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新建年产晶圆凸块43.2万片生产项目
项目详情
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400-688-2000
1、建设项目基本信息
企业基本信息
| **** | 建设单位代码类型：|
| 913********042566E | 建设单位法人：郑瑞俊 |
| 徐恒伟 | 建设单位所在行政区划：**省**市**区 |
| ****开发区金荣路19号 |
建设项目基本信息
| **年产晶圆凸块43.2万片生产项目 | 项目代码：|
| 建设性质： | |
| 2021版本:080-电子器件制造 | 行业类别（国民经济代码）：C3973-C3973-集成电路制造 |
| 建设地点： | **省**市**区 ****开发区金荣路19号 |
| 经度:119.****95000 纬度: 32.****46944 | ****机关：****环境局 |
| 环评批复时间： | 2022-04-15 |
| 扬环审批〔2022〕05-23号 | 本工程排污许可证编号：**** |
| 2025-04-17 | 项目实际总投资(万元)：700 |
| 80 | 运营单位名称：**** |
| 913********042566E | 验收监测(调查)报告编制机构名称：******公司 |
| ****0113MA1Q4X7J4E | 验收监测单位：**省百****公司 |
| 913********855916L | 竣工时间：2026-04-01 |
| 调试结束时间： | |
| 2026-07-06 | 验收报告公开结束时间：2026-07-31 |
| 验收报告公开载体： | http://www.zhuohuan-ep.cn/equ/50_749.html |
2、工程变动信息
项目性质
| 利用位于 扬****开发区金荣路19号现有厂房，采用清洗、光 刻、电镀(仅限于含氰镀金)、蚀刻等主要生产工艺，生产应用于 车载和5G 等高端芯片部件，项目建成后，可形成年产晶圆凸块 43.2万片的生产能力，原有晶圆凸块中低端产品停产，其他产品 保持不变。 | 实际建设情况：利用位于扬****开发区金荣路19号现有厂房，采用清洗、光 刻、电镀(仅限于含氰镀金)、蚀刻等主要生产工艺，生产应用于 车载和5G 等高端芯片部件，项目建成后，可形成年产晶圆凸块 43.2万片的生产能力，原有晶圆凸块中低端产品停产，其他产品 保持不变。 |
| 无 | 是否属于重大变动：|
规模
| 建设年产晶圆凸块 43.2万片的生产能力，原有晶圆凸块中低端产品停产，其他产品 保持不变。 | 实际建设情况：建成年产晶圆凸块 43.2万片的生产能力，原有晶圆凸块中低端产品停产，其他产品 保持不变。 |
| 无 | 是否属于重大变动：|
生产工艺
| 晶圆经过溅射钛钨金、上光阻、曝光显影、电镀金、去光阻、蚀刻、韧化等工序 | 实际建设情况：晶圆经过溅射钛钨金、上光阻、曝光显影、电镀金、去光阻、蚀刻、韧化等工序 |
| 无 | 是否属于重大变动：|
环保设施或环保措施
| 本项目 工****处理站处理后，接****处理厂 处理。电镀工段产生的含氰酸性废气经二级喷淋碱液氧化处理后通过3#排气筒（DA003）排放，排气筒高度为25m。本项目不含氰酸性废气主要来自蚀刻工段，依托现有一级碱吸收（氢氧化钠溶液）处理设施后通过1#排气筒（DA001）排放，排气筒高度为15m。本项目有机废气主要来自晶圆凸块生产工序中上光阻、曝光显影、去光阻、晶圆擦拭工段，经现有“水喷淋+二级活性炭吸附”治理措施后通过2#排气筒（DA002）排放，排放高度为15m。 | 实际建设情况：本项目废水主要为晶圆凸块生产排水、纯水制备过程中排水、废气处理废水。经对应的废水治理措施处理后，****处理厂集中处理。电镀工段产生的含氰酸性废气经二级喷淋碱液氧化处理后通过3#排气筒（DA003）排放，排气筒高度为25m。本项目不含氰酸性废气主要来自蚀刻工段，依托现有一级碱吸收（氢氧化钠溶液）处理设施后通过1#排气筒（DA001）排放，排气筒高度为15m。本项目有机废气主要来自晶圆凸块生产工序中上光阻、曝光显影、去光阻、晶圆擦拭工段，经现有“水喷淋+二级活性炭吸附”治理措施后通过2#排气筒（DA002）排放，排放高度为15m。 |
| 无 | 是否属于重大变动：|
其他
| 按“**化、减量化、无害化”原则落实各类固体废物的 收集、处置和综合利用措施。危险废物应按规定委托具备危险废 物处置资质的单位处置，并按规定办理危险废物转移手续。落实《报告表》提出的环境风险防范和应急措施，制定突发环境事件应急预案并报******执法大队备案， 储备应急器材物资，加强应急演练，风险隐患排查，确保环境安全。 | 实际建设情况：废金属靶材、废原料包装、废晶圆盒统一收集外售；废有机溶剂（废光阻剂及其废清洗液、废去光阻剂）、废电镀液、废蚀刻液、BUMP废水处理系统污泥、废树脂、废活性炭、废化学品原料包装委托****、光洋新材料****公司处置。企业已落实《报告表》提出的环境风险防范和应急措施，编制突发环境事件应急预案，并于2023年9月完成备案。已储备应急器材物资，加强应急演练，风险隐患排查，确保环境安全。 |
| 无 | 是否属于重大变动：|
3、污染物排放量
| 0 | 43.8 | 54.3074 | 0 | 0 | 43.8 | 43.8 | |
| 0 | 47.085 | 52.4414 | 0 | 0 | 47.085 | 47.085 | |
| 0 | 1.222 | 1.4021 | 0 | 0 | 1.222 | 1.222 | |
| 0 | 0.0569 | 0.1793 | 0 | 0 | 0.057 | 0.057 | |
| 0 | 2.1068 | 2.2538 | 0 | 0 | 2.107 | 2.107 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0.0432 | 0.7395 | 0 | 0 | 0.043 | 0.043 | / |
4、环境保护设施落实情况
表1 水污染治理设施
