真空可达3×105Pa；设备漏率≤6.7×108PaL/S；工作真空可达5×104Pa，从大气抽到工作真空耗时＜20 分钟；系统停机保压 12 小时后真空度≤2Pa	非常重要	否	是
2	2、▲样品系统：支持样品尺寸 30×30mm；配置自动掩膜圆盘样品架，可放置 5 片基片、预留 15 个掩膜安装位；样品架调速范围 0~30 转 / 分，标准镀膜转速 25 转 / 分；样品架与蒸发源表面固定间距 340mm	非常重要	否	是
3	3、▲蒸发源配置：整圆周布设有机蒸发源 10 只、金属蒸发源 2 只；有机蒸发源最高加热温度≥400℃，金属蒸发源最大加载电流可达 200A；配套 10 套有机源、2 套金属源电动旋转挡板	非常重要	否	是
4	4、▲膜厚性能：配置 4 套 6MHZ 膜厚检测探头，含 1 套水冷总探头；基片中心 10mm×10mm 范围内，膜厚不均匀性和重复性≤±3%	非常重要	否	是
5	5、腔体与结构：真空腔体方形前后开门结构；腔体耐受内部烘烤温度 100～150℃；配备多规格观察窗及磁耦合密封手动挡板	重要	否	是
6	6、控制与环境：采用触摸屏 + PLC 集中控制，支持电动 + 气动全自动程序抽真空；具备闭环速率反馈蒸镀功能，支持功率、温度双模式控制；设备供电需求三相 AC380V+N+PE，功率≥10KW；设备净尺寸不超过 2000mm×1000mm×2300mm，整机重量不超过 1200kg	重要	否	是
7	7、▲手套箱外形规格：标准 1200 型箱体，深度 300mm，采用单面双手操作结构，配备独立净化单元。	非常重要	否	是
8	8、▲气体环境指标：20℃恒温、标准大气压、99.999% 惰性气源工况下，箱内水含量、氧含量均小于 1ppm。	非常重要	否	是
9	9、结构配置：标配小型过渡仓，搭载水分析仪、氧分析仪、专用真空泵；箱体带倾斜操作面，配置可拆卸安全玻璃前窗，支持与镀膜设备精准对接。	重要	否	是
10	10、控制方式：采用 PLC + 触摸屏操控模式，可实现箱内气氛自动净化、参数实时监测与自动控制。软件及其功能	重要	否	是
11	11、配套成品控制软件具备合法著作版权，可实现真空机组、样品台、蒸发源挡板全流程自动化程序控制，集成设备安全报警功能。软件可实时采集膜厚仪数据并可视化显示，支持有机蒸发源温控、功率运行模式在线自由切换。具备设备运行参数存储、实验数据记录、故障日志留存功能，可对接设备硬件实现联动联锁保护。	重要	否	是
12	11、蒸发室组件：450×450×600mm 真空腔体 1 套、蒸发屏蔽板 1 套、DN190×90 观察窗 1 套、DN90 观察窗 2 套、观察窗手动挡板 3 套、自动掩膜圆盘样品架 1 套、样品架气动挡板 1 套、蒸发台 1 套、有机源电动挡板 10 套、金属源电动挡板 2 套、6MHZ 膜厚探头 4 套、烘烤照明组件 1 套。真空获得系统：分子泵 1 台、抽速 8L/S 机械泵 1 台、气动板阀 / 角阀共 5 台、电磁压差阀 1 台、泵阀三通件 1 套、波纹管路 3 套。电控测量系统：电器工作台 1 套、15 寸触摸屏 + PLC 控制系统 1 套、烘烤照明电源 1 套、分子泵电源 1 套、有机蒸发电源 3 套、金属蒸发电源 1 套、进口复合真空计 1 台、电阻真空计 1 台、进口四通道膜厚控制仪 1 台、8 路水排水压报警部件 1 套、1.3KW 风冷水机 1 台（控温精度 ±0.1℃）。耗材配件：密封铜垫 + 胶圈 + 石英板成套 1 套、石英坩埚 20 只、精度 0.1mm 样品托与掩模板零件包 1 套。配件：1200 型单面双手手套箱 1 套（含水氧分析仪、净化单元、过渡仓等）。配套服务：设备安装调试、包装、运输及保险全套服务。	重要	否	是

