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广东中科半导体微纳制造技术研究院2026年07月至2026年08月政府采购意向
招标详情
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***********公司企业信息
公告信息
| ****2026年07月至2026年08月政府采购意向 | ||
| **** | ||
| 2026-07-27 15:33:31 | ||
| 正常公告 |
公告内容
为便****政府采购信息，根据《****政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将本单位2026年07月至2026年08月采购意向公开如下：
| 1 | 涂胶显影机 |
标的名称：涂胶显影机
标的数量：1
主要功能或目标：用于半导体微纳制造工艺中的光刻配套环节。目标：实现从增粘处理、前烘、涂胶、显影到后烘坚膜的全流程自动化连续作业。满足研究院在半导体器件研发的关键工艺需求，保障涂胶均匀性及关键尺寸（CD）的精准控制，提升产线整体良率与运行效率。
需满足的要求：1、涂胶均匀性要求片内、片间及批次间3σ均小于2%； 2、热板温度精度需达±0.1℃， 3、系统搬送可靠性需通过5000片无报警测试，晶圆破损率低于1/10000
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落实国家关于节能产品，环保标志产品、促进中小企业发展，残庆人福利性单位、贫因地区农副产品等政策情况 | 85,000,000.00 | 2026年08月 |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
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2026年07月27日
招标进度跟踪
2026-07-27
招标预告
广东中科半导体微纳制造技术研究院2026年07月至2026年08月政府采购意向
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