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高端半导体晶圆切割研磨设备和配件扩建项目及晶圆切割加工项目

审批

江苏-南通-启东市

发布时间： 2026年07月23日

项目详情

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1、建设项目基本信息

企业基本信息

建设单位名称：建设单位代码类型：建设单位机构代码：建设单位法人：建设单位联系人：建设单位所在行政区划：建设单位详细地址：

****
****0681MA22HFGF08	王皓
陈冬尔	******市
市汇龙镇**路3199号

建设项目基本信息

项目名称：项目代码：项目类型：建设性质：行业类别（分类管理名录）：行业类别（国民经济代码）：工程性质：建设地点：中心坐标： ****机关：环评文件类型：环评批复时间：环评审批文号：本工程排污许可证编号：排污许可批准时间：项目实际总投资(万元)：项目实际环保投资(万元)：运营单位名称：运营单位组织机构代码：验收监测(调查)报告编制机构名称：验收监测(调查)报告编制机构代码：验收监测单位：验收监测单位组织机构代码：竣工时间：调试起始时间：调试结束时间：验收报告公开起始时间：验收报告公开结束时间：验收报告公开形式：验收报告公开载体：

高端半导体晶圆切割研磨设备和配件扩建项目及晶圆切割加工项目	****

2021版本:060-	C3099-C3099-其他非金属矿物制品制造
	****市 ****市
经度:121.607222 纬度: 31.813333	**市数据局
	2025-03-27
启数据环〔2025〕51号	****0681MA22HFGF08001X
2026-03-18	1000
35	****
****0681MA22HFGF08	迈**公司
913********668839K	迈**公司
913********668839K	2026-01-31
2026-02-01	2026-05-31
2026-05-22	2026-06-22
	https://www.****.net/forum.php?mod=guide view=my type=thread page=1

2、工程变动信息

项目性质

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

本项目为改扩建。	实际为改扩建。
未发生变化。

规模

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

生产、处置或储存能力增大30%及以上的。生产、处置或储存能力增大，导致废水第一类污染物排放量增加的。位于环境质量不达标区的建设项目生产、处置或储存能力增大，导致相应污染物排放量增加的（细颗粒物不达标区，相应污染物为二氧化硫、氮氧化物、可吸入颗粒物、挥发性有机物；臭氧不达标区，相应污染物为氮氧化物、挥发性有机物；其他大气、水污染物因子不达标区，相应污染物为超标污染因子）；位于达标区的建设项目生产、处置或储存能力增大，导致污染物排放量增加10%及以上的。	本项目实际产能较环评减少。本项目不涉及废水第一类污染物产生及排放。本项目生产、处置或储存能力未增加，未导致污染物排放量增加10%及以上。
本项目实际产能较环评减少。

生产工艺

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

新增产品品种或生产工艺（含主要生产装置、设备及配套设施）、主要原辅材料、燃料变化，导致以下情形之一：（1）新增排放污染物种类的（毒性、挥发性降低的除外）；（2）位于环境质量不达标区的建设项目相应污染物排放量增加的；（3）废水第一类污染物排放量增加的；（4）其他污染物排放量增加10%及以上的。物料运输、装卸、贮存方式变化，导致大气污染物无组织排放量增加10%及以上的。	本项目产品产能、原辅料、生产装置发生变化，但不新增污染物及排放量。物料运输、装卸、贮存方式未变化。
本项目产品产能、原辅料、生产装置发生变化，但不新增污染物及排放量。

