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内蒙古日昇元硅材料有限公司半导体硅料清洗建设项目

审批

内蒙古-呼和浩特

发布时间： 2026年08月01日

项目详情

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1、建设项目基本信息

企业基本信息

建设单位名称：建设单位代码类型：建设单位机构代码：建设单位法人：建设单位联系人：建设单位所在行政区划：建设单位详细地址：

****
****0192MABRF91UXL	樊世伟
张建	自治区市****开发区
自治区开发区**园区阳光大街以北

建设项目基本信息

项目名称：项目代码：项目类型：建设性质：行业类别（分类管理名录）：行业类别（国民经济代码）：工程性质：建设地点：中心坐标： ****机关：环评文件类型：环评批复时间：环评审批文号：本工程排污许可证编号：排污许可批准时间：项目实际总投资(万元)：项目实际环保投资(万元)：运营单位名称：运营单位组织机构代码：验收监测(调查)报告编制机构名称：验收监测(调查)报告编制机构代码：验收监测单位：验收监测单位组织机构代码：竣工时间：调试起始时间：调试结束时间：验收报告公开起始时间：验收报告公开结束时间：验收报告公开形式：验收报告公开载体：

****半导体硅料清洗建设项目

2021版本:081-电子元件及电子专用材料制造	C3985-C3985-电子专用材料制造
	自治区市**开发区自治区**开发区**园区阳光大街以北
经度:111.694023 纬度: 40.547168	****环境局
	2023-03-02
呼环政批字〔2023〕15号	****
2024-05-31	780
213	****
****0192MABRF91UXL	****
****0192MABRF91UXL	内****公司
****0104MA0N002N9P	2023-09-15
2023-09-16	2023-12-16
2026-06-15	2026-07-10
	建设项目环境信息公示平台（gs.**.com）

2、工程变动信息

项目性质

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

**	**
无

规模

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

项目建设3条半导体硅料清洗生产线，包括2条氢氟酸清洗线和1条环保试剂清洗线，建设规模为年清洗半导体单晶硅料6600吨。	项目仅建设了2条氢氟酸清洗线，建设规模为年清洗半导体单晶硅料3300吨。
1条试剂洗线未建设

生产工艺

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

酸洗线：本项目硅料处理首先将硅料送入酸洗设备，随后进入1#混合强酸腐蚀槽，使用30%氢氟酸与65%硝酸按比例配比的混酸在20℃-35℃条件下经循环、冷却、鼓泡方式酸洗1-3分钟，酸洗产生的酸雾废气经集气罩收集后送入碱液喷淋洗涤塔处理，最终由23米高排气筒排放；每处理130吨硅料更换一次槽液，废酸及槽体冲洗废水进入自建污水处理**园区管网，溢流产生的废滤网作为危废交由资质单位处置，块状硅料过滤物回用于生产。酸洗后的硅料依次进入2#、3#QDR漂洗槽利用回收溢流水常温喷淋鼓泡漂洗0.5分钟，进出水量均为300L/分钟，漂洗废水作为含酸废水处理，废滤网按危废管理；之后送至4#纯水隔离槽常温溢流纯水漂洗5-7分钟，槽液回流至前端漂洗槽不外排，实现酸气与工件隔离；再进入5#至8#超声波漂洗槽，在50℃以下采用超声波加溢流纯水漂洗5-7分钟。完成多级漂洗的硅料送入电烘箱烘干、冷却后输送至包装台，项目按需设置两条手动破碎线，由工作人员使用钨钢锤敲击破碎硅料，破碎粉尘经集气罩收集、布袋除尘器净化后通过23米排气筒排放；最后进入检测包装工序，分拣剔除杂质，未清洗达标硅料返回清洗机复洗，合格产品完成包装。试剂洗线：碱洗完毕的硅料送入上料工位进入试剂清洗槽，利用硅料专用清洗试剂常温循环浸泡 30 分钟，试剂挥发产生的非甲烷总烃经活性炭吸附处理后由 23 米高排气筒排放，试剂通过补液、过滤循环重复使用，无废液外排；完成试剂清洗的硅料送入 QDR 漂洗槽，采用溢流水常温喷淋、鼓泡漂洗 5-7 分钟，产生的含试剂废水经厂区污水处**园区管网。之后硅料进入纯水隔离槽常温溢流漂洗 5-7 分钟，槽内水体回流至前端漂洗槽不外排，通过槽体隔断避免物料二次污染；再送入多组超声波漂洗槽，以超声波配合纯水溢流方式漂洗 5-7 分钟。漂洗完成的硅料送入烘箱烘干冷却，烘干废气集中管道直接排放，物料转运至包装工序。可根据甲方需求启用两条手动破碎线，人工使用钨钢锤敲击拆分硅料，破碎粉尘经布袋除尘器净化后由 23 米排气筒排放；最后通过人工分拣剔除杂质，清洗不合格硅料回流复洗，合格产品完成包装。	酸洗线：硅料先经上下料工位上料，送入1#混合强酸腐蚀槽开展混酸腐蚀工序，槽内采用49%氢氟酸与68%硝酸按1:10配比配制酸液，补液氢氟酸与硝酸比例为1:3~6，在20℃~35℃温度下通过循环、冷却、鼓泡方式酸洗1~3分钟；酸洗酸雾由集气罩收集，经硫代硫酸钠、氢氧化钠溶液碱液喷淋洗涤塔处理后，由23m高排气筒达标排放。酸洗后的硅料转入纯水隔离槽完成三次常温纯水漂洗，单次漂洗时长5~7min，通过槽体分区隔断避免酸气腐蚀设备与硅料二次污染；随后进入超声波漂洗槽，在50℃以下采用超声波+纯水溢流漂洗5~7min。漂洗完毕的硅料送入电烘箱烘干冷却，烘干含水废气经烘箱抽气装置引至布袋除尘器处理后，通过23m高DA002排气筒排放，物料输送至包装工位。项目根据甲方需求启用2套手动破碎线，工人使用钨钢锤敲击破碎硅料，破碎粉尘经工位集气罩收集、布袋除尘后汇入DA002排气筒排放；最终进入检测包装环节，人工剔除杂质，清洗不合格硅料回流至清洗机重新处理，合格产品完成包装。
1条试剂洗线未建设

