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中芯国际光掩模版产能建设（临港）(二、三阶段）

审批

上海-上海-浦东新区

发布时间： 2026年08月06日

项目详情

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1、建设项目基本信息

企业基本信息

建设单位名称：建设单位代码类型：建设单位机构代码：建设单位法人：建设单位联系人：建设单位所在行政区划：建设单位详细地址：

****
913********939629R	刘训峰
徐小朋	市区
**市自由贸易试验区张江路18号

建设项目基本信息

项目名称：项目代码：项目类型：建设性质：行业类别（分类管理名录）：行业类别（国民经济代码）：工程性质：建设地点：中心坐标： ****机关：环评文件类型：环评批复时间：环评审批文号：本工程排污许可证编号：排污许可批准时间：项目实际总投资(万元)：项目实际环保投资(万元)：运营单位名称：运营单位组织机构代码：验收监测(调查)报告编制机构名称：验收监测(调查)报告编制机构代码：验收监测单位：验收监测单位组织机构代码：竣工时间：调试起始时间：调试结束时间：验收报告公开起始时间：验收报告公开结束时间：验收报告公开形式：验收报告公开载体：

中芯国际光掩模版产能建设（临港）(二、三阶段）

2021版本:080-电子器件制造	C3973-C3973-集成电路制造
	市自贸区临港新片区 **书院镇东大公路3123号
经度:121.832510 纬度: 30.985020	中国（）自由贸易**管理委员会
	2023-07-31
沪自贸临管环保许评〔2023〕69号	****
2025-12-08	****650
4078	****临港光罩厂
913********939629R	****大学
123********026417R	市环境**公司
913********624384A	2025-11-18

2026-07-02	2026-08-04
	https://e2.**.cn:8081/qygkweb/jsp/view/jsxmInfo_edit.jsp?id=**0437DEB3434A88A1B47BF5373C46

2、工程变动信息

项目性质

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

**	**
项目性质无变动

规模

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

项目分三阶段建设，其中一阶段光掩模版产能为20套/月，二阶段为30套/月，三阶段为30套/月，建成后，光掩模版总产能为 80 套/月，折合 960 套/年。	项目分三阶段建设，其中一阶段光掩模版产能为20套/月，二阶段为30套/月，三阶段为30套/月，建成后，光掩模版总产能为 80 套/月，折合 960 套/年;一阶段已于2025年2月完成验收，本次为二、三阶段建设内容
规模无变动

生产工艺

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

曝光、显影、刻蚀、光阻剥离、光阻涂布、测量检验、缺陷修补、保护膜贴附等工序	曝光、显影、刻蚀、光阻剥离、光阻涂布、测量检验、缺陷修补、保护膜贴附等工序
生产工艺无变动

