[询价]常州大学王诤微电子学院FMCS控制平台采购项目询价公告

1.项目名称：**大学****FMCS控制平台采购项目

2.项目编号：****

3.项目地点：**大学****立功楼

4.项目概况：****大学****FMCS控制平台采购项目，FMCS控制平台为一套软件平台，通****工厂高度相似，部分数据根据实际项目真实数据进行模拟，****工厂相关核心系统的操作。基于FMCS控制平台的学习，致力于提高学生半导体制造工程实践能力。

5.项目工期：合同签订后5个工作日内完成本项目的交货、安装、调试、验收并投入使用。

二、本项目最高限价：75500元（投标供应商报价不得高于最高限价，否则作无效响应处理）。

三、投标人资格要求

1.具有独立承担民事责任的能力；

2.具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；

3.具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；

4.有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；

5.参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录；

6.法律、行政法规规定的其他条件；

7.未被“信用中国”网站（WWW.****.cn）或“中国政府采购网”网站（www.****.cn）列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重失信行为记录名单；

8.单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商（包含法定代表人为同一个人的两个及两个以上法人，母公司、****公司****公司），不得参加同一合同项下的采购活动；

9.本次投标不接受联合体投标，中标后不容许分包、转包。

四、采购项目内容及要求

（一）总体要求：

FMCS****工厂核心基础设施之一，负责实时监控、管理和优化厂务设施运行，确保生产环境稳定性、安全性和能源效率，满足工艺制程对稳定性与安全的严苛要求。FMCS控制平台通****工厂高度相似，部分传感器数据根据实际项目真实数据进行模拟，****工厂相关核心系统的操作，使学习者了解FMCS系统的作用，其功能是对接专业人才培养目标，培养半导体项目运行维护能力，为后续毕业综合实践和从事项目管理工程师工作奠定基础。

FMCS控制平台为一套软件平台，采用本地虚拟机部署，通****工厂高度相似，部分数据根据实际项目真实数据进行模拟，****工厂相关核心系统的操作。基于FMCS控制平台的学习，致力于提高学生半导体制造工程实践能力。

（二）具体内容及要求：

平台具体功能参数如下：

1.FMCS控制平台通过****工厂高度相似，部分数据根据实际项目真实数据进行模拟，****工厂相关核心系统的操作，软件平台中的子系统包括冷热水系统、洁净空调系统、洁净室系统、工艺冷却水系统、压缩空气系统、纯水系统、化学品系统。

2.系统场景1:1****工厂FMCS控制室布局，打造身临其境的FMCS控制室场景，****中心显示屏及电脑桌椅等场景。系统中的知识内容包括工作职责和知识介绍。支持学生了解学习各系统，支持操作设备的启动、关闭、故障报警等操作。

3.软件界面操作包括：用户登录、用户注销、报警消音、单次确认、全部确认、历史趋势、报警查询、用户操作、系统架构、退出监控、中英文切换。软件场景支持对各子系统动态运行状态进行监控，监控内容中如压力、流量、温度、电导率、罐体液位等模拟量都可通过点击打开弹窗，观测其实际值、量程上下限、偏差值、强制值、各阶段报警设定值等。软件界面中，单击仪表图标，进入仪表模拟量操作界面，可进行故障复位、高高报警、高报警、低报警、低低报警值的设置。单击水泵图标进入变频设备操作界面，可进行手动自动切换操作，自动时，频率输出随压力PID输出，当切换成手动时，可以手动给定频率。单击阀门图标进入阀门操作界面，可进行阀门手自动操作、开阀指令、关阀指令、输出状态、报警设定。

4.冷热水系统：该子系统包括低温冷冻水系统、中温冷冻水系统、冷却水系统等。

低温冷冻水系统属于FMCS的核心子系统之一，主要功能为生产区域（如FAB 晶圆厂）、辅助区域提供稳定低温冷源，保障生产设备/环境的温度控制。具体的监控参数包括温度、压力、流量、控制逻辑等。

****工厂（如半导体厂房）冷源系统的另一核心子系统，用于为生产/辅助区域提供中温冷源。系统中包含中温冷冻水机组、中温热回收冷水机组和冷冻水泵等内容。具体控制逻辑是通过PID 控制器自动调节泵组频率，维持供水压力稳定。

****工厂冷源系统的“散热配套系统”，核心作用是为冷冻水机组（低温/中温）等设备带走运行时产生的热量，保障制冷设备稳定工作。工艺冷却水系统中场景内容包含冷却塔、控制阀和监控。

5.洁净空调系统：该子系统是半导体等精密厂房洁净室环境控制的核心设备之一，负责为洁净室提供恒温、恒湿、洁净的新风。温度：通过表冷段与加热段的水阀PID，控制送风的温度保证送风温度在20℃±0.5；湿度：通过表冷段除湿PID，加湿段加湿PID控制送风露点达到控制送风湿度的目的湿度为55%±5%；压力：通过控制风机的频率控制送风压力，保障洁净室正压环境。通过多个PID 控制器（制冷、制热、除湿、加湿），自动调节阀门/设备开度，维持送风的温、湿、压稳定。这个系统是洁净室“环境保障的第一道关卡”，直接决定了生产区域的空气洁净度、温湿度，是精密生产（如半导体晶圆制造）的关键配套系统。