环保设施或环保措施

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

按照“清污分流、雨污分流、污污分流、分类收集、分质处理、一水多用”的原则，建设完善废水分类收集及其处理系统，确保废水综合处理能力满足本次新增污染源强。生活废水依托现有“隔油格栅+地埋式化粪池一体化”处理排放系统；研磨减薄、晶圆切割、晶圆清洗、试切割生产工序废水配建“隔油集污池+絮凝沉淀池+排放监督池”处理设施；碱喷淋装置废水、前处理装置废水、上砂装置废水、金刚石露出装置废水、酸洗整理废水配建“”集污调节池+降膜低温蒸发（浓液作危废）+冷凝水收集池+RO膜处理系统（浓水回流处理）+回用池”回用处理系统。严格控制各类生产性无组织工艺废气的产生与排放，优化工艺废气治理方案，确保废气污染物治理设施的处理能力与项目产污状况相匹配，并符合安全生产管理相关规定和要求。本项目铝合金基底酸洗工序、金刚石酸洗工序、上砂和金刚石露出工序、酸洗整理工序酸雾废气均配建通风橱柜内密闭负压收集系统，收集废气经二级碱液喷淋处理后废气通过1#排气筒排放，焊接烟尘配建匹配数量得移动式焊接烟尘净化处理设施。合理总平及车间布局，高噪声源须远离厂界及声环境敏感目标，同时采取有效的隔音、吸声、减震等污染防治措施，确保厂界噪声符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中3类标准。生活垃圾、一般固废、危险废物须分类收集、分质处置，按“减量化、化、无害化”的处理原则，落实各类固体废物特别是危险废物的收集、处置和综合利用措施，严禁乱投、乱倒或非法转移。废水处理污泥、沾染危险化学品废包装污物、废槽液等危险废物须委托有相应资质的单位安全处置或再生利用；一般固废收集后应综合利用；生活垃圾收集后由环卫部门统一处理。一般工业固废和生活垃圾的贮存处置参照《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》（GB18599-2020）标准执行；危险废物暂存场所须符合《危险固废贮存污染控制标准》（GB18597-2023）相关要求。	本项目“雨污分流、清污分流”，本项目生活污水经化粪池处理后接**处理厂处理。本项目所产生的晶圆研磨减薄废水、晶圆切割废水、晶圆清洗废水、试切割废水经沉淀装置处理后与直接外排的纯水制备废水一起接处理厂进行深度处理；碱喷淋装置废水、前处理装置废水、上砂装置废水、金刚石露出装置废水、酸处理站1处理后回用，不外排，浓液作为危废委托有资质单位进行处理。本项目铝合金基底酸洗工序、金刚石酸洗工序、上砂和金刚石露出工序、酸洗整理工序酸雾废气均配建通风橱柜内密闭负压收集系统，收集废气经二级碱液喷淋处理后废气通过1#排气筒排放；焊接烟尘经移动式焊接烟尘净化处理设施处理后在车间内无组织排放。项目合理布局并采取隔声、降噪等措施。厂界噪声排放符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB 12348-2008）3类标准。本项目产生的固废主要为不合格晶圆、废无尘布、废无尘黄光纸、废边角料、不合格产品、收尘固废、沉渣、蒸发浓缩污泥、废机油包装桶、废RO膜、废包装材料。其中不合格晶圆、废无尘布、废无尘黄光纸、不合格产品、收尘固废、沉渣由企业收集后委外化处理；废边角料经静置无滴漏后打包外售至钢铁厂进行金属冶炼；蒸发浓缩污泥、废机油包装桶、废RO膜、废包装材料委托有资质单位处理。建设项目固废经上述措施可有效处置，对周围环境影响较小。
未发生变化。

其他

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

无	无
无

3、污染物排放量

污染物现有工程（已建成的）本工程（本期建设的）总体工程总体工程（现有工程+本工程）排放方式实际排放量实际排放量许可排放量 “以新带老”削减量区域平衡替代本工程削减量实际排放总量排放增减量废水水量（万吨/年） COD（吨/年）氨氮（吨/年）总磷（吨/年）总氮（吨/年）废气气量（万立方米/年）二氧化硫（吨/年）氮氧化物（吨/年）颗粒物（吨/年）挥发性有机物（吨/年）

0.0158	0.4139	0.0158	0.43	0.414
0.0527	0.3067	0.0527	0.359	0.307
0.0045	0	0.0045	0.004	0
0.0006	0	0.0006	0.001	0
0.006	0	0.006	0.006	0
0	0	0	0	0	/
0	0	0	0	0	/
0	0	0	0	0	/
0.0024	0.054	0.0024	0.056	0.054	/
0	0.0995	0	0.1	0.1	/

4、环境保护设施落实情况

表1 水污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

按照“清污分流、雨污分流、污污分流、分类收集、分质处理、一水多用”的原则，建设完善废水分类收集及其处理系统，确保废水综合处理能力满足本次新增污染源强。生活废水依托现有“隔油格栅+地埋式化粪池一体化”处理排放系统；研磨减薄、晶圆切割、晶圆清洗、试切割生产工序废水配建“隔油集污池+絮凝沉淀池+排放监督池”处理设施；碱喷淋装置废水、前处理装置废水、上砂装置废水、金刚石露出装置废水、酸洗整理废水配建“”集污调节池+降膜低温蒸发（浓液作危废）+冷凝水收集池+RO膜处理系统（浓水回流处理）+**回用池”回用处理系统。