环保设施或环保措施

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

（1）项目应实行雨、污水分流。含氨废水和碱性废气洗涤塔废水通过 DW001 废水监控点进入中芯 FAB9 厂的氨氮废水处理系统进行处理后，依次经过含氟废水处理系统、酸碱废水处理系统，最后通过中芯 FAB9 厂污水总排口纳入市政污水管网。酸性废水、酸性废气洗涤塔排水、工艺冷却系统排水通过 DW002 废水监控点进入中芯 FAB9 厂的酸碱废水处理系统进行处理后，通过中芯FAB9 厂污水总排口纳入市政污水管网。纯水其他废水（包括反冲洗水、RO 浓水、低浓度树脂再生废水等），输送至反洗废水回收系统处理，处理后的再生水回用作纯水制备系统的补水，少量尾水与高浓度树脂再生废水通过 DW003 废水监控点进入中芯 FAB9 厂的酸碱废水处理系统进行处理后，通过中芯 FAB9 厂污水总排口纳入市政污水管网。冷却塔排水通过 DW004 废水监控点进入中芯 FAB9厂的酸碱废水处理系统进行处理后，通过中芯 FAB9 厂污水总排口纳入市政污水管网。空调加湿排水直接回用作循环冷却塔的补水。末道水洗废水经检测符合要求时管道输送至回用至纯水制备系统，若检测结果不符合要求，经自控系统切换排至 FAB9 厂的酸碱废水处理系统进行处理后，通过中芯 FAB9 厂污水总排口纳入市政污水管网。生活污水依托中芯 FAB9 厂格栅池处理后，通过中芯FAB9 厂污水总排口纳入市政污水管网。该项目 DW001~DW002 废水监控点的污染物排放、DW003~DW004 废水监控点的水量排放，根据《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）要求执行企业与中芯签订的协议，中芯 FAB9 厂总排口环保责任主体为中芯。（2）应落实《报告表》提出的废气收集、处理措施和效率。含氯干刻废气经“干式吸附POU+高效过滤器”处理后设置1#监测点，铬及其化合物、氯气执行上海市《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）限值；含氟干刻废气和湿法刻蚀、光阻剥离、量测检验、缺陷修补、清洗、零部件清洁、酸类化学品储罐、腐蚀性气体间集气柜、酸类废液储罐产生的酸性废气一起进入SF1厂房酸性废气处理系统碱洗塔处理后，与上述经处理后的含氯干刻废气，一并通过40米高排气筒排放；排放的硫酸雾、氯化氢执行市《半导体行业污染物排放标准》（DB31/374-2006）限值，氯气、铬及其化合物、氟化物执行市《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）限值。显影、光阻剥离、清洗、碱类化学品储罐产生的碱性废气进入SF1厂房碱性废气处理系统酸洗塔处理后通过40米高排气筒排放；排放的氨执行市《半导体行业污染物排放标准》（DB31/374-2006）限值，臭气浓度执行市《恶臭(异味)污染物排放标准》(DB31/1025-2016)限值。光阻涂布、零部件清洁、有机类废液储罐产生的有机废气依托中芯FAB9厂P1厂房有机废气处理系统“沸石转轮+焚烧炉”处理后，依托中芯FAB9厂P1厂房48米高排气筒排放，环保责任主体为中芯；排放的挥发性有机物执行市《半导体行业污染物排放标准》（DB31/374-2006）限值，非甲烷总烃、异丙醇、丙酮、颗粒物、二氧化硫、氮氧化物执行市《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）限值。（3）应落实《报告表》提出的无组织排放控制措施，严格控制废气无组织排放。厂界处硫酸雾、氯化氢、氟化物、非甲烷总烃、氯气执行市《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015），氨、臭气浓度执行市《恶臭(异味)污染物排放标准》(DB31/1025-2016)。（4）应落实《报告表》提出的降噪措施，通过选用低噪设备、减振、建筑隔声、柔性连接、减震垫等措施，确保不对周边环境造成影响，西侧厂界噪声应符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348 -2008）3类标准，东、南、北侧厂界应符合4类标准。（5）应按《中华人民国固体废物污染环境防治法》与**市有关规定分类收集各类固体废物并分别妥善处理处置，危险废物存放区符合《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）要求，危险废物委托有资质单位处理；一般工业固废贮存区需满足相应防渗漏、防雨淋、防扬尘等环境保护要求。