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| ****采购激光等离子**机 | |
| 项目所在采购意向: | ****2026年07月至2026年08月政府采购意向 |
| 采购单位: | **** |
| 采购项目名称: | ****采购激光等离子**机 |
| 预算金额: | 160.000000万元(人民币) |
| 采购品目: | |
| 采购需求概况 : |
标的名称:激光等离子**机 标的数量:1 主要功能或目标:集成IR激光和常温常压MIP等离子的芯片**系统、对芯片进行有效安全的去除封装,并将芯片内部晶圆完整和无破坏的裸露出来,为芯片下一步失效分析做好制样准备。 需满足的要求:1.激光器大于等于20W、1064 nm 红外光纤,刻速 1-100mm/s,搭载1200万像素同轴CCD与可调环形LED光源。 2.采用常温常压脉冲 MIP 等离子,仅用氩、氧气体,不含CF4,适配2×2–50×50mm样品。三轴行程均≥100mm,全电动载台,电动3D观测系统可360°旋转、定点自动拍照。 3.配备3μm颗粒过滤99% 4.自带吸尘装置,支持晶圆自动清洗。
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| 预计采购时间: | 2026-08 |
| 备注: | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写