| 1 | BUMP废水处理系统 | **省《半导体行业污染物排放标准》（DB32/3747-2020） | 生产废水经BUMP废水处理系统处理后，接入市政污水管网，最终排****处理厂集中处理。企业废水总排口排放标准执行**省《半导体行业污染物排放标准》（DB32/3747-2020）中表1间接排放限值。 | 验收期间：厂区废水总排口COD、SS、氨氮、总氮、氰化物、TOC排放浓度符合接管标准。 |
表2 大气污染治理设施
| 1 | 一级碱吸收+15m排气筒DA001 | **省 《半导体行业污染物排放标准》( DB32/3747-2020) | 本项目不含氰酸性废气主要来自蚀刻工段，依托现有一级碱吸收（氢氧化钠溶液）处理设施后通过1#排气筒（DA001）排放，排气筒高度为15m。 | 建设项目硫酸雾有组织排放满足**省《半导体行业污染物排放标准》（DB32/3747-2020）中大气污染物浓度限值。 | |
| 2 | 水喷淋+二级活性炭吸附+15m排气筒DA002 | **省《半导体行业污染物排放标准》（DB32/3747-2020） | 本项目有机废气主要来自晶圆凸块生产工序中上光阻、曝光显影、去光阻、晶圆擦拭工段，经现有“水喷淋+二级活性炭吸附”治理措施后通过2#排气筒（DA002）排放，排放高度为15m。 | 验收监测期间，建设项目非甲烷总烃有组织排放满足**省《半导体行业污染物排放标准》（DB32/3747-2020）中大气污染物浓度限值。 | |
| 3 | 二级喷淋碱液氧化+25m排气筒DA003 | **省《半导体行业污染物排放标准》（DB32/3747-2020） | 电镀工段产生的含氰酸性废气经二级喷淋碱液氧化处理后通过3#排气筒（DA003）排放，排气筒高度为25m。 | 验收监测期间：建设项目氰化氢满足**省《半导体行业污染物排放标准》（DB32/3747-2020）中大气污染物浓度限值。 |
表3 噪声治理设施
| 1 | 采用优质低噪声设备，并采用做减震基础、厂房隔声等措施 | 《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008) | 采用优质低噪声设备，并采用做减震基础、厂房隔声等措施 | 验收监测期间：公司东、南、西、北厂界噪声排放符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB 12348 -2008)中的3类标准。 |
表4 地下水污染治理设施
表5 固废治理设施
表6 生态保护设施
表7 风险设施
5、环境保护对策措施落实情况
依托工程
| 本项目不含氰酸性废气主要来自蚀刻工段，依托现有一级碱吸收（氢氧化钠溶液）处理设施后通过1#排气筒（DA001）排放，排气筒高度为15m。本项目有机废气主要来自晶圆凸块生产工序中上光阻、曝光显影、去光阻、晶圆擦拭工段，经现有“水喷淋+二级活性炭吸附”治理措施后通过2#排气筒（DA002）排放，排放高度为15m。 | 验收阶段落实情况：本项目不含氰酸性废气主要来自蚀刻工段，依托现有一级碱吸收（氢氧化钠溶液）处理设施后通过1#排气筒（DA001）排放，排气筒高度为15m。本项目有机废气主要来自晶圆凸块生产工序中上光阻、曝光显影、去光阻、晶圆擦拭工段，经现有“水喷淋+二级活性炭吸附”治理措施后通过2#排气筒（DA002）排放，排放高度为15m。 |
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环保搬迁
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
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区域削减
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
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生态恢复、补偿或管理
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
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功能置换
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
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其他
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
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6、工程建设对项目周边环境的影响
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7、验收结论
| 1 | 未按环境影响报告书（表）及其审批部门审批决定要求建设或落实环境保护设施，或者环境保护设施未能与主体工程同时投产使用 |
| 2 | 污染物排放不符合国家和地方相关标准、环境影响报告书（表）及其审批部门审批决定或者主要污染物总量指标控制要求 |
| 3 | 环境影响报告书（表）经批准后，该建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动，建设单位未重新报批环境影响报告书（表）或环境影响报告书（表）未经批准 |
| 4 | 建设过程中造成重大环境污染未治理完成，或者造成重大生态破坏未恢复 |
| 5 | 纳入排污许可管理的建设项目，无证排污或不按证排污 |
| 6 | 分期建设、分期投入生产或者使用的建设项目，其环境保护设施防治环境污染和生态破坏的能力不能满足主体工程需要 |
| 7 | 建设单位因该建设项目违反国家和地方环境保护法律法规受到处罚，被责令改正，尚未改正完成 |
| 8 | 验收报告的基础资料数据明显不实，内容存在重大缺项、遗漏，或者验收结论不明确、不合理 |
| 9 | 其他环境保护法律法规规章等规定不得通过环境保护验收 |
| 不存在上述情况 | |
| 验收结论 | 合格 |
温馨提示
1.该项目指提供国家及各省发改委、环保局、规划局、住建委等部门进行的项目审批信息及进展，属于前期项目。
2.根据该项目的描述，可依据自身条件进行选择和跟进，避免错过。
3.即使该项目已建设完毕或暂缓建设，也可继续跟踪，项目可能还有其他相关后续工程与服务。
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