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磁控可调感知综合设计系统

湖北 -武汉

发布时间： 2026年07月29日

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****2026年8至9月政府采购意向-磁控可调感知综合设计系统详细情况

磁控可调感知综合设计系统
项目所在采购意向：	****2026年8至9月政府采购意向
采购单位：	****
采购项目名称：	磁控可调感知综合设计系统
预算金额：	220.000000万元(人民币)
采购品目：	A****9901其他仪器仪表
采购需求概况：	（1）支持多靶材共溅射，具备多工位旋转平台；真空度≤5×10Torr，膜厚均匀性≤±3%，靶材尺寸≥2英寸，具备磁控场强可调功能，支持TMR多层结构高精度沉积；（2）高精度三维移动平台：精度1um，用于高精密移动，定位精度1μm（重复定位精度±0.5μm，绝对精度±1.5μm），行程范围300mm，负载能力50kg，移动速度400mm/s；（3）高精度激光测距仪：短程（0.1mm10m）、中程（10m100m）、远程（100m3km），绝对精度±0.1μm，测量速度100kHz；（4）低噪声电源与信号发生器：输出功率90W，RMS有效值噪声 lt;10μV RMS，峰峰值噪声： lt;100μVpp；（5）振动台与冲击试验机：最大推力200kN，频率上限10kHz，最大加速度100g；（6）金属打印机：激光功率：500W，扫描速度：7m/s，层厚范围：20~100μm，材料支持：钛合金、铝合金、高温合金、不锈钢等。
预计采购时间：	2026-09
备注：