量子自旋微机电水听器传感元件第二轮工艺开发与制备

C****0100工程和技术基础科学研究服务

1.采购标的需实现的主要功能和目标： 本次拟加工的量子自旋微机电水听器传感元件是水听器系统的核心敏感组件，其核心功能与目标如下： 高灵敏度水下声信号探测：基于量子自旋效应与微机电系统（MEMS）技术的融合，实现对水下微弱声压信号（如低频远场信号、高频细节信号）的高效转换与高信噪比输出。宽频带响应与高精度：在目标工作频段内具备平坦的频率响应特性，确保信号采集不失真、幅值与相位精度满足系统级指标。小型化与低功耗集成：利用MEMS工艺优势，在微小物理尺寸内集成敏感结构与接口，满足阵列化布设或水下无人平台对元件紧凑性、低功耗及良好一致性的要求。 2.采购标的数量 本次加工制备量子自旋微机电水听器传感元件晶圆的数量为4片。 3.采购标的需满足的质量、服务、安全、时效等要求 1. 质量要求 传感元件的关键工艺技术指标： 1. PECVD沉积SiO2 40 nm，非均匀性±5%，沉积温度＜200℃； 2. RIE刻蚀SiO2硬掩模，过刻＜15%； 3. 关键MTJ层IBE刻蚀，刻蚀深度18.2nm、20.9nm、13nm、36.2nm，过刻＜5%； 4. 底电极RIE刻蚀SiO2硬掩模，过刻＜30%； 5. 顶电极材料：Ti20nm/Au180nm，膜层厚度精度±5%。 6. 提供FIB、膜厚仪、椭偏仪、台阶仪、AFM、显微照片测试数据作为验收依据。 2. 服务要求 技术交付：供货方须提供完整的工艺测试数据报告。 质保与售后：提供不少于12个月的质量保证期（自验收合格之日起算）。质保期内因元件自身质量问题导致的故障，供方应负责免费维修或更换。 技术支持：供方需提供必要的现场/远程技术支持。 3. 安全要求 环境安全：元件材料应符合RoHS等环保标准，在生命周期内无有毒有害物质释放风险。 静电防护：所有元件交付时须采用防静电包装与操作防护提示。 4. 时效要求 供货周期：合同签订后，供货方须在180个工作日内完成全部4片晶圆的生产、测试与交付。 交付验收：按批次交付至采购方指定地点，采购方在收到货后15个工作日内完成数量清点与性能抽检，验收标准以技术协议为准。