（6）应根据《报告表》要求，落实土壤、地下水防渗措施建设和维护，避免对地下水造成影响。（7）应根据《报告表》要求落实各项风险防范措施并确保达到预期效果，加强日常管理，防止风险事故发生，及时编制企业突发环境事件应急预案并备案。（8）落实环境管理、环境监测等各项要求，认真做好环保设施运行效果记录和日常监测。应按照《报告表》要求落实环保设施的监控措施，加强管理，避免非正常工况发生。应加强环保设施日常管理，确保正常和非正常事故工况下污染物排放得到有效治理。各项治理设施应按照规范预设采样口和采样平台。（9）该项目实施后企业新增废气总量指标为挥发性有机物0.1547吨/年；新增废水总量指标为化学需氧量11.4911吨/年、氨氮0.1759吨/年。（10）应按照《报告表》要求落实施工期污染防治措施，文明施工，减少废水、扬尘、噪声和固体废物等对周围环境的影响。	（1）废水环保设施和污染防治措施和批复要求一致。项目已实行雨、污水分流。含氨废水和碱性废气洗涤塔废水通过DW001废水监控点进入中芯FAB9厂的氨氮废水处理系统进行处理后，依次经过含氟废水处理系统、酸碱废水处理系统处理，最后通过中芯FAB9厂污水总排口纳入市政污水管网。酸性废水、工艺冷却系统、酸性废气洗涤塔排水通过DW002废水监控点进入中芯FAB9厂的酸碱废水处理系统进行处理后，通过中芯FAB9厂污水总排口纳入市政污水管网。因企业取消建设纯水设备，生产过程中不再产生纯水其他废水和高浓度树脂再生废水。冷却塔排水进入中芯FAB9厂的酸碱废水处理系统进行处理后，通过中芯FAB9厂污水总排口纳入市政污水管网。空调加湿排水直接回用作循环冷却塔的补水。末道水洗废水经检测符合要求时管道输送至回用至FAB9厂纯水制备系统，若检测结果不符合要求，经自控系统切换排至FAB9厂的酸碱废水处理系统进行处理后，通过中芯FAB9厂污水总排口纳入市政污水管网。生活污水依托中芯FAB9厂格栅池处理后，通过中芯FAB9厂污水总排口纳入市政污水管网。本项目DW001~DW002废水监控点的污染物排放，执行企业与中芯签订的协议要求限值，中芯FAB9厂总排口环保责任主体为中芯。FAB9厂总排口将严格执行其环评批复要求的污染物排放限值要求，并满足《半导体行业污染物排放标准》(DB31/374-2024)相关限值要求。（2）废气收集、处理措施和效率与环评基本一致。含氯干刻废气经“干式吸附POU+高效过滤器”处理后设置1#监测点，铬及其化合物执行市《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）限值要求，2027年3月1日执行《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2025）限值要求；氯气执行市《半导体行业污染物排放标准》（DB31/374-2024）限值要求；含氟干刻废气和湿法刻蚀、光阻剥离、量测检验、缺陷修补、清洗、零部件清洁、酸类化学品储罐、腐蚀性气体间集气柜、酸类废液储罐产生的酸性废气一起进入SF1厂房酸性废气处理系统碱洗塔处理后，与上述经处理后的含氯干刻废气，一并通过45米高排气筒排放；排放的硫酸雾、氯化氢、氯气、氟化氢执行市《半导体行业污染物排放标准》（DB31/374-2024）限值，铬及其化合物、氟化物执行市《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）限值，2027年3月1日后执行《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2025）限值。显影、光阻剥离、清洗、碱类化学品储罐产生的碱性废气进入SF1厂房碱性废气处理系统酸洗塔处理后通过45米高排气筒排放；排放的氨的浓度执行市《半导体行业污染物排放标准》（DB31/374-2024）限值，氨的排放速率和臭气浓度执行市《恶臭(异味)污染物排放标准》(DB31/1025-2016)限值。光阻涂布、零部件清洁、有机类废液储罐、有机溶剂间产生的有机废气依托中芯FAB9厂P1厂房有机废气处理系统“沸石转轮+焚烧炉”处理后，依托中芯FAB9厂P1厂房50米高排气筒排放，环保责任主体为中芯；排放的TVOCs、非甲烷总烃、颗粒物、氮氧化物执行市《半导体行业污染物排放标准》（DB31/374-2024）限值。