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中山大学化学工程与技术学院热蒸发真空镀膜设备采购项目

公告-招标公告

广东 -广州

发布时间： 2026年08月07日

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摘要信息

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关键信息

大学化学工程学院镀膜

招标详情

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相关单位：

***********公司企业信息

| 项目概况

采购类型	采购
项目编号	****
项目名称	********学院热蒸发真空镀膜设备采购项目
申购主题	热蒸发真空镀膜设备
项目类型	货物采购	项目预算
最高限价	480,000.00(人民币)
报名及响应开始时间	2026-08-07 17:53	报名及响应结束时间	2026-08-13 09:00
采购单位	****
经办人	王老师	经办人电话	****5092
期望收货时间	合同签订后90天内交货
是否送货	是	送货地址	省市******校区海琴5号631
电子签章	本项目需要使用CA签字 CA操作手册下载
备注	1、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价。 2、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价时应分别报价，境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物采购合同和国内采购合同。 3、**学校不收取任何费用，外贸代理费由供应商支付。4、本项目需要使用CA证书，请供应商根据指引（http://bidding..cn/article/4902）提前办理CA证书。 5、技术参数中如标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致报价无效。6、如为进口免税报价，报价产品或报价产品的原产国属委员会公告的加征关税范围的，该产品的评审价=[供应商的免税报价×（1+本项目通知磋商谈判开始时间**委员会公告的加征关税税率）]，如高于项目最高限价/预算价，则报价无效。7、项目评审时，如有属于异常低价报价的情形（见报价须知），评审小组将启动异常低价报价审查程序。电子标服务

| 采购明细

1 采购设备	热蒸发真空镀膜设备
数量	1台
参考品牌

“热蒸发真空镀膜设备”技术要求

序号技术要求内容评分等级是否星号条款是否需要附件说明

1	1、▲真空性能：极限真空可达3×105Pa；设备漏率≤6.7×108PaL/S；工作真空可达5×104Pa，从大气抽到工作真空耗时＜20 分钟；系统停机保压 12 小时后真空度≤2Pa	非常重要	否	是
2	2、▲样品系统：支持样品尺寸 30×30mm；配置自动掩膜圆盘样品架，可放置 5 片基片、预留 15 个掩膜安装位；样品架调速范围 0~30 转 / 分，标准镀膜转速 25 转 / 分；样品架与蒸发源表面固定间距 340mm	非常重要	否	否
3	3、▲蒸发源配置：整圆周布设有机蒸发源 10 只、金属蒸发源 2 只；有机蒸发源最高加热温度≥400℃，金属蒸发源最大加载电流可达 200A；配套 10 套有机源、2 套金属源电动旋转挡板	非常重要	否	否
4	4、▲膜厚性能：配置 4 套 6MHZ 膜厚检测探头，含 1 套水冷总探头；基片中心 10mm×10mm 范围内，膜厚不均匀性和重复性≤±3%	非常重要	否	否
5	5、腔体与结构：真空腔体方形前后开门结构；腔体耐受内部烘烤温度 100～150℃；配备多规格观察窗及磁耦合密封手动挡板	重要	否	否
6	6、控制与环境：采用触摸屏 + PLC 集中控制，支持电动 + 气动全自动程序抽真空；具备闭环速率反馈蒸镀功能，支持功率、温度双模式控制；设备供电需求三相 AC380V+N+PE，功率≥10KW；设备净尺寸不超过 2000mm×1000mm×2300mm，整机重量不超过 1200kg	重要	否	否
7	7、▲手套箱外形规格：标准 1200 型箱体，深度 300mm，采用单面双手操作结构，配备独立净化单元。	非常重要	否	否
8	8、▲气体环境指标：20℃恒温、标准大气压、99.999% 惰性气源工况下，箱内水含量、氧含量均小于 1ppm。	非常重要	否	否
9	9、结构配置：标配小型过渡仓，搭载水分析仪、氧分析仪、专用真空泵；箱体带倾斜操作面，配置可拆卸安全玻璃前窗，支持与镀膜设备精准对接。	重要	否	否
10	10、控制方式：采用 PLC + 触摸屏操控模式，可实现箱内气氛自动净化、参数实时监测与自动控制。	重要	否	否
11	11、配套成品控制软件具备合法著作版权，可实现真空机组、样品台、蒸发源挡板全流程自动化程序控制，集成设备安全报警功能。软件可实时采集膜厚仪数据并可视化显示，支持有机蒸发源温控、功率运行模式在线自由切换。具备设备运行参数存储、实验数据记录、故障日志留存功能，可对接设备硬件实现联动联锁保护。	重要	否	否
12	1、蒸发室组件：450×450×600mm 真空腔体 1 套、蒸发屏蔽板 1 套、DN190×90 观察窗 1 套、DN90 观察窗 2 套、观察窗手动挡板 3 套、自动掩膜圆盘样品架 1 套、样品架气动挡板 1 套、蒸发台 1 套、有机源电动挡板 10 套、金属源电动挡板 2 套、6MHZ 膜厚探头 4 套、烘烤照明组件 1 套。 2、真空获得系统：分子泵 1 台、抽速 8L/S 机械泵 1 台、气动板阀 / 角阀共 5 台、电磁压差阀 1 台、泵阀三通件 1 套、波纹管路 3 套。 3、电控测量系统：电器工作台 1 套、15 寸触摸屏 + PLC 控制系统 1 套、烘烤照明电源 1 套、分子泵电源 1 套、有机蒸发电源 3 套、金属蒸发电源 1 套、进口复合真空计 1 台、电阻真空计 1 台、进口四通道膜厚控制仪 1 台、8 路水排水压报警部件 1 套、1.3KW 风冷冷水机 1 台（控温精度 ±0.1℃）。 4、耗材配件：密封铜垫 + 胶圈 + 石英板成套 1 套、石英坩埚 20 只、精度 0.1mm 样品托与掩模板零件包 1 套。 5、配件：1200 型单面双手手套箱 1 套（含水氧分析仪、净化单元、过渡仓等）。 6、配套服务：设备安装调试、包装、运输及保险全套服务。	重要	否	否

