开启全网商机
登录/注册
南昌实验室2026年度政府采购意向公告(第2批)
招标详情
下文中****为隐藏内容，仅对千里马会员开放，如需查看完整内容请
「注册/登录」或 拨打咨询热线：
400-688-2000
相关单位：
***********公司企业信息
为便****政府采购信息，根据《****政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将****2026年度政府采购意向公告(第2批)采购意向公开如下：
| 1 | ********中心工艺设备采购项目 |
采购内容：全自动双腔过氧机
采购数量：1台
采购内容：深刻硅全自动刻蚀机
采购数量：1台
采购内容：全自动去胶剥离机（Liftoff）
采购数量：1台
采购内容：全自动快速退火炉（RTP）
采购数量：1台
采购内容：电子显微分光膜厚仪
采购数量：1台
主要功能或目标：本次采购设备旨在建立完整的4-8英寸晶圆芯片制造工艺线。核心功能包括：晶圆快速退火激活（RTP）、干法/湿法刻蚀、光刻胶去除与剥离、精密膜厚测量、晶圆表面缺陷全检（AOI/PL/IR多通道）、晶圆边缘修整与划片切割、晶圆清洗腐蚀及自动化上下料等。目标为实现芯片制造全流程关键工序的自动化、高精度、高良率量产，支撑Micro-LED等下一代显示技术的研发与产业化。
需满足的要求：设备须兼容4-8英寸晶圆，核心工艺指标满足论证报告要求（如RTP温控精度±1℃、AOI检出率≥99%等）； 设备稼动率≥95%，破片率≤1/5000，关键部件MTBF≥500小时； 须配备全自动上下料机械手，支持SECS/GEM协议对接MES系统； 供应商负责安装调试、操作培训及质保期内维护保养服务。
|
1,054.000000 | 2026年09月 | 暂无 |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
****
2026年08月07日
招标进度跟踪
2026-08-07
招标预告
南昌实验室2026年度政府采购意向公告(第2批)
当前信息
标书代写
招标项目商机
暂无推荐数据
400-688-2000
欢迎来电咨询～