二氧化硫、异丙醇、丙酮执行市《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）限值，2027年3月1日后执行《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2025）限值。《报告表》提出的废气收集效率和处理效率将通过环保竣工验收监测数据予以证实落实情况。（3）生产过程对于车间环境、设备气体压力严格控制，SF1厂房的生产废气均由设备端的密闭排气系统入集中废气处理设施后排放，不会出现车间逸散无组织排放。大宗液体化学品进厂后储存在SF1厂房一层酸碱间内储罐，集中供应，仅有少量储罐呼吸废气经管道收集，按污染物特性分别接至酸性废气、碱性废气处理系统及有机废气处理系统。其他液体原料为桶装密闭，进厂后暂存在仓库内，人工搬运至SF1厂房直接在机台端使用，仓库内包装桶全部保持密闭未拆封状态。本项目使用的气体钢瓶为特制密闭式，进厂后依托FAB9厂暂存在CW或HPM2仓库内，定期由人工搬运至SF1厂房一层设腐蚀性气体间和惰性气体间进行气体集中供应。腐蚀性气体间分别设置专用的集气柜，气体输送过程中管道接口、阀门及法兰逸散气体通过密闭微负压的集气柜统一收集至酸性废气处理系统。废液由密闭的机台端经管道输送至储罐，仅少量储罐呼吸废气管道收集，按特性分别接至酸性废气和有机废气处理系统。废水输送采用密闭管道。气体及其它化学品全部采用密闭式包装，不存在无组织排放。设备清洁废气-酸类、化学品供应废气-碱类储罐等均接入SF1厂房新增的碱性废气处理系统。化学品供应废气-酸类储罐、特气供应废气、废液储罐废气-酸类等均接入SF1厂房新增的酸性废气处理系统。设备清洁废气-有机类、废液储罐废气-有机类、化学品供应废气-稀释剂（EBR）储罐均接入FAB9厂P1厂房的有机废气处理系统。根据企业与中芯2025年新签订的环保责任协议，将中芯四侧厂界作为厂界大气污染物达标考核监控点，责任主体为中芯，企业对化学品应采取措施，限制无组织排放，取消厂界污染物监测要求。（4）噪声：风机、冷冻机、真空泵、冷却水循环泵选型上采用低噪声产品。合理布置噪声源，冷冻机、冷却水循环泵、真空泵等安装于动力站CUB1室内，采用建筑隔声。水泵基础设橡胶隔振垫；水泵吸水管和出水管上均加设可曲绕橡胶接头以减振。冷却塔采用风冷式。所有设备设施将控制运行负荷，以确保噪声在声控区标准范围内。运行后将确保各厂界噪声满足限值要求。（5）一般工业固废：原则上日产日清，保税品及部分来不及转运的一般固废依托FAB9厂的固废站1（WR1）贮存，满足防渗漏、防雨淋、防扬尘的环保要求危险废物：委托具备相应资质的危废单位处置，涉及跨省转移的企业将办理跨省转移备案手续。湿刻废液、废光刻胶及稀释剂为液态危险废物，分别在SF1厂房内设置废液储罐。其他危险废物，固态的均采用袋装密封包装，废机油为桶装密封，液态废物和固态废物分类收集。本项目于FAB9厂西侧设立独立使用危废暂存间，用于储存沾染化学品废物（空桶、沾染废包装等）、废填料、废吸附剂、废汞灯、废铅酸电池和镉电池，废化学滤芯、废机油等。该危废暂存间的建筑面积约67.4m2，按双层堆放计，储存容量约107m3。危险废物存放区符合《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023)要求。生活垃圾：由环卫部门每天清运。（6）对废气、废水均经收集处理后达标排放，各类化学品和危险废物的储存和使用区域(依托的甲类库、乙类库、丙类库、危废站、固废站、有机废气处理设施区，SF1厂房的生产区、酸碱间、双氧水间、有机溶剂间、废有机溶剂间、腐蚀性气体间等)均为为一般防渗区，采取硬化混凝土地面并涂敷环氧层，防渗等级满足《环境影响评价技术导则地下水环境》（HJ610-2016）中一般防渗区防渗技术要求。甲类库、乙类库内，液态化学品包装桶均放置于托盘内。所有涉及液态危险物质区域均采取防腐、防渗、防淋溶措施，并在房间内、装卸区四周设置地沟，地沟容积按照至少满足收集范围内最大一个包装容积设计。地沟内配套设置集液坑，配有地坑泵或应急泵，可将收集的事故废水泵至相应的收集容器或废水系统。位于厂房内的所有液体化学品储罐均设有围堰，围堰容积按照设计规范不小于收集范围内最大规格储罐容积的1.1倍。围堰内设有提升泵，可将收集的事故废水泵至相应的收集容器或废水系统。厂区共设置1个污水排放口，设有自动监测装置和切换阀，一旦检测发现超标即切换阀门将废水泵至动力厂房内的事故池，待重新处理，避免超标废水外排。厂区共设置4个雨水分区，共5个雨水排放口，分别位于厂区西侧和东侧边界，每个雨水排放口均设有雨水截止阀，截止阀常关。