环保设施或环保措施

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

废气：酸性废气处理：酸性废气洗涤塔，加入硫代硫酸钠与氢氧化钠溶液处理，处理合格后的气体通过 23m 高排气筒DA001排放。破碎粉尘：主要成分为硅尘，集气罩收集后经布袋除尘器处理后通过23m高排气筒DA002排放。非甲烷总烃：试剂洗线试剂槽会产生挥发性有机物（以非甲烷总烃计），通过集气罩收集，被收集后的废气由活性炭吸附处理（收集效率90%，处理效率80%），再通过1根23m高排气筒DA003排放。废水：职工公司现有排水设施，经现有化园区污水管网，工业园处理厂；纯水制备系统排水属于清净下水，园区污水管网；生产废水经自建污水处理设施处理达标后，排入园区污水管网，园区污水处理厂。其中，酸性废水采用二级化学混凝沉淀法除氟工艺，化学除氟后酸性废水与混凝沉淀后的试剂洗废水混合，再经过“厌氧+好氧+反硝化”工艺生化处理后，排水满足《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1水污染物间接排放限值要求。噪声：低噪设备、减振基础、厂房隔声等。固体废物：项目设置1座50m2的一般固废暂存间与1座20m2的危险废物暂存间，项目一般固废与危险废物全部分类贮存于一般固废暂存间与危险废物暂存间。 **公司现有收集设施，集中收集，统一交由当地环卫部门清运处置；项目溢流过滤会产生废滤网，属于危险废物，暂存危废库，定期交由有资质单位处置；装酸的桶使用完后产生的废包装桶以及装碱产生的废包装袋，其中含有废酸、废碱，属于危险废物，暂存危废库，定期交由有资质单位处置；试剂洗线试剂槽会产生非甲烷总烃，通过集气罩收集，被收集后的废气由活性炭吸附处理，会产生废活性炭，属于危险废物，暂存危废库，定期交由有资质单位处置；废水经混凝、絮凝沉淀处理后，会产生污泥，污泥经压滤机过滤，滤渣为含湿的 CaF2 固体，暂存一般固废库，外售综合利用；项目破碎会产生一定量的破碎粉尘，主要为硅尘，布袋除尘器收集后暂存于一般固废暂存间，全部外售给钢硅生产企业；纯水制备会产生废离子交换树脂，属于一般固废，暂存一般固废暂存间，由专业回收厂家回收。	废气：酸性废气处理：酸性废气洗涤塔，加入硫代硫酸钠与氢氧化钠溶液处理，处理合格后的气体通过 23m 高排气筒DA001排放。破碎粉尘：主要成分为硅尘，集气罩收集后经布袋除尘器处理后通过 23m 高排气筒DA002排放。烘干废气：主要成分为水分，集气罩收集后与破碎粉尘一起经布袋除尘器处理后通过23m高排气筒DA002排放。废水：职工公司现有排水设施，经现有化园区污水管网，工业园处理厂；纯水制备系统排水属于清净下水，园区污水管网；生产废水经自建污水处理设施处理达标后，排入园区污水管网，园区污水处理厂。酸性废水采用二级化学混凝沉淀法除氟工艺，化学除氟后酸性废水排水满足《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1水污染物间接排放限值要求。噪声：低噪设备、减振基础、厂房隔声等。固体废物：项目实际设置1座20m2的一般固废暂存间与1座6m2的危险废物暂存间，项目一般固废与危险废物全部分类贮存于一般固废暂存间与危险废物暂存间。公司现有收集设施，集中收集，统一交由当地环卫部门清运处置；装酸的桶使用完后产生的废包装桶以及装碱产生的废包装袋，其中含有废酸、废碱，属于危险废物，暂存危废库，定期交由厂家内公司回收（回收协议见附件7）；废水经混凝、絮凝沉淀处理后，会产生污泥，污泥经压滤机过滤，滤渣为含湿的 CaF2 固体，经压滤机压滤后暂存一般固废间，定商贸**公司转运处置；项目破碎会产生一定量的破碎粉尘，主要为硅尘，布袋除尘器收集后暂存于一般固废暂存间，全部返还给厂家；纯水制备会产生废离子交换树脂，属于一般固废，暂存一般固废暂存间，由专业回收厂家回收。
试剂洗生产线未建设，无非甲烷总烃、无试剂洗废水、无废活性炭。项目实际建设中未设置溢流过滤网，**处理端设有1座收集沉淀池对随废水流失的硅料进行集中收集后循环利用。因此，本项目实际运营期间无废滤网及溢流过滤物产生。