| 资质要求

序号要求名称条件类型要求内容是否需要附件说明

1	第1条资质参数	符合性参数	上传营业执照(副本原件扫描件)	是
2	第2条资质参数	符合性参数	填写并按要求上传“廉洁承诺书”（需签字并盖公章）	是
3	第3条资质参数	符合性参数	填写并要求上传“法定代表人授权书”（需按授权书要求签字并加盖公章）	是
4	第4条资质参数	符合性参数	填写并按要求上传“供应商资格声明”（需签字并盖公章）	是

| 商务要求

序号要求名称要求内容是否需要附件说明

1	免费保修年限；（注：质保期内主机腔体、真空机组、电控系统、膜厚仪、冷水机、电源等核心整机部件免费维修、免费更换零配件。密封胶圈、铜垫、石英坩埚等易损消耗耗材不在免费保修范围，供方需长期提供原厂备品备件供应。质保期内免费提供设备校准、常规保养技术支持。）	2年 3年 4年 5年及以上	是
2	合同履约	**学校合同范本执行下载地址：http://www..com:8089/attachment/template/ZSU148/htmb.zip。注意：（1）合同模板中付款方式适用分期结算/付款条款其它付款方式选项不得选用；（2）本项目签署《**国内采购合同》的需开具增值税专用发票，如无法开具，需在签署合同时提供合理说明，否则将可能会影响合同签署。	否
3	产品销售渠道（要求上传“制造厂商出具的授权函”）	厂家（生产商）直接销售（出具厂家声明格式自拟）厂家（生产商）长期授权销售（授权书中连续有效期不少于一年）其他授权销售方式	是
4	售后服务要求	1、提供 7×24 小时技术咨询服务，故障报修后 2 小时内响应，远程指导排查问题。 2、远程无法解决故障时，48 小时内安排专业工程师现场上门维修。满足以上要求，得2分 1、提供 7×24 小时技术咨询服务，故障报修后 2 小时内响应，远程指导排查问题。 2、远程无法解决故障时，48 小时内安排专业工程师现场上门维修。以上要求任意一条不满足，得0分	是
5	培训要求	1、设备安装调试完毕后，安排专业工程师现场免费实操培训。 2、培训内容包含设备结构原理、真空系统操作、镀膜工艺参数设置、控制系统软件操作、日常维护保养、常见故障判断与基础处理。 3、免费提供设备电子版操作手册、维护手册，培训直至使用人员可独立熟练操作设备为止，可提供后续免费复训服务。满足以上要求，得2分 1、设备安装调试完毕后，安排专业工程师现场免费实操培训。 2、培训内容包含设备结构原理、真空系统操作、镀膜工艺参数设置、控制系统软件操作、日常维护保养、常见故障判断与基础处理。 3、免费提供设备电子版操作手册、维护手册，培训直至使用人员可独立熟练操作设备为止，可提供后续免费复训服务。以上要求任意一条不满足，得0分	是
6	其他要求	★投标人需声明：我单位所投产品不属于2026年6月22日**政府采购活动中对有关美国企业采取相关措施的通知中的46家美国企业（不包括在华美资企业）生产的产品（有关通知详见链接https://www..cn/news/202606/t0622_**5066.htm）。	是