仓库区域设有1个420m3应急事故水池，可收集各化学品仓库的泄漏物料、受污染消防水和受污染雨水，收集方式为重力流。动力厂房1内设有2个800m3事故池，一般情况下主要用于收集事故状态下不达标回流废水，当发生突发环境事件产生事故废水时，也可将围堰、地沟等处截流的事故废水（包括泄漏物料、受污染消防水和受污染雨水等）泵至该事故池，**处理站处理达标后排放，泵入废水将进行检测，若超出废水站处理能力，则考虑其他处理方式例如作为危废委外。仓库内各气瓶柜均连接应急排风管，每个房间均设置单独的应急排风系统，并设置有毒/腐蚀性气体、易燃易爆气体侦测器，如遇特殊情况发生气体泄漏，可通过应急排风管引至屋顶经应急处理装置（采用干式吸附装置）处理后排气口/筒排放。腐蚀性气体如氯气、二氧化硫、氨气等气瓶柜内或气体间内设置喷淋管。有毒有害、易燃易爆气体钢瓶均放置于气体房内的专用密闭微负压气瓶柜中，气瓶柜闭门时保持不低于100Pa负压，柜内的排风换气次数不低于300次/h。生产厂房一层的各气体间气瓶柜排气根据气体性质接入相应的中央废气处理系统；仓库各气体间气瓶柜排气则接入仓库配套的应急排风系统；特种气体间设置排风系统，并按负压设计；气体间采用防火隔墙相互隔离。针对有毒有害、易燃易爆气体在气瓶柜排风管、阀门箱排风管、工艺设备的排风管、气体间内等处均设置气体侦测器，侦测器位置根据气体理化性质设置在易积聚的位置，并设置多级报警限值。在气体监控室、可燃气体间、腐蚀/毒性气体间外安装有紧急切断按钮（EMO），紧急情况下用来切断气瓶柜/阀门箱的气体供应。当侦测器侦测到有气体泄漏时，气体探测系统（GDS）会发出指令，进行相应的联动，如声光报警，播放疏散广播，启动应急事故排风机，关断阀门等。气体阀门关闭设计如下：若侦测到的泄漏点位于阀门箱内，会关断其主阀，经过一段时间后，若泄漏仍然存在，上游的供气阀门（如气瓶柜）将被关断；气瓶柜内的气体泄漏会关断其相关阀门；房间内的气体泄漏会关断此房间的气瓶柜。所有的命令和报警信号都将在气体控制室内GDS/GMS系统的SCADA画面上显示，现场工作人员可据此采取进行适当的行动。惰性气体间设置氧气探测器。（7）企业成立**管理部门，建立环境应急管理组织指挥体系，负责防范及应对可能发生的各类突发环境事件。企业在各危险单元配备必要的应急物资，建立应对突**救援队伍。企业已重新修订突发环境事件应急预案并完成备案，（备案号：02-常-310115-2026-157-M）。因此，企业已落实原环评中提出的风险防范措施。（8）企业已按照规范预设采样口和采样平台。并将按照《报告表》要求落实环保设施的监控措施，加强管理，避免非正常工况发生，并落实环境管理、环境监测等各项要求，认真做好环保设施运行效果记录和日常监测。（9）该项目实施后企业新增废气总量指标为挥发性有机物0.1547吨/年；新增废水总量指标为化学需氧量10.3338吨/年、氨氮0.1582吨/年。（10）企业本项目第一二阶段目前主体工程基本已经建成，施工过程中同步开展环境监理工作，施工过程符合环保要求。
（1）碱性废气和酸性废气排气筒高度变化：因 SF1 厂房建筑高度发生调整，本项目碱性废气排气筒和酸性废气排气筒的高度由 40m 调整至 45m；（2）危废暂存间位置和面积调整：由 FAB9 厂的 WR1 一层 40m2 调整为位于FAB9 厂危废站处 67.4m2；（3）增加环境风险防范措施：在 SF1 厂房 1F 废有机溶剂间增设 110.5m3 废光刻胶及稀释剂应急备用罐；（4）SF1 厂房-1F 废水间废水收集罐变动：2 座酸性废水收集罐容积由 10m3 增加至 12m3，同时增加 15m3洗涤塔废水收集罐；（5）企业类比一阶段生产设备工艺废气排放量，核算三阶段建成后生产设备产生的工艺酸性废气量和工艺碱性废气量小于环评预估量，因此三阶段建成后，企业酸性废气治理设施由 4 用 1 备减为 4 用，碱性废气治理设施由 4 用 1 备减为 3 用；其运行方式调整为正常工况下，酸性废气治理设施和碱性废气治理设施开启负荷分别为设计处理能力的 70%和 65%，当其中一套治理设施出现故障时，其余治理设施工况负荷均提高至满负荷，运行方式调整后非正常工况下仍能满足废气处理要求；（6）基于碱性废气治理设施和酸性废气治理设施数量的减少，同步减少碱性废气排气筒和酸性废气排气筒数量，碱性废气排气筒数量由 5 根（4 用 1 备）减为 3 根（3 用），酸性废气排气筒数量由 5 根（4 用 1 备）减为 4 根（4 用）；

