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| 1 | 高精度面形检测CGH补偿板 | 1.柱面CGH1:CGH基板:6寸标准板;CGH尺寸:≥50mmx100mm F/#=1.5;CGH尺寸:≥50mmx100mm F/#=4;CGH透射面形(PV):≤λ/10 数量:1 2.柱面CGH2:CGH调整板组件:φ25.4mm;焦距:25mm,50mm,-100mm(待测镜186,264mm);CGH透射面形(PV):≤λ/10 数量:3 3.CGH调整架:6寸CGH调整架;3维角度调节:≥±0.5°,分辨率优于2";3维位置调节:≥±1mm,分辨率优于10um 数量:1 | 个 | 5 | 一个月 | **市**区**路19号乙院 |