2 采购设备	瞬态光电性能测试系统
数量	1台
参考品牌

“瞬态光电性能测试系统”技术要求

序号技术要求内容评分等级是否星号条款是否需要附件说明

1	1、532连续激光器，波长：532±1nm，输出功率：1-50mw可调，稳定性：＜1%，TEM00模.	重要	否	是
2	2、纳秒脉冲激光器波长：520nm+/-10nm, 脉宽10ns-10ms可调，脉冲能量：1-50mW可调，频率1-50MHZ可调，上升时间＜3ns，下降时间＜2ns。	重要	否	是
3	▲3、高精度数据采集器。带宽不小于350MHz，实时采样率不低于5GSa/s，储存深度不小于500Mpts，数字通道16路。满足钙钛矿太阳能电池样品电荷复合寿命（10-50 ns）和离子迁移（10 μs-10 ms）的测试需求。	非常重要	否	是
4	4、白光偏置LED。色温范围5000-8000K，使用寿命不小于30000h，发光面尺寸不小于50x50mm.	重要	否	是
5	5、高精度准直光路，配置高反射率反射镜，光阑，可调ND Filter；光路预留汇聚镜，扩束镜安装架。	重要	否	是
6	6、可编程延时信号发生器，脉冲通道个数：6个，T、CH1-CH5，以T为时间基准，共6个；单个脉冲周期：T、CH1-CH5，最小值100ns（10MHz），最大值测试到1s（1Hz）。单个脉冲宽度：T、CH1-CH5，可单独形成门输出，脉冲宽度≥50ns；两个脉冲之间的上升沿延迟：最小值100ns；CH1-CH5可对T基准频率做任意整分频输出，最大周期为1s；脉冲上升沿上升时间：lt;20ns；通讯接口：USB2.0脉冲输出电流：T、CH1-CH2：5V/20mA；CH3：4.3V/100mA；脉冲输出高电平：T、CH1-CH2：5±0.5V；CH3：4.5V±0.8V；CH4-CH5：3.3±0.5V。	重要	否	是
7	★7、暗箱，采用顶门、前门双门设计，方便观察放置样品，内置监控光路，配合CCD相机进行可视化控制，可清楚观察光斑，样品定位精准。配置三维调节样品架。配置定制样品夹具一套。	重要	是	是
8	▲8、软件。支持瞬态光电压/流、光谱响应度、外量子效率、光子电子转换效率、内量子效率、反射率、透射率、积分短路电流密度、光束诱导电流、量子效率制图、反射率制图、光束诱导电流制图功能。仪器参数设置可以按照不同样品的测试需求保存为独立的配置文件并导出，从而实现快速还原与测试的功能，随时调出原有保留的参数设置。	非常重要	否	是
9	9、随机控制计算机。处理器不低于intel-I7-1260P，内存不小于16G，硬盘不小于512G固态，集显，win10，27英寸。	重要	否	是
10	1、532nm连续激光器1台； 2、520nm纳秒脉冲激光器1台； 3、高精度数据采集器1台； 4、白光偏置LED 1台； 5、高精度准直光路1套； 6、可编程延时信号发生器1台； 7、暗箱1个，配置三维调节样品架1个，配置定制样品夹具1套。 8、软件1套。 9、随机控制计算机1台。	重要	否	是

| 资质要求

序号要求名称条件类型要求内容是否需要附件说明

1	第1条资质参数	符合性参数	上传营业执照(副本原件扫描件)	是
2	第2条资质参数	符合性参数	填写并按要求上传“廉洁承诺书”（需签字并盖公章）	是
3	第3条资质参数	符合性参数	填写并要求上传“法定代表人授权书”（需按授权书要求签字并加盖公章）	是
4	第4条资质参数	符合性参数	填写并按要求上传“供应商资格声明”（需签字并盖公章）	是

| 商务要求

序号要求名称要求内容是否需要附件说明

1	免费保修年限；整机，无耗材，无需备品备件。在保修期内，设备质量问题免费维修;在保修期内，非正常使用造成的设备故障，收取零配件成本费。	2年 3年 4年 5年及以上	是
2	合同履约	**学校合同范本执行下载地址：http://www..com:8089/attachment/template/ZSU148/htmb.zip。注意：（1）合同模板中付款方式适用分期结算/付款条款其它付款方式选项不得选用；（2）本项目签署《**国内采购合同》的需开具增值税专用发票，如无法开具，需在签署合同时提供合理说明，否则将可能会影响合同签署。	否
3	产品销售渠道（要求上传“制造厂商出具的授权函”）	厂家（生产商）直接销售（出具厂家声明格式自拟）厂家（生产商）长期授权销售（授权书中连续有效期不少于一年）其他授权销售方式	是
4	售后服务要求	1、提供 7×24 小时技术咨询服务，故障报修后 2 小时内响应，远程指导排查问题。 2、远程无法解决故障时，48 小时内安排专业工程师现场上门维修。	是
5	培训要求	1、设备安装调试完毕后，安排专业工程师现场免费实操培训。 2、培训内容包含设备结构原理、真空系统操作、镀膜工艺参数设置、控制系统软件操作、日常维护保养、常见故障判断与基础处理。 3、免费提供设备电子版操作手册、维护手册，培训直至使用人员可独立熟练操作设备为止，可提供后续免费复训服务。	是
6	其他	★投标人需声明：我单位所投产品不属于2026年6月22日**政府采购活动中对有关美国企业采取相关措施的通知中的46家美国企业（不包括在华美资企业）生产的产品（有关通知详见链接https://www..cn/news/202606/t0622_**5066.htm）。	是