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深圳职业技术大学先进封装基板线洁净间制水制气设备意向公开
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****先进封装基板线洁净间制水制气设备意向公开
| 采购单位: | **** |
| 项目名称: | 先进封装基板线洁净间制水制气设备 |
| 预算金额（元）: | 1,590,000.000 |
| 采购品目: | 其他仪器仪表 |
| 采购需求概况: | 本次拟重点购置超纯空气制备设备、高纯制氮设备与高等级纯水设备，作为洁净间的核心动力气源与水源保障系统，为全区域日常运行稳定供应符合精密制造标准的超纯水、无油超纯压缩空气与高纯氮气。其中超纯水体系可近乎完全滤除10nm以上颗粒物，高纯度氮气可为工艺腔体提供稳定的低氧惰性保护环境；超纯压缩空气则从源头杜绝微尘、VOC等杂质侵入制程环节，从根本上避免晶圆光刻缺陷、器件电性偏移等良率损失问题。这套水气供应系统，支持无人值守、智能调控，可降低人工运维投入，长期使用的综合成本优势显著，并可根据洁净间实训产能、不同区域的制程精度需求，灵活调整产水、产气的运行参数与供应规模，彻底规避外部外购气体、商用纯水无法适配特殊实训工艺的痛点，****中心的先进制程研发与精密制造实训提供自主可控的核心基础设施支撑。 |
| 联系人: | 李老师 |
| 联系电话: | ****1770 |
| 预计采购时间: | 2026-09 |
| 备注: | 无 |
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2026-07-28
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