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| 1 | 高真空插板阀 | 无 | ● 规格:DN100,CF100 法兰全金属密封,气动插板阀 ● 适用工况:1×10 Pa~1×10 Pa宽域真空适配 ● 漏率指标:阀座≤1×10 Pa●m3/s,阀体≤1×10 Pa●m3/s ● 配套要求:阀门橡胶密封,开闭寿命≥5000次,气动款带位置反馈 | 台 | 1 | 4周 | **市**区**路19号(乙) | |
| 2 | 高真空插板阀 | 无 | ● 规格:DN200,CF200法兰全金属密封,气动插板阀 ● 适用工况:1×10 Pa~1×10 Pa宽域真空适配 ● 漏率指标:≤1×10 Pa●m3/s ● 配套要求:阀门橡胶密封,开闭寿命≥5000次,气动款带位置反馈 | 台 | 2 | 4周 | **市**区**路19号(乙) | |
| 3 | 螺杆泵 | 无 | ● 性能参数:名义抽速≥11 L/s,极限全压≤5×10-1 Pa ● 配置要求:标配气镇阀、油雾过滤器,KF40进气接口,风冷散热 ● 工况要求:运行噪音≤65dB,可24h连续运行 | 台 | 2 | 4周 | **市**区**路19号(乙) | |
| 4 | 分子泵 | 无 | ● 核心参数:氮气抽速≥1000 L/s,氢气抽速≥480L/s,压缩比≥10的9次方,极限压力≤6×10 Pa,转速24000rpm ● 配置要求:风冷散热带冷却水接头,启动时间≤9min,轴承寿命≥30000h,配套控制器 | 台 | 2 | 4周 | **市**区**路19号(乙) | |
| 5 | 全量程真空计 | 无 | ● 测量原理:皮拉尼+冷阴极复合测量 ● 测量范围:1×106 Pa~1×10 Pa ● 输出功能:0-10V模拟信号+RS485通讯,适配PLC联锁 | 套 | 3 | 4周 | **市**区**路19号(乙) | |
| 6 | 电阻规 | 无 | ● 类型:皮拉尼 ● 测量范围:5×102 Pa~1×10 Pa ● 配置要求:支持数据通讯输出 | 套 | 2 | 4周 | **市**区**路19号(乙) | |
| 7 | 电磁阀 | 无 | ● 类型:AC220V驱动 ● 配置要求:KF25接口; ● 适用范围:1×104 Pa~1×10 Pa ● 使用寿命:>10000次 | 台 | 5 | 4周 | **市**区**路19号(乙) | |
| 8 | 真空管道及全套连接件 | 无 | ● 管道:304L不锈钢DN100管道,内壁抛光Ra≤1.6μm,总长不小于6m; ● 若干DN200,DN100,DN35接口; ● 配件:全金属法兰、无氧铜密封垫圈、不锈钢紧固件、波纹管补偿器、定制光滑过渡弯头、波纹管; ● 整体要求:全真空级密封适配,无漏气、低放气,满足烘烤工况 | 批 | 1 | 4周 | **市**区**路19号(乙) | |
| 9 | 真空系统自控系统 | 无 | ● 硬件:主流PLC+7寸及以上触摸屏,中文操作界面 ● 功能:实时采集真空压力、泵体运行状态、阀门位置信号;实现设备启停、阀门联动控制 ● 联锁保护:具备超压报警、故障停机、破空防护、软硬件互锁功能,支持远程通讯及数据趋势记录 | 套 | 1 | 4周 | **市**区**路19号(乙) | 1. 具备完善的压力联锁逻辑,可自动实现异常工况报警、阀门快速切断、设备保护停机; 2. 可实现初始抽空、正常运行、异常破空、停机维护全流程自动化控制; 3. 整套设备全部采用国产化成熟产品,适配超高真空科研工况,支持现场安装、调试、试运行。 |