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浙江芯之纯半导体材料有限公司半导体级高纯陶瓷产品建设项目（先行验收）

审批

浙江-杭州-建德市

发布时间： 2026年07月21日

项目详情

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1、建设项目基本信息

企业基本信息

建设单位名称：建设单位代码类型：建设单位机构代码：建设单位法人：建设单位联系人：建设单位所在行政区划：建设单位详细地址：

****
****0182MAD86F4905	顾磊
顾磊	省市**市
省市**市大洋镇下王村

建设项目基本信息

项目名称：项目代码：项目类型：建设性质：行业类别（分类管理名录）：行业类别（国民经济代码）：工程性质：建设地点：中心坐标： ****机关：环评文件类型：环评批复时间：环评审批文号：本工程排污许可证编号：排污许可批准时间：项目实际总投资(万元)：项目实际环保投资(万元)：运营单位名称：运营单位组织机构代码：验收监测(调查)报告编制机构名称：验收监测(调查)报告编制机构代码：验收监测单位：验收监测单位组织机构代码：竣工时间：调试起始时间：调试结束时间：验收报告公开起始时间：验收报告公开结束时间：验收报告公开形式：验收报告公开载体：

****半导体级高纯陶瓷产品建设项目（先行验收）	****

2021版本:081-	C3985-C3985-电子专用材料制造
	省市市省市市大洋镇下王村
经度:119.496994 纬度: 29.455375	**环境局**分局
	2024-11-15
杭环建批〔2024〕068号	**0182MAD86F**001W
2025-08-15	21000
440	****
****0182MAD86F4905	******公司
913********992529N	****
****0110MA2CFGH642	2025-08-14
2025-09-01	2026-09-01
2026-06-15	2026-07-15
	http://www.****.com/

2、工程变动信息

项目性质

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

**	一致
/

规模

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

年产63100件套半导体级高纯陶瓷产品	年产21000件套半导体级高纯陶瓷产品
本次先行验收仅针对已建成的年产21000件套半导体级高纯陶瓷产品生产线，验收的核心生产设备主要包括：CVD炉（大、小各1台，环评审批各3台）、应力去除炉1台、加热设备3台、氢气纯化器1台、洗涤塔6台（环评4台，新增2台）、MVR蒸发系统1套、冷却塔3台、发电机2台、废水处理系统1套（处理规模240t/d）、纯水机1台、空压机2台，以及配套的清洗工序设备（酸槽、碱槽、超声波清洗槽、纯水洗净槽、氧化洗净炉、纯水漂洗槽、洁净烘箱等共19台）、品质检查设备（三次元坐标测量仪2台、投影仪2台）、包装机2台、刻印机2台，以及各类储罐设施（MTS储罐2个、氯化氢集装箱2个、氮气储罐1个、氢气集装箱4个、氧气储罐1个、NaOH储罐1个）。反应烧结碳化硅生产线相关设备（石墨去除炉、球磨机、混料机、高温纯化炉、加工中心、车床等）及机加工设备均暂未建设，不在本次验收范围内，对应剩余42100件套/年产能待后续建设完成后另行验收。

生产工艺

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

碳化硅粉/硅粉/碳粉经配料、球磨、混料、干燥、成型、烧结制成碳化硅半成品，再经厂内机加工、脱脂清洗、CVD沉积、酸洗后包装入库。 ②外购石墨经厂内切割加工、高温纯化、CVD沉积、厂内轮廓加工、石墨氧化、厂内精密加工及脱脂清洗、酸洗后包装入库。 ②	碳化硅半成品外购后直接进行CVD沉积，再委外机加工和脱脂清洗后运回厂内酸洗包装入库。
先行验收阶段反应烧结工序未建、碳化硅半成品外购、所有机加工及脱脂清洗工序均委外，仅保留擦拭、CVD沉积、高温纯化、石墨氧化、酸洗等核心工序在厂内完成。