其他

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

（三）在建设中，如果项目的内容、性质、规模、地点、采用的生产工艺或防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动的，应重新报批建设项目环评文件。（四）项目建设应严格执行配套建设的环保设施与主体工程同时设计、同时施工、同时投产使用的环保“三同时”制度。你单位应当按照环境信息公开有关规定，主动公开建设项目环境信息，接受社会监督。项目建成后，你单位应当按照竣工环境保护验收的有关规定，对配套建设的环境保护设施进行验收。（五）按照排污许可管理有关规定，纳入排污许可管理的单位，应当在启动生产设施或者在实际排污之前申请或变更排污许可证。	（三）本项目部分建设内容发生变化，对照《污染影响类建设项目重大变动清单（试行）》（环办环评函[2020]688号），项目变动内容未构成重大变动。（四）本项目目前主体工程基本已经建成，项目按照相关要求进行施工期环保措施落实情况的信息公开，各项环保设施在建设过程中均落实“三同时”的要求。本项目建成投产运行后，建设单位将按照已批复环评文件内容及本次非重大内容，开展项目竣工环保验收工作。（五）企业已经按照国家及市的要求重新申领排污许可证（证书编号：**）。
无

3、污染物排放量

污染物现有工程（已建成的）本工程（本期建设的）总体工程总体工程（现有工程+本工程）排放方式实际排放量实际排放量许可排放量 “以新带老”削减量区域平衡替代本工程削减量实际排放总量排放增减量废水水量（万吨/年） COD（吨/年）氨氮（吨/年）总磷（吨/年）总氮（吨/年）废气气量（万立方米/年）二氧化硫（吨/年）氮氧化物（吨/年）颗粒物（吨/年）挥发性有机物（吨/年）铬及其化合物(吨/年)

33.664	36.8359	33.664	33.664
0	0	0	0
0	0	0	0
0	0	0	0
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4、环境保护设施落实情况

表1 水污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

1	酸碱废水收集罐和含氨废水收集罐	企业与中芯**签订的废水接纳协议值	酸碱废水收集罐、含氨废水收集罐、酸性废气洗涤塔废水收集罐	于2026年1月21日至2026年1月22日开展验收监测
2	FAB9厂废水处理设施	pH、TOC、COD、氨氮、总氮、SS、总磷、氟化物满足《半导体行业污染物排放标准》(DB31/374-2024)表1间接排放标准限值；BOD5、动植物油满足《污水综合排放标准》(DB31/199-2018)表2三级标准限值	依托FAB9厂现有废水处理设施和废水排放口	于2026年1月21日至22日开展验收监测