6.洁净室系统：该子系统包括DCC系统和TMT系统。洁净室局部区域温湿度偏离需求值时，根据温度自动调节气动阀门，以达到温湿度微调和洁净标准的目的。系统操作包括手动及自动的方式。

7.工艺冷却水系统：该子系统具体包括供回水、水泵、板换、PCW水箱、应急补水阀。供回水：监视供水温度、回水温度、供水压力、回水压力、供回水压差、电导率、回水流量；水泵：实现手自动启停、自动加减机、频率手动给定、远程/就地控制、频率自动、备机选择；板换：实现PCW系统温度控制；PCW水箱：监视水箱液位、水箱压力；应急补水阀：PCW水箱无法给系统补水时，手动开启水阀，以保证系统稳定运行。

8.压缩空气系统：****工厂（如半导体厂房）的关键动力系统之一，负责为生产、辅助区域提供洁净、稳定的压缩空气。空压系统中包含空压机、储气罐、冷干机和吸干机。空压机：是压缩空气的“产生源”，将大气压缩为高压空气；储气罐：用于储存压缩空气、稳定系统压力；冷干机：对压缩空气进行干燥处理，去除水分；吸干机：深度干燥，保障压缩空气的低露点。系统通过“产生→储存→干燥→分配”的流程，为工厂提供高质量压缩空气动力。

9.纯水系统：该子系统开机遵循“预处理→离子交换→RO系统→终端处理”的顺序，即：原水→MMF→ACF→阳床→阴床→RO系统→抛光混床→纯水箱/生产用水点；停机顺序相反。核对控制平台内各单元的工艺参数设定值，确保与生产要求一致。

10.化学品系统：该子系统包括酸碱有机CDU、酸碱有机CCB、酸碱有机VMB。CDU核心是将桶装化学品处理后输送至CCB，系统中流程为桶装化学品上料→气液分离与输送→运行监控：实时观察控制平台上显示的压力、液位，若压力异常波动、液位下降过快，及时暂停并排查，输送完成后，关闭进气阀、输送阀，点击“停止”按钮。CCB 负责储存化学品并向VMB 供料，同时支持槽车卸液，系统中流程为接收CDU来料→槽车卸液操作→向VMB供料→取样检测。VMB 负责将化学品分配至各生产设备。

（三）验收标准及要求：

平**装、调试完成后，成交供应商提交验收申请，采购人组织专家根据询价公告中的参数要求进行逐条验收。

（四）质保期及售后保障服务要求：

1.免费保修期1年，【免费保修期从软件验收合格之日起计算】，提供终身维护、技术支持服务。

2.售后跟踪服务：电话和E-MAIL技术支持，疑难问题电话支持。出现新情况，需及时提供预警和解决方案。

3.中标单位应为采购人提供免费培训服务，并指派专人负责与采购人联系售后服务事宜。主要培训内容为产品的基本架构、性能、日常使用操作、常见故障的排除、紧急情况的处理等。

4.提供技术服务热线，7*24小时响应用户突发事件。

5.对重大技术问题提供现场技术支持，软件若出现问题4小时内响应，24小时内派技术人员到现场维修，并在72小时内完成用户方提出的维修要求，不得借故推托而不到现场。

（五）其他要求：

所供软件必须由厂家正式授权的正规渠道供货，供货、安装、调试和安全保障符合国家相关规范标准、询价公告要求和合同相关条款。

五、报价方式

1、本项目报价为全费用固定总价，应包括但不限于询价文件及其基本技术要求范围内产品、设计、技术资料、安装、调试、技术指导培训、质保期及维保服务、投标人交纳的各项税款（增值税及其它税费）、政策性文件规定及合同包含的所有风险、责任和询价文件所要求的相关服务等全部内容。请各投标单位结合自身情况自主报价。

2、报价货币为人民币，评审时以人民币为准。

六、付款方式

合同签订后，软件安装、调试并验收合格后采购人支付合同款项的100%。

七、评标

本次询价，采用最低价中标法。若最低价报价相同，则依法现场抽签确定成交供应商。

八、投标文件组成

*1、营业执照副本、组织机构代码证或加载统一社会信用代码的营业执照的复印件；

*2、投标人资格声明函（附件1）

*3、法定代表人资格证明书（附件2）；

*4、授权委托书（附件3，如有授权时必须提供）；

*5、报价一览表（附件4）；

*6、技术（服务）要求响应及偏离表（附件5）；

*7、供应商管理关系或控股关系信息情况表（附件6）；

8、询价公告要求提供的其他材料。

上述带“*”条款供应商必须在响应文件中提供，否则将作为无效响应处理。供应商应提交响应文件“正本”壹份，并以密封形式（封口加盖骑缝公章）封装在一个文件袋中，文件袋上应注明项目名称、供应商名称、联系人及电话。

九、投标文件递交要求标书代写

1、投标文件递交截止时间：2026年8月6日16:00标书代写

2、投标文件递交地点：**大学西**校区立功楼417标书代写

3、联系人及电话：邱老师，0519-****0293。

十、由该采购申请****小组，对投标报价单位报价进行评审后，确定中标单位。

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2026年7月30日