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中国科学院半导体研究所电感耦合等离子体干法刻蚀机采购项目（第二次）中标公告
招标详情
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400-688-2000
相关单位：
***********公司企业信息
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公告概要：
| 公告信息： | |||
| 采购项目名称 | ****电感耦合等离子体干法刻蚀机采购项目 | ||
| 品目 | 货物/设备/仪器仪表/分析仪器/多种原理分析仪 | ||
| 采购单位 | **** | ||
| 行政区域 | **市 | 公告时间 | 2026年08月04日 17:09 |
| 评审专家名单 | 汤锋（评审组长）、李密丹、高连荣、魏天兴、于治国 | ||
| 总中标金额 | ￥505.137798 万元（人民币） | ||
| 联系人及联系方式： | |||
| 项目联系人 | 窦志超、曹山 | ||
| 项目联系电话 | 010-****0529 | ||
| 采购单位 | **** | ||
| 采购单位地址 | **市**区清华东路甲35号 | ||
| 采购单位联系方式 | wangp0912@semi.****.cn | ||
| 代理机构名称 | **** | ||
| 代理机构地址 | **市**区**街1****中心20层 | ||
| 代理机构联系方式 | 窦志超、曹山 010-****0529 | ||
| 附件： | |||
| 附件1 | 招标文件1652-电感耦合等离子体干法刻蚀机0713发布稿.pdf | ||
一、项目编号：****（招标文件编号：****（第二次））
二、项目名称：****电感耦合等离子体干法刻蚀机采购项目
三、中标（成交）信息
供应商名称：****
供应商地址：**市**区未来科学城英才北三街16号院15号楼碳力未来大厦2-201
中标（成交）金额：505.****980（万元）
四、主要标的信息
| 序号 | 供应商名称 | 货物名称 | 货物品牌 | 货物型号 | 货物数量 | 货物单价(元) |
| 1 | **** | 电感耦合等离子体干法刻蚀机 | ULVAC | NLD 570 | 1套 | US$745,800.00 |
五、评审专家（单一来源采购人员）名单：
汤锋（评审组长）、李密丹、高连荣、魏天兴、于治国
六、代理服务收费标准及金额：
本项目代理费收费标准：[2002]1980 号文件
本项目代理费总金额：5.941000 万元（人民币）
七、公告期限
自本公告发布之日起1个工作日。
八、其它补充事宜
1.本项目采用综合评分法，中标供应商的评审总得分89.54分。
2.中标金额：US$745,800.00，汇率：1美元=6.7731元人民币
九、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。
1.采购人信息
名 称：****
地址：**市**区清华东路甲35号
联系方式：wangp0912@semi.****.cn
2.采购代理机构信息
名 称：****
地 址：**市**区**街1****中心20层
联系方式：窦志超、曹山 010-****0529
3.项目联系方式
项目联系人：窦志超、曹山
电 话： 010-****0529
附件（1）
招标文件1652-电感耦合等离子体干法刻蚀机0713发布稿.pdf下载预览
招标进度跟踪
2026-08-04
中标通知
中国科学院半导体研究所电感耦合等离子体干法刻蚀机采购项目（第二次）中标公告
当前信息
2026-07-13
2026-07-10
2026-06-12
2026-04-30
招标预告
电感耦合等离子体干法刻蚀机
招标项目商机
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