高真空镀膜系统采购公告

是否接受进口

拒绝进口

品牌

无推荐品牌

型号

无推荐型号

技术规格及参数

1.底盘结构：1.1采用方管焊接式框架，方管壁厚3-4mm，外观要求白色喷漆处理，围板厚度1-2mm，防止生锈，配备可以打开的磁吸柜门；1.2底部带有轮子，可推动，并带有可调节高度的支脚。1.3带有机械旋转手臂，可以多角度调节操作界面。2.基片架结构：2.1基片盘采用嵌入式结构，标配可搭载1片100×100 mm基片，并可兼容更换为多片式基片托盘（向下兼容小尺寸基片），带水冷。基片托盘配备独立水冷通道，冷却水流量可调，进水温度控制在5~25℃范围；2.2电机驱动实现连续可调速旋转，转速范围0~30转/分钟，转速控制精度±1转/分钟；托盘与驱动轴之间通过磁流体旋转密封连接，磁流体密封寿命不低于10000小时，静态漏率≤1×10-9 Pa﹒m3/s。3.蒸发源：3.1配置2组舟源，材质及结构应支持金属、有机、无机等多类材料蒸镀，蒸发源舟材质可选钼舟/钽舟/氧化铝舟等；每组蒸发源均配备冷却系统；源与基片的垂直距离≥ 350 mm。3.2配套1台舟源蒸发电源，功率≤1.5 KW，可调节升温上限达1500 ℃，电流控制精度±0.1 A，具备过流、过温双重保护功能。3.3另配置2组低温束源，适用于有机材料蒸镀，源与基片的垂直距离≥350 mm。配套2台可编程直流电源，升温上限600 ℃，电流控制精度±0.1 A，支持程序化升温曲线设定（至少支持5段程序）4.自动化控制软件：4.1采用工控机控制模式，相关的操作均在工控机界面完成；4.2工控机处理器不低于Intel i5第7代（或同等性能AMD处理器），运行内存不低于8GB，固态硬盘容量不低于128GB，操作系统为正版Windows 10及以上版本；显示器分辨率1920×1080，，配备VGA与HDMI双接口，通过机械手臂固定于设备框架。4.3软件须具备以下功能：①材料工艺参数库管理（支持存储不少于20种材料的工艺配方，含蒸发温度曲线、膜厚设定值、旋转速率等参数）；②一键自动蒸镀功能，实现抽真空、电源升降功率控制、基片旋转、多源材料切换、挡板开关等全流程自动化操作，无需人工干预；（需提供设备制造商官网资料截图或产品说明书等资料。竞采响应时提供）③具备实验数据自动记录及导出功能（导出格式支持Excel/CSV）；④具备多级用户权限管理（管理员/操作员分级）；⑤具备联锁保护逻辑（真空未达标时蒸镀源无法启动等安全联锁）。5.膜厚控制系统：5.1配置2个标准双晶振传感器，水冷式结构，安装于基片盘附近，晶振片使用寿命不低于20小时（以Ag材料常规工艺条件计）；5.2膜厚控制软件集成在设备控制软件系统中，膜厚速率显示精度在±0.01 /s。支持密度、Z-Ratio、声阻抗等材料工艺参数库预设及自定义输入，可存储不少于30种常用材料的密度及Z-Ratio参数；5.3以Ag材料为验证条件，膜厚均匀性≤ ±5%（基片范围内多点测试），膜厚重复性≤ ±5%（连续3次以上镀膜测试）。（需提供薄膜均匀性实测数据证明。竞采响应时提供）6.真空室：6.1方箱型真空腔体材质为316L不锈钢防腐腔体，内部尺寸≤300 mm×300 mm×530 mm；腔体内部装有基础结构件、挡板固定装置、蒸发电极、真空泵接口、样品盘等部件，所有内部结构件材质须为不锈钢或耐高温合金，禁止使用易挥发有机材料。6.2真空腔体配备两个门体：前门为移门结构，配备直线导轨及滑块，可实现左右开启关闭，并预留与手套箱对接的法兰接口，确保对接后腔体处于氮气或惰性气体保护氛围；后门为旋转门结构，通过旋转轴实现开关，主要用于内部维护检修，门体配备安全联锁开关（门开启时设备自动断电保护）；后门配置长方形观察窗（钢化玻璃材质，耐真空压差），配置腔体外部LED照明灯，便于观察腔体内部状况。6.2腔体极限真空优于3.5×10-5 Pa，从常压到5×10-4 Pa不超过15 min（充氮气保护）系统停泵关机12小时后，真空度≤5Pa。该系统可以在不停分子泵的前提下，对腔体内部材料添加、更换，也可以取放基片。7.真空系统：7.1前级泵的抽速不低于24 m3/h；（需提供设备制造商官网资料截图或产品说明书等资料。竞采响应时提供）7.2主泵采用防腐型分子泵，抽速≥700 L/s，轴承类型为陶瓷球轴承或磁悬浮轴承，分子泵启动至额定转速时间≤10 min，具备过热、过载自动保护及断电自然停机保护功能；（需提供设备制造商官网资料截图或产品说明书等资料。竞采响应时提供）7.3真空室配真空计，测量范围为大气压至10-5 Pa；真空管路材质为不锈钢，接口采用KF/CF标准法兰，密封圈材质为氟橡胶（Viton）或全氟橡胶（Kalrez），耐温范围≥200℃。8 安全防护8.1设备须配备紧急停止按钮（红色蘑菇头，位置醒目易操作）；8.2配备漏电保护装置及可靠接地端；控制柜内电气元件须符合国家电气安全相关标准，投标人须提供设备电气安全检测报告（如CQC认证证书或第三方电气安全检测报告，竞采响应时提供）；8.3蒸发源加热区域须配备过温报警及联锁断电保护。

质保期

1年质保

售后要求

1.整机免费质保期限12 个月，质保起算节点以设备完**装调试、甲乙双方共同出具验收合格报告当日为准。2.质保期内非人为故障产生的设备维修服务全部免费；因设备自身质量问题需更换零部件（易耗易损件除外），所有费用由供方承担。3.售后响应时效：故障报修后 2 小时内完成远程技术对接处置，如需现场维修，工程师 48 小时抵达现场开展检修作业；供方免费提供设备现场安装调试、操作人员实操技能培训，长期保障原厂正品备件供给，并持续提供工艺技术咨询支撑服务。