环保设施或环保措施

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

碳化硅沉积废气和储罐呼吸废气分别经三级碱喷淋和一级碱喷淋处理后通过24m排气筒排放，酸洗废气和污水站废气以无组织形式排放，喷淋塔废水经MVR蒸发处理后冷凝水纳管排放，固废分类委托处置或外售综合利用。	碳化硅沉积废气和储罐呼吸废气处理方式与环评一致，酸洗废气和污水站废气由无组织排放优化为分别经碱喷淋和酸喷淋+碱喷淋处理后通过15m排气筒有组织排放，喷淋塔废水经MVR蒸发处理后冷凝水全部回用零排放，固废处置去向与环评一致
环评阶段对酸洗废气和污水站废气的处理要求较为宽松，仅提出无组织排放管理要求。实际建设过程中，企业从提升清洁生产水**减少厂区异味影响的角度出发，主动对两股废气进行收集处理，由无组织排放改为有组织排放，并配套了相应的碱喷淋/酸喷淋+碱喷淋处理设施，属于环保措施的自主强化与优化。

其他

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

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3、污染物排放量

污染物现有工程（已建成的）本工程（本期建设的）总体工程总体工程（现有工程+本工程）排放方式实际排放量实际排放量许可排放量 “以新带老”削减量区域平衡替代本工程削减量实际排放总量排放增减量废水水量（万吨/年） COD（吨/年）氨氮（吨/年）总磷（吨/年）总氮（吨/年）废气气量（万立方米/年）二氧化硫（吨/年）氮氧化物（吨/年）颗粒物（吨/年）挥发性有机物（吨/年）

0	0	0	0
0.5847	1.762	0.585	0.585
0.0585	0.176	0.059	0.059
0	0	0	0
0	0	0	0
0	0	0	0	/
0	0	0	0	/
0.0482	0.185	0.048	0.048	/
0.0199	0.0596	0.02	0.02	/
0.0667	0.2	0.067	0.067	/

4、环境保护设施落实情况

表1 水污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

****处理站

外排废水经厂区污水站处理达到《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1电子专用材料水污染物间接排放限值，其中氨氮、总磷从严执行《工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值》（DB33/887-2013）

均已建设完成，脱脂废水生化处理系统由于脱脂废水暂未产生故未启用。

已委托****对本项目废水进行监测，监测指标均达标。

表2 大气污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

1	碳化硅沉积废气处理系统（三级碱液喷淋）	《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2	已建成，与环评一致	已委托****对本项目废气进行监测，监测指标达标。
2	储罐呼吸废气处理系统（一级碱液喷淋）	《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2	已建成，与环评一致	已委托****对该排口进行监测
3	酸洗废气处理系统（碱喷淋）	《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2	环评原为无组织排放，现已优化为碱喷淋+15m排气筒排放	委托****对废气开展检测，监测结果符合限值要求
4	污水站废气处理系统	《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)	环评未作要求，无组织排放；现优化为酸喷淋+碱喷淋+15m排气筒	委托****对废气开展检测，各项指标均符合限值要求。

表3 噪声治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

厂房隔声

工业企业厂界环境噪声排放标准/GB 12348—2008

实际厂房对噪声起到有效的阻隔作用

委托****对噪声开展检测，监测结果符合工业企业厂界环境噪声排放标准/GB 12348—2008 3级要求

表4 地下水污染治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表5 固废治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

项目新增一般固废仓库、危废仓库，委托有资质单位处置

本项目固废分类收集暂存，建有88m2危废仓库和一般固废暂存间，危废委托**杭新****公司处置，一般固废外售综合利用，生活垃圾环卫清运，均已落实环评要求，其中脱脂槽废渣等三种危废因工序委外暂未产生。

表6 生态保护设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表7 风险设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

：配套建设不小于433m3事故应急池、初期雨水收集池及雨污分流系统，编制突发环境事件应急预案，配备应急物资，落实生产、运输、储存及末端治理全过程环境风险防范措施。

已建成891m3事故应急池（较环评要求增大106%）、初期雨水收集池、雨水排放口截止阀及废水总排口控制阀，已编制应急预案并备案（330182-2026-37-M），配备应急物资并与两家周边单位签订应急互助协议，风险防范能力优于环评要求。

5、环境保护对策措施落实情况

依托工程