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半导体薄膜方块电阻全自动四探针测试仪 (XJD2026072100021) 采购公告
招标详情
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半导体薄膜方块电阻全自动四探针测试仪 (****) 采购公告
发布时间：2026-07-21 17:49:25
| 半导体薄膜方块电阻全自动四探针测试仪 | 项目编号**** | |
| 2026-07-21 17:49:25 | 公告截止日期2026-07-25 12:00:01 | |
| **** | 付款方式货到安装、调试、验收合格后，付全款。 | |
| 发布竞价结果后7天内签订合同 | 到货时间要求合同签订后20天内送达 | |
| 币种 | 人民币 | |
| **省**市**区**** | ||
| 无 | ||
采购清单 1
| 半导体薄膜方块电阻全自动四探针测试仪 | 1.00 | 无 |
| 不限 |
| 不限 |
| 一、技术指标 1．可测量薄膜电阻率以及方块电阻；方块电阻测量范围10^-5～2×10^5Ω/□，电阻精度 ≤0.3%（标准电阻）；单点测试重复性≤0.5% 2.探针压力可调范围：100-500g，可手动调节测试点数等；测试电流 0.1μA;1μA;10μA，100μA，1mA，10mA，100mA 3. 载台类型为圆形载台，可用于晶圆尺寸：2-12寸（6寸150mm，12寸300mm）； 4. 测试模式包含单点、五点、九点、多点、直径扫描、面扫描等多种模式的自动测试 5. 可显示2D,3D扫描/数值图，有配套PC软件采集和处理数据； 6. 提供标准校准电阻件； 7. 具有限位量程和压力保护;误操作和急停防护以及设备异常警报功能 8. 探针为钨钢材质，探针间距1mm；机械游移率：≤0.3% 二、 规格配置 1. 主机 1台 2. 电源线 1条 3. 数据线(通讯USB) 1条 4. 4英寸标准片 1片 5. 标准电阻 1个 6. 说明书 保修卡 合格证 各1份 7. Pc软件U盘 1个 8. 晶圆夹子 1个 9. 真空发生器 1台 10. 备用探头 1个 11. 4转6、4转8气管接头 各1个 12. 4mm气管 1米 13. 定位柱 6个 14. 12V电源适配器 1个 |
| 交付、质保及售后： （一）交货期：20天 交付地点：买方指定地点 （二）安装调试与技术培训 供货商负责仪器设备的安装、调试及完成后的现场培训，须提供完整的设备操作、保养说明书、系统操作手册，安排专业人员完**装调试、技术支持，为买方单位提供设备的正常使用、维护保养、故障分析排除、操作安全及紧急处理程序等现场培训，确保买方相关人员达到熟练掌握设备安全操作和正确使用的技能，达到正确检修、维护和排除故障的水平。 （三）质保及售后 1. 质保期3年。 2. 提供系统发生故障后 2 小时内给予答复，紧急问题在48 小时内到达现场给予售后服务。 3. 保修期结束后，实行终身维修服务，设备如有损坏，将收取更换的零配件成本费用。 4. 技术服务工程师为用户提供技术支持。用户可以通过各种联络工具，****公司的各种咨询。 |
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2026-07-21
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半导体薄膜方块电阻全自动四探针测试仪 (XJD2026072100021) 采购公告
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