12吋SOI晶圆

发布时间: 2026年08月01日
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****2026年8月政府采购意向-12吋SOI晶圆 详细情况
12吋SOI晶圆
项目所在采购意向: ****2026年8月政府采购意向
采购单位: ****
采购项目名称: 12吋SOI晶圆
预算金额: 255.000000万元(人民币)
采购品目:
A****0343PVC石英砂制成品
采购需求概况 :
本次拟采购12吋SOI晶圆,500片。具体指标要求:顶层硅厚度误差≤±5nm,表面粗糙度<0.15nm,晶格缺陷密度≤0.05个/cm2,电阻率偏差控制在<±10%,埋氧化层厚度片内均匀性<1nm,SOI晶圆总厚度偏差≤2μm,弯曲度、翘曲度均符合12吋晶圆量产级标准,无明显应力集中点。
预计采购时间: 2026-08
备注:

本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写

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