《污水综合排放标准》（GB8978-1996）表4****处理厂接管要求后，其中氨氮和TP参照执行《污水排入城镇下水道水质标准》（GB/T31962-2015）标准要求。

本项目“雨污分流、清污分流”，本项目生活污水经化粪池处理后接****处理厂处理。本项目所产生的晶圆研磨减薄废水、晶圆切割废水、晶圆清洗废水、试切割废水经沉淀装置处理后与直接外排的纯水制备废水一起接****处理厂进行深度处理；碱喷淋装置废水、前处理装置废水、上砂装置废水、金刚石露出装置废水、酸****处理站1处理后回用，不外排，浓液作为危废委托有资质单位进行处理。

连续两天，每天四次。监测结果表明，本项目废水排放符合《污水综合排放标准》（GB8978—1996）表4中三级标准，未列入其中的NH3-N、TP满足《污水排入城镇下水道水质标准》（GB/T31962-2015）表1中B等级标准。

表2 大气污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

严格控制各类生产性无组织工艺废气的产生与排放，优化工艺废气治理方案，确保废气污染物治理设施的处理能力与项目产污状况相匹配，并符合安全生产管理相关规定和要求。本项目铝合金基底酸洗工序、金刚石酸洗工序、上砂和金刚石露出工序、酸洗整理工序酸雾废气均配建通风橱柜内密闭负压收集系统，收集废气经二级碱液喷淋处理后废气通过1#排气筒排放，焊接烟尘配建匹配数量得移动式焊接烟尘净化处理设施。

《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021）表1、表3中排放限值。

本项目铝合金基底酸洗工序、金刚石酸洗工序、上砂和金刚石露出工序、酸洗整理工序酸雾废气均配建通风橱柜内密闭负压收集系统，收集废气经二级碱液喷淋处理后废气通过1#排气筒排放；焊接烟尘经移动式焊接烟尘净化处理设施处理后在车间内无组织排放。

连续两天，每天三次。监测结果表明，本项目废气排放符合**省《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021）表1、表3标准。

表3 噪声治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

合理总平及车间布局，高噪声源须远离厂界及声环境敏感目标，同时采取有效的隔音、吸声、减震等污染防治措施，确保厂界噪声达标。

《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中3类标准。

本项目主要噪声为CNC高精度机床、万能圆筒式研削机等设备的运行。通过采取合理布局、选用低噪声设备，减震隔声等噪声控制治理措施后，能有效地降低主要噪声源对外环境的影响，确保厂界噪达标。

连续两天，昼间一次。监测结果表明，验收监测期间本项目厂界达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准。

表4 地下水污染治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表5 固废治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

生活垃圾、一般固废、危险废物须分类收集、分质处置，按“减量化、**化、无害化”的处理原则，落实各类固体废物特别是危险废物的收集、处置和综合利用措施，严禁乱投、乱倒或非法转移。废水处理污泥、沾染危险化学品废包装污物、废槽液等危险废物须委托有相应资质的单位安全处置或再生利用；一般固废收集后应综合利用；生活垃圾收集后由环卫部门统一处理。一般工业固废和生活垃圾的贮存处置参照《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》（GB18599-2020）标准执行；危险废物暂存场所须符合《危险固废贮存污染控制标准》（GB18597-2023）相关要求。

本项目产生的固废主要为不合格晶圆、废无尘布、废无尘黄光纸、废边角料、不合格产品、收尘固废、沉渣、蒸发浓缩污泥、废机油包装桶、废RO膜、废包装材料。其中不合格晶圆、废无尘布、废无尘黄光纸、不合格产品、收尘固废、沉渣由企业收集后委外**化处理；废边角料经静置无滴漏后打包外售至钢铁厂进行金属冶炼；蒸发浓缩污泥、废机油包装桶、废RO膜、废包装材料委托有资质单位处理。建设项目固废经上述措施可有效处置，对周围环境影响较小。

表6 生态保护设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表7 风险设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

5、环境保护对策措施落实情况

依托工程