中国科学院上海微系统与信息技术研究所晶圆干法深硅刻蚀机中标公告

发布时间: 2026年07月31日
摘要信息
中标单位
中标金额
中标单位联系人
招标单位
招标编号
招标估价
招标联系人
代理单位
代理单位联系人
招标详情
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相关单位:
***********公司企业信息
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公告概要:
公告信息:
采购项目名称 ****晶圆干法深硅刻蚀机
品目

货物/设备/电气设备/电气机械设备/电气物理设备

采购单位 ****
行政区域 **市 公告时间 2026年07月31日 15:07
评审专家名单 杨德裕、樊志刚、余 颖、谢明华、赵 红、刘道祥、张 俞
总中标金额 ¥870.000000 万元(人民币)
联系人及联系方式:
项目联系人 陈永亮、唐嘉艺
项目联系电话 021-****6803、136****3081
采购单位 ****
采购单位地址 **市**区**路865号
采购单位联系方式 纪老师 021-****1070
代理机构名称 ****
代理机构地址 **市**区恒丰路600号机电大厦5楼A座、B座和C座
代理机构联系方式 陈永亮、唐嘉艺 021-****6803、136****3081
附件:
附件1 晶圆干法深硅刻蚀机-招标文件-发售稿****0708.pdf
附件2 关于符合本国产品标准的声明函.pdf

一、项目编号:****(招标文件编号:****)

二、项目名称:****晶圆干法深硅刻蚀机

三、中标(成交)信息

供应商名称:****

供应商地址:**市光****社区恒泰裕大厦3栋3A-1801

中标(成交)金额:870.****000(万元)

四、主要标的信息

序号 供应商名称 货物名称 货物品牌 货物型号 货物数量 货物单价(元)
1 **** 晶圆干法深硅刻蚀机;备品备件;专用工具;安装、调试、检验;培训;技术服务 均为**北方华****公司 NMC 508SVM;均为非标定制 1台;1套;1套;1项;1项;1项 ****000;100000;50000;40000;30000;30000

五、评审专家(单一来源采购人员)名单:

杨德裕、樊志刚、余 颖、谢明华、赵 红、刘道祥、张 俞

六、代理服务收费标准及金额:

本项目代理费收费标准:100*1.5%*+400*1.1%*+370*0.8%,由中标人支付。

本项目代理费总金额:8.860000 万元(人民币)

七、公告期限

自本公告发布之日起1个工作日。

八、其它补充事宜

推荐理由:****,综合得分85.63,具有同类项目业绩,技术方案较详细、售后服务较好,经专家独立评审汇总后,综合得分最高,故推荐其为中标人。

各有关当事人如对中标结果有异议,请于本中标公告期限届满之日起7个工作日内以书面形式向****(地址:**市**区恒丰路600号机电大厦5楼B座办公室,邮编:200070,联系人:陈永亮,联系电话:183****4335,传真:021-****2917)提出质疑,并附相关证明资料,逾期将不再受理。

九、凡对本次公告内容提出询问,请按以下方式联系。

1.采购人信息

名 称:****

地址:**市**区**路865号

联系方式:纪老师 021-****1070

2.采购代理机构信息

名 称:****

地 址:**市**区恒丰路600号机电大厦5楼A座、B座和C座

联系方式:陈永亮、唐嘉艺 021-****6803、136****3081

3.项目联系方式

项目联系人:陈永亮、唐嘉艺

电 话: 021-****6803、136****3081

附件(2)
招标进度跟踪
2026-07-31
中标通知
中国科学院上海微系统与信息技术研究所晶圆干法深硅刻蚀机中标公告
当前信息
2026-02-06
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