其他

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

执行环保 “三同时” 制度，规范开展环境信息公开，污染物稳定达标排放；若发生重大变动需重新报批环评文件，落实排污许可及竣工环保自主验收要求，接受生态环境主管部门全过程监管。	已执行环保 “三同时” 制度，规范开展环境信息公开，污染物稳定达标排放1 条试剂洗生产线未建设，无新增生产内容，无新增污染物产生，未改变主要生产工艺、产排污节点及污染治理设施，不属于重大变动。落实排污许可及竣工环保自主验收要求，接受生态环境主管部门全过程监管。
1 条试剂洗生产线未建设，无新增生产内容，无新增污染物产生，未改变主要生产工艺、产排污节点及污染治理设施，不属于重大变动。

3、污染物排放量

污染物现有工程（已建成的）本工程（本期建设的）总体工程总体工程（现有工程+本工程）排放方式实际排放量实际排放量许可排放量 “以新带老”削减量区域平衡替代本工程削减量实际排放总量排放增减量废水水量（万吨/年） COD（吨/年）氨氮（吨/年）总磷（吨/年）总氮（吨/年）氟化物(吨/年) 废气气量（万立方米/年）二氧化硫（吨/年）氮氧化物（吨/年）颗粒物（吨/年）挥发性有机物（吨/年）

1.6955	1.6955	1.695	1.695
2.7025	2.7025	2.703	2.703
0.1933	0.1933	0.193	0.193
0.0344	0.0344	0.034	0.034
0.3007	0.3007	0.301	0.301
0.0859	0.0859	0.086	0.086
5286.12	5286.12	5286.12	5286.12	/
0	0	0	0	/
0.46	0.46	0.46	0.46	/
0.1565	0.1565	0.157	0.157	/
0	0	0	0	/

4、环境保护设施落实情况

表1 水污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

自建污水处理设施

《电子工业水污染物排放标准》GB39731-2020

厂区自建一套污水处理设施，处理能力为7t/h。主要污水处理工艺如下：含酸废水在调节池通过提升泵送入一级化学混凝池，通过投加化学药剂石灰去除废水中的氟离子，加药后的污水进入沉淀池内进行泥水分离，污泥排入污泥池，废水进入二级化学混凝池，通过投加化学药剂除氟剂，进一步去除废水中氟离子，后进入二级沉淀池进行泥水分离，污泥排入污泥池，上清液进入综合调节池，检测****园区污水管网。