表2 大气污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

1	碱性废气处理系统	氨的浓度执行市《半导体行业污染物排放标准》（DB31/374-2024）限值，氨的排放速率和臭气浓度执行市《恶臭(异味)污染物排放标准》(DB31/1025-2016)限值	依托一阶段以建设的3套酸洗塔，3根碱性废气排气口	于2026年01月19日至2026年2月3日开展验收监测
2	酸性废气处理系统	硫酸雾、氟化氢、氯化氢及氯气排放浓度均能满足《半导体行业污染物排放标准》（DB31/374-2024）表2限值要求，氟化物和铬及其化合物（以铬计）排放浓度和速率同时满足《大气污染物综合排放标准》（DB 31/933-2015）表1限值要求	依托一阶段以建设的3套碱洗塔和3根酸性废气排放口，本次**1套酸洗塔和1根酸性废气排放口	于2026年1月19日至2月3日开展验收监测
3	含氯干刻废气处理系统	氯气执行市《半导体行业污染物排放标准》（DB31/374-2024）限值，铬及其化合物执行市《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）限值	依托一阶段以建设的治理设施，为干式吸附POU+高效过滤器	于2026年1月19日至2026年1月20日开展验收监测
4	有机废气处理系统	VOCs、非甲烷总烃、颗粒物、二氧化硫、氮氧化物执行市《半导体行业污染物排放标准》（DB31/374-2024）限值。异丙醇、丙酮执行市《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）限值	依托FAB9厂P1厂房有机废气处理系统，已建3用2备	于2026年1月19日至2月3日开展验收监测

表3 噪声治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

项目选用低噪声设备，采取综合性降噪、减振措施

中芯**西侧厂界噪声应符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准，东、南、北侧厂界应符合4类标准

按环评要求选用低噪声设备，采取综合性降噪、减振措施

分别于2026年1月21日和22日开展验收监测，监测厂界为中芯**的四周厂界

表4 地下水污染治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

应根据《报告表》要求，落实土壤、地下水防渗措施建设和维护，避免对地下水造成影响。

已按《报告表》要求落实，对废气、废水均经收集处理后达标排放，各类化学品和危险废物的储存和使用区域(依托的甲类库、区，采取硬化混凝土地面并涂敷环氧层，防渗等级满足《环境影响评价技术导则地下水环境》（HJ610- 2016）中一般防渗区防渗技术要求。乙类库、丙类库、危废站、固废站、有机废气处理设施区，** SF1 厂房的生产区、酸碱间、双氧水间、废有机溶剂间、腐蚀性气体间等)均为为一般防渗

表5 固废治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

应按《中华人民**国固体废物污染环境防治法》与**市有关规定分类收集各类固体废物并分别妥善处理处置，危险废物存放区符合《危险废物贮存污染控制标准》（ GB18597-2023 ）要求，危险废物委托有资质单位处理；一般工业固废贮存区需满足相应防渗漏、防雨淋、防扬尘等环境保护要求。

一般工业固废：原则上日产日清，保税品及部分来不及转运的一般固废依托FAB9厂的固废站1（WR1）贮存，满足防渗漏、防雨淋、防扬尘的环保要求危险废物：委托具备相应资质的危废单位处置，涉及跨省转移的企业将办理跨省转移备案手续。湿刻废液、废光刻胶及稀释剂为液态危险废物，分别在SF1厂房内设置废液储罐。其他危险废物，固态的均采用袋装密封包装，废机油为桶装密封，液态废物和固态废物分类收集。本项目于FAB9厂西侧设立独立使用危废暂存间，用于储存沾染化学品废物（空桶、沾染废包装等）、废填料、废吸附剂、废汞灯、废铅酸电池和镉电池，废化学滤芯、废机油等。该危废暂存间的建筑面积约67.4m2，按双层堆放计，储存容量约107m3。危险废物存放区符合《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023)要求。生活垃圾：由环卫部门每天清运。

表6 生态保护设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表7 风险设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

应根据《报告表》要求落实各项风险防范措施并确保达到预期效果，加强日常管理，防止风险事故发生，及时编制企业突发环境事件应急预案并备案。

已根据《报告表》要求落实各项风险防范措施并确保达到预期效果，加强日常管理，防止风险事故发生，，企业已重新修订突发环境事件应急预案并完成备案，（备案号：02-常-310115-2026-157-M）。因此，企业已落实原环评中提出的风险防范措施。

5、环境保护对策措施落实情况

依托工程