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南昌实验室2026年度政府采购意向公告(第3批)

预告-招标预告

江西 -南昌

发布时间： 2026年08月07日

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关键信息

实验室政府采购公告

招标详情

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相关单位：

***********公司企业信息

为便****政府采购信息，根据《****政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将****2026年度政府采购意向公告(第3批)采购意向公开如下：

序号采购项目名称采购需求概况预算金额(万元) 预计采购时间备注

1	********中心工艺设备采购项目	采购内容：LED晶圆级巨量检测系统（晶圆AOI）采购数量：1台采购内容：LED晶圆级巨量检测系统（芯片AOI）采购数量：1台采购内容：无图形衬底/外延片缺陷检测设备采购数量：1台采购内容：全自动刮边机采购数量：1台采购内容：全自动撕金机采购数量：1台采购内容：全自动贴片倒膜一体机采购数量：1台采购内容：全自动计数打贴标撕标一体机采购数量：1台主要功能或目标：本次采购设备旨在建立完整的4-8英寸晶圆芯片制造工艺线。核心功能包括：晶圆快速退火激活（RTP）、干法/湿法刻蚀、光刻胶去除与剥离、精密膜厚测量、晶圆表面缺陷全检（AOI/PL/IR多通道）、晶圆边缘修整与划片切割、晶圆清洗腐蚀及自动化上下料等。目标为实现芯片制造全流程关键工序的自动化、高精度、高良率量产，支撑Micro-LED等下一代显示技术的研发与产业化。需满足的要求：设备须兼容4-8英寸晶圆，核心工艺指标满足论证报告要求（如RTP温控精度±1℃、AOI检出率≥99%等）；设备稼动率≥95%，破片率≤1/5000，关键部件MTBF≥500小时；须配备全自动上下料机械手，支持SECS/GEM协议对接MES系统；供应商负责安装调试、操作培训及质保期内维护保养服务。	1,091.500000	2026年09月	暂无
2	********中心工艺设备采购项目	采购内容：铜自动腐蚀机采购数量：1台采购内容：全自动单片清洗刷片一体机采购数量：1台采购内容：全自动磷酸+ITO腐蚀机采购数量：1台采购内容：全自动SPM+HCl清洗机采购数量：1台采购内容：甩干机采购数量：1台采购内容：全自动晶圆合片机采购数量：1台采购内容：光刻站OCR识别理片机采购数量：1台采购内容：环形切割机采购数量：2台采购内容：双轴全自动砂轮划片机采购数量：2台主要功能或目标：本次采购设备旨在建立完整的4-8英寸晶圆芯片制造工艺线。核心功能包括：晶圆快速退火激活（RTP）、干法/湿法刻蚀、光刻胶去除与剥离、精密膜厚测量、晶圆表面缺陷全检（AOI/PL/IR多通道）、晶圆边缘修整与划片切割、晶圆清洗腐蚀及自动化上下料等。目标为实现芯片制造全流程关键工序的自动化、高精度、高良率量产，支撑Micro-LED等下一代显示技术的研发与产业化。需满足的要求：设备须兼容4-8英寸晶圆，核心工艺指标满足论证报告要求（如RTP温控精度±1℃、AOI检出率≥99%等）；设备稼动率≥95%，破片率≤1/5000，关键部件MTBF≥500小时；须配备全自动上下料机械手，支持SECS/GEM协议对接MES系统；供应商负责安装调试、操作培训及质保期内维护保养服务。	1,163.900000	2026年09月	暂无