验收监测期间，项目废水总排口pH值为8.4-8.9，总磷最大值为0.12mg/L，氨氮最大值为5.44mg/L，化学需氧量最大值为180mg/L，总氮最大值为67.5mg/L，氟化物最大值为15.4mg/L，满足《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1水污染物间接排放限值要求。

表2 大气污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

1	DA001	《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表 2 新污染源大气污染物排放限制中二级排放限值	1根23m高排气筒	氮氧化物排放浓度最大值为18mg/m3，排放速率最大为0.169kg/h；氟化物排放浓度最大值为0.42mg/m3，排放速率最大为3.75×10-3kg/h，均满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表 2 新污染源大气污染物排放限制中二级排放限值。
2	DA002	《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表 2 新污染源大气污染物排放限制中二级排放限值	1根23m高排气筒	验收监测期间，排气筒出口颗粒物排放浓度最大值为5.8mg/m3，排放速率最大为0.062kg/h；满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表 2 新污染源大气污染物排放限制中二级排放限值。

表3 噪声治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

选用低噪声设备，厂房隔声、基础减振等

《工业企业厂界噪声排放标准》（GB12348-2008）3类区标准限值要求

加装减振基础、设置隔声设施、采用低噪声设备、加强管理、及时维护保养，使作业机械保持良好的工况，降低设备运行产生的噪声。项目车辆行驶过程中产生一定的噪声，通过采取车辆减速慢行、不鸣笛的措施，降低车辆行驶噪声。

验收监测期间，厂界昼间噪声监测结果最大值54dB（A），夜间噪声监测结果最大值47dB（A），爱迩厂区生活区昼间噪声监测结果最大值47dB（A），夜间噪声监测结果最大值44dB（A），符合《工业企业厂界噪声排放标准》（GB12348-2008）3类区标准限值要求：昼间65dB（A），夜间55dB（A）。

表4 地下水污染治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表5 固废治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

项目设置1座50m2的一般固废暂存间与1座20m2的危险废物暂存间，项目一般固废与危险废物全部分类贮存于一般固废暂存间与危险废物暂存间。 ****公司现有收集设施，集中收集，统一交由当地环卫部门清运处置；项目溢流过滤会产生废滤网，属于危险废物，暂存危废库，定期交由有资质单位处置；装酸的桶使用完后产生的废包装桶以及装碱产生的废包装袋，其中含有废酸、废碱，属于危险废物，暂存危废库，定期交由有资质单位处置；试剂洗线试剂槽会产生非甲烷总烃，通过集气罩收集，被收集后的废气由活性炭吸附处理，会产生废活性炭，属于危险废物，暂存危废库，定期交由有资质单位处置；废水经混凝、絮凝沉淀处理后，会产生污泥，污泥经压滤机过滤，滤渣为含湿的 CaF2 固体，暂存一般固废库，外售综合利用；项目破碎会产生一定量的破碎粉尘，主要为硅尘，布袋除尘器收集后暂存于一般固废暂存间，全部外售给钢硅生产企业；纯水制备会产生废离子交换树脂，属于一般固废，暂存一般固废暂存间，由专业回收厂家回收。

项目实际设置1座20m2的一般固废暂存间与1座6m2的危险废物暂存间，项目一般固废与危险废物全部分类贮存于一般固废暂存间与危险废物暂存间。 ****公司现有收集设施，集中收集，统一交由当地环卫部门清运处置；装酸的桶使用完后产生的废包装桶以及装碱产生的废包装袋，其中含有废酸、废碱，属于危险废物，暂存危废库，定期交由厂家内****公司回收（回收协议见附件7）；废水经混凝、絮凝沉淀处理后，会产生污泥，污泥经压滤机过滤，滤渣为含湿的 CaF2 固体，经压滤机压滤后暂存一般固废间，定****商贸****公司转运处置；项目破碎会产生一定量的破碎粉尘，主要为硅尘，布袋除尘器收集后暂存于一般固废暂存间，全部返还给厂家；纯水制备会产生废离子交换树脂，属于一般固废，暂存一般固废暂存间，由专业回收厂家回收。

表6 生态保护设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表7 风险设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

5、环境保护对策措施落实情况

依托工程