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广东中科半导体微纳制造技术研究院2026年07月至2026年08月政府采购意向
招标详情
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***********公司企业信息
公告信息
| ****2026年07月至2026年08月政府采购意向 | ||
| **** | ||
| 2026-07-27 15:33:35 | ||
| 正常公告 |
公告内容
为便****政府采购信息，根据《****政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将本单位2026年07月至2026年08月采购意向公开如下：
| 1 | 低压化学气相沉积系统 |
标的名称：低压化学气相沉积系统
标的数量：1
主要功能或目标：用于8英寸及以下尺寸硅片沉积SiN薄膜，同时支持氧化、退火等关键工艺，满足半导体制造中薄膜制备与表面处理需求。 目标：实现高精度薄膜工艺控制，确保设备稳定运行（正常运行时间≥90%，平均无故障时间≥500小时），输出符合半导体工艺标准的薄膜（如厚度、均匀性、应力等指标）。
需满足的要求：1、硅片兼容性：支持8英寸圆硅片（兼容6英寸） 2、温度控制精度±0.5°C 3、压力控制：工作压力范围15Pa-80Pa 4、符合SEMI标准，支持MES接口（SECS II/GEM协议）
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落实国家关于节能产品，环保标志产品、促进中小企业发展，残庆人福利性单位、贫因地区农副产品等政策情况 | 3,400,000.00 | 2026年08月 |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
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2026年07月27日
招标进度跟踪
2026-07-27
招标预告
广东中科半导体微纳制造技术研究院2026年07月至2026年08月政府采购意向
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