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三源等离子体增强原子层沉积系统 (XJD2026080700005) 采购公告

公告-招标公告

陕西 -西安

发布时间： 2026年08月07日

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等离子采购公告

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三源等离子体增强原子层沉积系统 (****) 采购公告

发布时间：2026-08-07 12:36:57

项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式签约时间要求到货时间要求预算总价币种收货地址现场踏勘供应商资质要求

三源等离子体增强原子层沉积系统	****
2026-08-07 12:36:57	2026-08-11 12:00:01
****	货到安装、调试、验收合格后，付全款。
发布竞价结果后7天内签订合同	发布竞价结果后60天内送达
	人民币
省市区**

无

采购清单 1

采购商品采购数量计量单位附件

三源等离子体增强原子层沉积系统

1.00

无

品牌型号预算单价规格参数售后服务

不限

一、采购内容包含：原子层沉积系统MNT-S200-L3（1台）二、技术要求 1 配置及组成原子层沉积设备至少包含以下配置 1) 1套热型原子层沉积系统主机 2) 1套8英寸反应腔 3) 1套常温液源输送系统 4) 2套加热源管路 5) 1套真空系统 6) 1套备品备件 2 设备主机规格 1) 适用于8英寸以及小尺寸样品薄膜沉积； 2) 设备本底真空优于3 Pa，设备漏率≤ 5×10-10 Pa﹒m3/s； 3) 控制方式：PLC+触摸； 4) 多种沉积模式：快速模式、充分暴露模式和多元掺杂模式； 3 反应腔系统 1) 反应腔材质为316L不锈钢，底座整块材料加工，腔体表面抛光后电解； 2) 密封方式：采用燕尾槽密封并配备耐腐蚀密封圈； 3) 样品台尺寸：标准8英寸腔体，直径为200 mm； 4) 样品台加热温度最高可达400℃，采用PID控制方式，控制精度为±1℃； 5) 反应腔配备自动充气及过压保护功能； 4 前驱体源输送系统 1) 常温源1路，加热液源2路； 2) 前驱体输送管路加热温度范围RT-250℃，控制精度±1℃； 3) 常温源：配备ALD专用阀门、源手动阀、不锈钢源瓶(50 mL)； 4) 加热源：配备ALD专用阀门、源手动阀、不锈钢源瓶(50 mL)，源瓶温度范围RT-200℃； 5) 管路及接头均采用316 EP级电解抛光不锈钢材料，所有气体管路连接处采用金属VCR密封；载气管路采用N2或者Ar气体，通过MFC控制；配备惰性气体自清洗系统，在控制界面中可以设置自动清洗的次数。 5 真空系统： 1) 真空泵抽速不低于20 m3/h； 2) 真空测量：配备进口压力传感器，检测范围：5*10-4-1000 mbar； 3) 真空抽气管道可以烘烤至150℃，且真空泵前级配置热阱，温度范围RT-300℃，控制精度±1℃； 3) 样品台尺寸：标准8英寸腔体，直径为200 mm； 4) 样品台加热温度最高可达400℃，采用PID控制方式，控制精度为±1℃； 5) 反应腔配备自动充气及过压保护功能； 6 控制系统 1) 采用高稳定性的PLC+工业触摸屏方式；触摸屏尺寸不小于15.6 英寸； 2) PLC采用工业以太网控制方式，支持灵活扩展DeviceNet、CANopen、PROFIBUS DP 等通信方式； 3) 系统可实现配方编辑、保存、读取等功能；ALD阀门及管路具备自动排空和清洗功能； 4) 系统设有高级界面，可进行温度PID参数自整定、前驱体标签修改等； 5) 系统可实时监测动力气体压力值、系统压力值、加热状态、阀门开关状态和镀膜进度，当发生异常时触发报警并做出响应，报警日志可进行回看； 7 验收指标：厂家须提供氧化铝薄膜的标准工艺配方，前驱体为三甲基铝+水，按以下内容进行现场制备与验收：薄膜均匀性：在8英寸晶圆上沉积 300cycle氧化铝，以晶圆上5个均匀分散点（上、下、左、右、中心5点，边缘5 mm除外）进行椭偏仪测试膜厚，8英寸晶圆上薄膜不均匀性≤2%。 8 其他伴随服务 1) 提供备品备件一套、操作说明书1套。 2) 质保期1年，软件终身免费升级； 3) 设备生产过程符合 ISO9001 质量管理体系认证要求。

交付、质保及售后（一）交货期：2个月交付地点：买方指定地点（二）安装调试与技术培训供货商负责仪器设备的安装、调试及完成后的现场培训，须提供完整的设备操作、保养说明书、系统操作手册，安排专业人员完**装调试、技术支持，为买方单位提供设备的正常使用、维护保养、故障分析排除、操作安全及紧急处理程序等现场培训，确保买方相关人员熟练掌握设备安全操作和正确使用的技能。（三）质保及售后 1. 质保期1年。 2. 提供系统发生故障后24小时内给予答复，紧急问题在48小时内到达现场给予售后服务。 3. 保修期结束后，实行终身维修服务，软件终身升级。 4. 技术服务工程师为用户提供技术支持。用户可以通过各种联络工具，****公司的各种咨询。