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| 集成式涡轮分子真空泵组系统 | 1.0/ | 华源科技 | 90iCF | (一)分子泵 1.运行速度:≥72000 r/min; 2.泵体结构:半磁浮轴承设计; 3.抽速性能 (1)氮气(N)抽速:≥90 L/s (2)氦气(He)抽速:≥90 L/s (3)氢气(H)抽速:≥78 L/s (4)氩气(Ar)抽速:≥83 L/s 4.极限真空度 (1)ISO-K/ISO-F法兰接口极限真空:≤8.0×10-10 mbar 5.压缩比 (1)氮气压缩比:≥1×1011; (2)氩气压缩比:≥1×1011; (3)氦气压缩比:≥1×108; (4)氢气压缩比:≥5×107; (二)双级油封式旋片真空泵 1.抽速(50Hz):≥16m3/h; 2.关气镇极限分压强:≤3x10-3mbar; 3.连接口:连接口:DN 25 ISO-KF; 4.额定工况运行噪音:≤56 dB(A); (三)控制系统 1.控制面板:不小于7英寸高清彩色工业级触控面板;支持中、英文双语操作界面,界面可视化程度高; 2.可实现分子泵、前级泵联动一键启停,分子泵的运行参数实时可读取。 | 按行业标准提供服务,整机保修一年 |